移载装置的制造方法_4

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凸出部分脱离,则朝向臂部24c的推进力被解除。弹簧部25h通过可动机构24所具有的滑动轴24b的伸出而被压缩,若朝向臂部24c的推进力被解除,则发挥用以恢复而施加的力,从而使滑动轴24b回到半径方向中心。若滑动轴24b回到半径方向中心,则经由臂部24c而固定于滑动轴24b的保持部21b以保持着电子零件W的状态,回到旋转式拾取器2b的中心方向。
[0114]在第8处外观检查地点D,对无法在搬送路径前半部分被摄影的电子零件W的相反面R的外观进行摄影,并分为良品或次品。担当搬送路径前半部分的旋转式拾取器2a中,因电子零件W的一面由保持部21保持,且朝向旋转式拾取器2a的旋转中心侧,故外观摄影变得困难。另一方面,搬送路径后半部分的旋转式拾取器2b中,通过交付而电子零件W自动地进行表背反转,因此使无法被摄影的相反面R朝向外侧,而可以进行摄影。
[0115]在第9处的涂布地点E,对电子零件W的朝向外侧的面涂布粘接剂。膏涂布装置3在第9处的涂布地点E的正上方朝向冲压销31的前端而待机。冲压销31为前端逐渐变细的棒状构件。
[0116]该膏涂布装置3具备贮存粘接剂的托盘32,预先使冲压销31移动至托盘内,并将冲压销31的前端浸渍于粘接剂中,然后,在第9处的涂布地点E待机。在将电子零件W搬运至涂布地点E时,使冲压销31下降,对停止在涂布地点E的电子零件W涂布粘接剂。
[0117]在第11处的姿势确认地点F,确认电子零件W的姿势,并检测电子零件的XY Θ方向的偏移。在该姿势确认地点F,也配置着与第8处的外观检查地点D相同的摄影光学系统63,根据电子零件W的图像而算出偏移。以图像的一点为基准,测定到电子零件的各点的距离而算出偏移。并将ΧΥΘ方向的偏移量的信息与电子零件W建立关联而加以存储。
[0118]在第12处的排出地点G,将判断为次品的电子零件强制排出。在该第12处的排出地点G,配置着在落下方向开设开口的排出容器8。在外观检查中,若将与表不次品的信息建立关联的电子零件搬运至排出地点G,则真空产生装置使保持部21的喷嘴内部产生正压,吹飞所保持的电子零件并使其落下至排出容器8内。
[0119]在第13处的脱离地点C,平台装置4b将搭载部位搬运至脱离地点C,位于旋转式拾取器2b的第13处的保持部21使电子零件脱离。如图10所示,平台装置4b使平台沿XY方向移动,且向Θ方向旋转。在X列上残留有空的搭载部位的情况下,朝向X方向的移动为在朝向一方向的I间距量上加上所存储的X方向的偏移量所得的量。在X列上不再存在空的搭载部位的情况下,朝向Y方向的移动为在朝向一方向的I间距量上加上所存储的Y方向的偏移量所得的量。进而,Θ旋转相当于所存储的Θ方向的偏移量。
[0120]若预先使平台沿XY方向及Θ方向移动,当该移动结束时,进退驱动装置25使位于第13处的脱离地点C的保持部21下降,从而使电子零件W向搭载部位脱离。在载置于平台装置4b的收容体5b为基板P的情况下,涂布有粘接剂的面朝向基板P,经由粘接剂而将电子零件W与基板P粘接。此时,进退驱动装置25对旋转马达25d或音圈马达25g进行控制而对电子零件W赋予一定的负载,从而促进电子零件W与基板P的粘接。
[0121](5.作用效果)
[0122]如上,本实施形态的移载装置I具备两个旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b来作为搬送路径。两旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b以保持部21的前端一直朝向拾取器的半径方向外侧的方式且以旋转轴为中心而每次按照规定角度间歇旋转。旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b以相互不重叠的方式,使旋转轴平行而邻接配置于同一平面上。而且,两旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b具有双方所具有的保持部21a与保持部21b的前端相互面对面且共用的停止位置,将该停止位置作为交付地点A,而交付电子零件W。
[0123]如此,旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b以相互不重叠的方式,使旋转轴平行而邻接配置于同一平面上,由此可在旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b的周围设置多个加工点。加工点是对电子零件W实施外观检查、粘接剂涂布或姿势确认等各种加工的部位。
[0124]也即,在旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b部分重叠的情况下,无法在该两旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b的重叠部分及其附近设置加工点。这是因为,一旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b或马达23等会成为物理性障碍。然而,本实施形态的移载装置I中并无上述重叠部分,从而可在旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b的除交付地点A外的其他所有地点设置加工点。
[0125]而且,该移载装置I中,因可设置多个加工点,故无须使拾取器的直径大型化,从而可实现省空间化。并且,通过旋转式拾取器2的小型化,而实现旋转式拾取器2的纵向放置,且也可实现马达23的小型化。因此,使得更为省空间化。
[0126]而且,若能够使旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b小型化,则也可提高旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b的旋转速度。因此,电子零件W的搬送速度提高。在两个旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b中,电子零件W的交付处理也为电子零件W的反转处理,因此无须在交付处理中另外添加反转处理,便可使电子零件W反转。因此而使得电子零件W的搬送速度进一步提高。
[0127]此种两个旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b的高度的位置对准成为必需。就该点而言,在本实施形态的移载装置I中,旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b是基于同一设计图的同一产品,且使用将旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b的旋转轴的位置加以限制的一个共用的支架7。
