一种非同轴激光加工装置的制作方法

文档序号:11793611阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种非同轴激光加工装置,其特征在于:包括激光组件、辅助气体输入装置以及真空吸附治具(7),工件(6)通过真空吸附治具(7)设置在工作台上,工件(6)的上部设置有激光组件,激光组件的一侧非同轴设置有辅助气体输入装置,辅助气体输入装置采用拉瓦尔气嘴(4);激光束(1)经过激光组件作用在工件(6)上,拉瓦尔气嘴(4)输入辅助气体(5)至工件(6)表面。

2.根据权利要求1所述的非同轴激光加工装置,其特征在于:所述激光组件采用准直镜(2)和聚焦镜(3)由上至下依次设置。

3.根据权利要求1所述的非同轴激光加工装置,其特征在于:所述拉瓦尔气嘴(4)的超音速长度为10~20mm,出射口径为1.5~2mm,拉瓦尔气嘴(4)离工件(6)上表面的距离为3~8mm,拉瓦尔气嘴(4)的轴线和激光束(1)轴线之间的夹角为30°~60°,辅助气体(5)的冲击点与激光束(1)的聚焦斑点之间的距离为1~5mm。

4.根据权利要求1所述的非同轴激光加工装置,其特征在于:所述辅助气体(5)的气压为1~3MPa,辅助气体类型为氮气。

5.根据权利要求2所述的非同轴激光加工装置,其特征在于:所述激光束(1)的激光波长为1070nm,平均功率为500W,脉冲频率为120Hz,准直镜(2)的长度为100mm,聚焦镜(3)的焦距为100.8mm,切割速度为5mm/s。

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