激光加工机、激光加工机的工件歪斜校正方法与流程

文档序号:11910720阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种激光加工机,其特征在于,具备:

支撑体,其支撑被加工物;

激光照射装置,其朝向由所述支撑体支撑的被加工物照射激光;和

控制部,其参照通过相机传感器对由所述支撑体支撑的被加工物进行拍摄所得的图像,来检测被标记于被加工物且分布配置于所述激光照射装置的激光的可照射范围内的至少十个对准标记的位置,得到各对准标记本来应位于的位置与实际检测出的各对准标记的位置的X轴方向误差及Y轴方向误差,并且用各对准标记的位置的X轴方向误差及Y轴方向误差分别生成表达所述可照射范围内的任意的部位的X轴方向误差及Y轴方向误差的分布的X轴方向误差的近似式及Y轴方向误差的近似式,并用通过该近似式算出的任意部位的X轴方向误差及Y轴方向误差来确定指令的校正量,所述指令是用于在激光加工时使激光向所述被加工物上的所期望的目标照射位置照射的指令。

2.一种激光加工机,其特征在于,具备:

支撑体,其支撑被加工物;

激光照射装置,其朝向由所述支撑体支撑的被加工物照射激光;和

控制部,其参照通过相机传感器对由所述支撑体支撑的被加工物进行拍摄所得的图像,来检测在被加工物所标记的多个对准标记的位置,得到各对准标记本来应位于的位置与实际检测出的各对准标记的位置的误差,并且用各对准标记的位置的误差算出某一对准标记与其他对准标记之间的部位的假想位置的误差,在此基础上,基于在向所述激光照射装置指令了不考虑校正量的照射位置的情况下的该指令照射位置与实际的激光的照射位置的误差上加上所述被加工物上的与该指令照射位置相对应的部位的所述对准标记的位置的误差所得到的误差,来确定指令的校正量,所述指令是用于在激光加工时使激光向所述被加工物上的所期望的目标照射位置照射的指令。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工机,其特征在于,

所述激光照射装置是使用能够使激光的光轴方向变化的检流计扫描器的激光照射装置。

4.一种激光加工机的工件歪斜校正方法,该方法所使用的激光加工机具备支撑被加工物的支撑体、朝向由所述支撑体支撑的被加工物照射激光的激光照射装置和控制部,所述控制部基于在向所述激光照射装置指令了不考虑校正量的照射位置的情况下的该指令照射位置与实际的激光的照射位置的误差,来确定指令的校正量,所述指令是用于在激光加工时使激光向所述被加工物上的所期望的目标照射位置照射的指令,该方法的特征在于,

通过相机传感器对由所述支撑体支撑的被加工物进行拍摄,

参照通过所述相机传感器拍摄到的图像,来检测在被加工物所标记的多个对准标记的位置,得到各对准标记本来应位于的位置与实际检测出的各对准标记的位置的误差,并且用各对准标记的位置的误差算出某一对准标记与其他对准标记之间的部位的假想位置的误差,在此基础上,

对所述控制部,付与在向所述激光照射装置指令了不考虑校正量的照射位置的情况下的该指令照射位置与实际的激光的照射位置的误差上加上所述被加工物上的与该指令照射位置相对应的部位的所述对准标记的位置的误差所得到的误差,来确定所述校正量。

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