技术总结
本实用新型涉及光加工装置，其目的在于，在利用让加工对象物移动的光加工装置实施加工时，确保加工对象物的平面度。本实用新型的光加工装置具有以下各部：使得被置于加工台(53)的台面上的加工对象物(35)移动的移动部、以及对被置于加工台(35)的台面上的加工对象物(35)中的加工对象部分照射加工光的光照射部，还进一步具有吸引部(57、58)，该吸引部(57、58)通过从形成于加工台(53)的台面上的吸引孔吸引空气，将加工对象物(35)吸附在该加工台(53)的台面上。
技术研发人员：田村朋则;杂贺聪一;清水健司;中田喜久也
受保护的技术使用者：株式会社理光
文档号码：201620984148
技术研发日：2016.08.26
技术公布日：2017.06.09