一种调节锁紧装置的制作方法

本发明涉及一种集成电路装备制造领域，尤其涉及一种调节锁紧装置。

背景技术：

在粗微动结合的工件台系统中，微动模块的动子部分用于承载硅片，其定子部分与粗动模块固联。通常，微动模块由微动电机来驱动其六个自由度的运动。微动电机的动子部分（磁铁部分）与微动模块固联，其定子部分（线圈部分）与粗动模块固联。由于微动电机的特殊结构，在微动结构的安装与拆卸过程中，需要将微动电机的动子和定子整体装卸。对于微动电机定子与微动底板的锁紧与拆卸，具有一定的方位和空间限制。

技术实现要素：

为了克服现有技术中存在的缺陷，本发明提出一种高精度调节的侧向锁紧装置，通过在操作端的操作可实现微动电机的高度和水平度的调节。

为了实现上述发明目的，本发明公开一种调节锁紧装置，用于调整微动电机的垂向位置及锁紧，包括：一与该微动电机连接的定位簧片； 一调节单元，该调节单元通过调节该定位簧片的垂向高度以调整该微动电机的垂向位置；一锁紧单元，该锁紧单元通过锁紧该定位簧片以锁紧该微动电机。

更进一步地，该调节锁紧装置位于该微动电机的外侧，该调节锁紧装置的数量大于等于二个。

更进一步地，该调节锁紧装置的数量为三个。

更进一步地，该定位簧片包括一楔形面，该楔形面与该锁紧单元接触。

更进一步地，该调节单元包括一上楔块、一下楔块和一螺杆，该上楔块与该定位簧片的调节面接触，该下楔块位于该上楔块的下方，该上楔块和下楔块的楔形面相接触，该螺杆的一端与该下楔块连接。

更进一步地，该调节单元包括一杠杆调节件、一楔形步进滑块和一螺杆，该杠杆调节件与该定位簧片的调节面接触，该楔形步进滑块位的楔形面与该杠杆调节件接触，该螺杆的一端与该楔形步进滑块接触。

更进一步地，该螺杆上包括一压簧，该螺杆的另一端包括一防松顶丝。

更进一步地，该锁紧单元包括一滑块，该滑块与该定位簧片的楔形面接触。

更进一步地，该螺杆的另一端包括一弹片以及一压板。

更进一步地，该弹片是蝶形弹簧或弹性垫圈。

与现有技术相比较，本发明的侧向锁紧装置具有高精度调节的功能，通过在操作端的操作可实现微动电机的高度和水平度的调节，待达到所需精度后将装置锁定。本发明提出的调节装置和调节方法，降低了零件的加工精度，节约了成本，同时也提高了微动台的装配效率，可实现快捷的维修维护。该装置调节精度高，操作简单可靠，操作空间小，可广泛应用于精密机械装调领域。

附图说明

关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。

图1是本发明所涉及的调节锁紧装置在微动模块中的位置示意图；

图2是本发明所涉及的调节锁紧装置的调节与锁紧部件的结构示意图；

图3是本发明所涉及的调节锁紧装置的俯视图；

图4a是本发明所涉及的调节锁紧装置的结构示意图；

图4b是本发明中定位簧片的结构示意图。

图5是本发明所涉及的调节锁紧装置的第一实施方式的结构示意图；

图6a是本发明所涉及的调节锁紧装置锁紧原理示意图；

图6b是本发明所涉及的调节锁紧装置的锁紧单元的第一实施例示意图

图7是本发明所涉及的调节锁紧装置的第二实施方式的结构示意图；

图8是本发明所涉及的调节锁紧装置的锁紧单元的放松机构的第二实施方式的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本发明的具体实施例。

本方案用于光刻设备的工件台系统中。微动模块5的动子部分用于承载硅片，其定子部分与粗动模块6固联。通常，微动模块5由微动电机驱动其六个自由度运动。微动电机的动子部分（磁铁部分）与微动模块5固联，其定子部分（线圈部分）与粗动模块6固联。本文中所指的定位簧片4是指粗动模块6与微动电机定子连接的部件，后文中不再叙述。

图1中，微动电机通过N（N≥3）个定位簧片4与粗动模块6上的微动底板1连接。微动电机的安装与拆卸中，需将微动电机动定子组合体2整体装卸。上述操作必须将微动电机定位簧片4与微动底板1分开。因微动底板1下方固连了粗动模块6，故微动电机与其调节装置的连接处不能设置在微动底板1下方。从图2中可知，微动底板1的上方为微动模块5，故微动电机与其调节装置的连接处也不能设置在微动底板1上方。由于微动电机动定子组合体2位于底板的中央区，如果采用在底板侧向直接使用螺钉等传统方式对其固定，距离较远，垂向空间不足，工具操作不到。因此，对于微动电机安装调节和拆卸，具有一定的方位和空间限制。