[0128]由此,仅需将旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b嵌入至支架7中,两旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b的高精度的定位便完成,从而以简便的定位作业,便使得在交付地点A使前端面对面的保持部21高精度地排列于同一条直线上。因此,即便具有在上述旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b之间交付电子零件W的构造,电子零件W的良率也良好,作为装置而富于实效性。
[0129]进而,该移载装置I中,在交付地点A面对面的保持部21中的任一个可送出或接收作为交付对象的电子零件W,进退驱动装置25使伸出的保持部21的移动速度随着接近面对面的另一保持部21而减慢,进而,对伸出的保持部21施加于作为交付对象的电子零件W的负载进行控制。
[0130]由此,即便万一因组装精度等而在交付地点A在保持部21的排列中产生了偏移,因在电子零件W的表背施加负载的点发生偏移而产生的对于电子零件W的旋转力矩也变得极小,从而不会因进行交付而使电子零件W的姿势发生改变,或不会出现电子零件W横转而接收错误的情况。因此,在该方面,电子零件W的良率也良好,作为装置而富于实效性。
[0131](6.变形例)
[0132]例如,只要该移载装置I将旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b以相互不重叠的方式,使旋转轴平行而邻接配置于同一平面上,则可设置多个加工点,也可将旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b以与设置面为水平的方式进行横向放置。
[0133]作为加工点,除本实施形态中列举的外观检查、粘接剂涂布、姿势确认、次品的强制排出、对基板的安装之外,也可为电气特性检查、加热或冷却之类的温度调整、自电子零件W延伸的端子的形状加工、姿势的矫正、作标记等其他各种设置。
[0134]关于保持部21,除通过真空的产生及破坏或正压的产生而使电子零件W吸附及脱离的吸附喷嘴之外,也可配置静电吸附方式、伯努利卡盘(Bernoulli chuck)方式,或机械性地夹持电子零件W的卡盘机构。
[0135]而且,设置于旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b的保持部21并不限于I种,也可配置2种。例如,以相同种类的保持部21每隔一个而并列的方式,在第奇数个与第偶数个设置种类不同的保持部21,在供给第I品种的电子零件W的情况下由第奇数个保持部21保持,在供给第2品种的电子零件W的情况下由第偶数个保持部21保持。在连续供给同一品种的情况下,使旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b每次以二个间距进行旋转,在供给不同品种的情况下,使旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b以一个间距进行旋转,从而保持该不同的品种。在多品种且少量的生产中,当频繁发生品种更换时,因省去了依品种而更换保持部21的麻烦,而能使生广效率进一步提尚。
[0136]进而,在本实施形态中,在交付地点A,采用担当搬送路径后半部分的旋转式拾取器2b的保持部21b接收电子零件W的方式,也可采用担当搬送路径前半部分的旋转式拾取器2a的保持部21a递交电子零件W的方式。进而,也可为双方相互移动至中间地点为止的方式。该情况下,也可相对于担当搬送路径前半部分的旋转式拾取器2a而在交付地点A配置进退驱动装置25,也可以在两旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b上配置进退驱动装置25。
[0137]即便不使用一个共用的支架7,也可通过手动操作等而进行定位作业。而且,例如,作为膏涂布装置3,而采用使用了冲压销的销转印方式,也可采用利用气压或机械压力使封入到注射器的液体自喷嘴的前端喷出的分配器方式。
[0138]而且,在本实施形态中,是将一收容体5a作为托盘,而将另一收容体5b作为安装基板,但并不限于此,也可采用托盘、基板、晶片片材、形成着袋状物的带中的任一种或两种组合中的任一个。进而,进行外观检查的摄影光学系统6的其中一个采用一次性摄影五面的方式,但也能以分为若干面而配置在其他停止位置的方式来进行。
[0139]例如,图11是表示移载装置I的另一例的示意图。该移载装置I中一收容体5为晶片片材。将担当搬送路径的前半部分的旋转式拾取器2a的与交付位置相反的正旁边停止位置作为第I处,两旋转式拾取器2a、旋转式拾取器2b自第I处逆时针地旋转。
[0140]在作为正旁边位置的第I处的停止位置,取代平台而配置着环固定器(ringholder) 50ο在第3处的停止位置,配置着对在担当搬送路径前半部分的旋转式拾取器2a中朝向半径方向外侧的电子零件W的一面进行摄影的摄影光学系统6。第5处的停止位置为交付地点A。在自第I处而向顺时针方向离开两处的停止位置上,配置着排出管80。该排出管80将在第5处的交付地点A交付失败的电子零件W予以排出。这是因为若保持部21为保持着电子零件W的状态,则在第I处的拾取地点B,会造成两块电子零件W重叠。
[0141]在第6处配置着摄影光学系统6,该摄影光学系统6为了利用设置于第7处的膏涂布装置3来涂布粘接剂,而对电子零件W的粘接剂涂布面进行摄影。利用该摄影光学系统6对电子零件W的ΧΥΘ方向的偏移量进行检测,并根据该偏移量来修正冲压销31的位置。
[0142]在第8处的停止位置,配置着用以对粘接剂涂布面进行外观检查的摄影光学系统6。该摄影光学系统6中,对粘接剂涂布面及粘接剂的涂布形态进行检查。在第9处的停止位置,配置着用以对电子零件W的侧方四个面进行外观检查的摄影光学系统6。
[0143]在第10处的停止位置,代替排出管而设置着分类管82。该分类管82收容虽不是次品但等级不高的电子零件W。各外观检查中,附上与电子零件W的良品的程度对应的等级(rank),对于与规定的等级建立关联的电子零件W而言,保持部21以排风方式而将其排出至分类管82中。
[0144]在第11处的停止位置,配置着载置导线架等安装基板的平台。未脱离第10处的分类管82及第11处的平台的次品被废
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