如图3所示，为本发明调节锁紧装置的俯视图，包括三个侧向调节锁紧装置3a、3b、3c位于粗动模块6上方的微动底板1上，呈三角形位置分布。调节锁紧装置3a、3b、3c均包括调节螺钉7和用于锁紧该调节锁紧装置3a、3b、3c的锁紧螺钉8。

如图4a和4b所示，可从两侧对微动电机进行调节、锁紧和拆卸。装置壳体11与微动底板1固连。安装时，通过N（N≥3）个定位簧片4上的粗定位面14导向，将定位簧片4插入装置壳体11内，调节端部9与定位簧片4的底面13接触，定位簧片4的楔形面12面向锁紧端部10，如此，通过定位簧片4将微动电机动定子组合体2放置到装置壳体11上方，在外侧使用内六角扳手对调节螺钉7头部进行操作，可使调节端部9上下运动，从而到达调节定位簧片4高度的作用，如此实现微动电机的安装精度，调节完毕后，操作防松装置即可。使用扳手对8锁紧螺钉头部进行操作，可使锁紧端部10进给，通过压紧簧片楔形面12完成对定位簧片4两端的锁紧。锁紧完毕后，操作防松装置即可。

图5为该装置的调节原理介绍。螺杆19a与下楔块16螺纹连接，因18a处为螺杆旋转固定点，旋转进给螺杆（调节用）19a时，其本身不会发生水平位移，而是带动与之有螺纹配合的下楔块16前后运动。下楔块16被安装在装置壳体11的槽中，被限制后只能做前后运动，下楔块16的前后运动，推动上楔块15的上下运动，上楔块15上部安装有调节端部9。调节端部9的前部为一RxRy自调位姿的支撑点，如此推动定位簧片4的调节面13底部，如此N（N≥3）个定位簧片4和调节装置的调节，可实现微动模块动子5’的初始位置调节，通过千分表22读取调节结果，调节到位后拧紧防松顶丝20a，完成调节。

图6a是该装置的锁紧原理介绍。因18b处为螺杆旋转固定点，旋转进给螺杆（调节用）19b时，其本身不会发生水平位移，而是带动与之有螺纹配合的进给滑块23前后运动，进给滑块23被安装在装置壳体11的槽中，被限制后只能做前后运动。如此推动锁紧端点10，端点的前部为一RxRy自调位姿的支撑点，该支撑点跟随定位簧片4的楔形部12产生压紧作用，使得定位簧片4产生微小变形被压紧在装置壳体11上，从而达到锁紧功能。锁紧到位后拧紧防松顶丝20b，完成锁紧。若是拆卸时，拧松防松顶丝20b，反向旋转19b，使锁紧端部10向后运动，从而脱开定位簧片4，去除压紧从而可以完成电机的拆卸。

如图3中，3b和3c都为角度安装，设角度为β，锁紧距离Ls’=Ls*cosβ。当β=60°时，若通过螺距P=0.5mm的螺纹进给，当锁紧距离Ls’设置在2mm时，锁紧螺钉旋转8圈可以完成锁紧。当β=0°时，若通过螺距P=0.5mm的螺纹进给，当锁紧距离Ls’设置在2mm时，锁紧螺钉旋转4圈可以完成锁紧。

图7是本发明所涉及的调节锁紧装置的第二实施方式的结构示意图。通过杠杆调节件15’，楔形步进滑块16’实现定位簧片4的高度调节，其优点是结构比楔形调节更为简单。

图8是本发明所涉及的调节锁紧装置的防松机构的第二实施方式的结构示意图。通过在螺钉头端部19c安装弹片24（可以是蝶形弹簧，弹性垫圈等），采用紧固螺钉26压紧压板25，从而将螺钉头19c压紧在装置壳体21上完成防松。该方案的优点是与调节和锁紧螺钉的操作侧在同一处，适用于空间更为局促的安装结构中。

本发明的侧向锁紧装置具有高精度调节的功能，通过在操作端的操作可实现微动电机的高度和水平度的调节，待达到所需精度后将装置锁定。本发明提出的调节装置和调节方法，降低了零件的加工精度，节约了成本，同时也提高了微动台的装配效率，可实现快捷的维修维护。该装置调节精度高，操作简单可靠，操作空间小，可广泛应用于精密机械装调领域。

本说明书中所述的只是本发明的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明的限制。凡本领域技术人员依本发明的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本发明的范围之内。