专利名称：防镀膜影响的外部检出装置及溅镀装置的制作方法
技术领域：
本发明是一种检出装置，尤其是一种适用安装于薄膜沉积装置的防镀膜影响的外 部检出装置。
背景技术：
随着科技的进步与发展，电子产业的产品日新月异，近年来真空镀膜技术已逐渐 取代传统喷导电漆或电解电镀的镀膜方式，而广泛地应用于半导体制程、光电和3C产业 中，成为重要的镀膜生产技术。目前业界所使用的镀膜设备大多为连续式(In-Line)多腔体(multi-chambers) 的作业流程，与传统批次式(batch type)或晶圆式(wafertype)生产方式比较，可大幅降 低设备成本及厂房空间，极具量产经济价值及产业竞争性。以连续式多腔体的镀膜设备为 例，该连续式多腔体内部包含一承载盘(或俗称台车)可于各腔体内部前进，为了检测该承 载盘的行进位置，经常于该连续式多腔体设有一检测装置。请参考图7A、7B及图8，其为既有安装于连续式多腔体的镀膜设备72的一检出装 置73的示意图，该镀膜设备72包含复数个成对的观窗口 722，成对的两个该观窗口 722分 别设于该镀膜设备72的外表面。该检出装置73包含二成对的光学检测组件732，两个该光 学检测组件732分别固定置于两个成对的观窗口 722外部，并使两个该光学检测组件732 分别作为一光输出组件及一光接收组件，其中，两个成对的该光学检测组件732依据其间 的光传输路径是否被一个可于该镀膜设备72行进的一承载盘75遮挡而判断该承载盘75 的位置(如图7A、7B所示)。在溅镀过程中，为了避免该观窗口 722被溅射的材料粒子污染沾附，该检出装置 73包含一遮板733固定设于该镀膜设备72的内部于该观窗口 722的对应位置。然而，该遮 板733的阻挡材料粒子的功效不佳，材料粒子仍会穿过该遮板733的开口而镀制于该观窗 口 722的内表面，当该观窗口 722的内表面沾附过多的材料粒子进而影响该光学检测组件 732的光传输路径，而使前述的检测功能大受影响，甚至毫无功用；使用者必须经常保养、 清除该观窗口 722上的材料粒子或薄膜，以保前述检测的功能，故造成使用不便及维护成 本增加的问题。
发明内容
为了解决既有设于溅镀设备外部的检出装置的遮板的阻挡性能不佳的技术问题， 本发明以一管体取代该遮板，让该检出装置的光传输路径得到良好的屏蔽保护，达到提升 使用便利性及降低维护成本的目的。配合前述的技术问题及发明目的，本发明提供一种防镀膜影响的外部检出装置， 其包含一讯号输出模块，其包含一发射器以及一输出模块防镀管，该发射器产生一输出 光；该输出模块防镀管为中空且两端开放的管体，其固定置于该输出光的传输路径上；及
一讯号接收模块，其包含一接收器以及一接收模块防镀管，该接收器与该发射器 相对；该接收模块防镀管为中空且两端开放的管体，其置于该输出光的传输路径上并接收 该输出光。其中，该讯号输出模块及该讯号接收模块分别包含一调整座，两个该调整座分别 对应连接该发射器及该接收器。其中，该输出模块防镀管及该接收模块防镀管的材质为一金属或一铁氟龙或工程 塑料类。其中，该输出光为红外线或雷射光线。本发明又提供一种溅镀装置，其包含复数个连续接合的腔体，每一腔体包含一底座、一上盖以及一传动结构，该上盖盖 合于该底座的一开放面，该传动结构固定设于该底座的一内表面，其中，该底座包含一个以 上的玻璃窗口组，每一玻璃窗口组包含二成对的玻璃窗口，每一玻璃窗口密合固定于该底 座的一侧腔壁并与成对的另一个玻璃窗口位置相对；一个以上的承载盘，该一个以上的承载盘于该传动结构传输而于各腔体之间移 动，该承载盘的移动路径与该玻璃窗口组的位置对应；一个以上的外部检出装置，每一外部检出装置包含一讯号输出模块以及一讯号接 收模块，其固定结合于该底座并分别与两个成对的该玻璃窗口的位置对应，其中该讯号输出模块包含一发射器以及一输出模块防镀管，该发射器固定设于该底座 的外表面，其产生一输出光朝向对应的该玻璃窗口 ；该输出模块防镀管为中空且两端开放 的管体，其置于该腔体内并遮蔽该玻璃窗口且位置与该输出光的传输路径同轴；及该讯号接收模块包含一接收器以及一接收模块防镀管，该接收器固定设于该底座 的外表面，其与该发射器相对并接收该输出光；该接收模块防镀管为中空且两端开放的管 体，其置于该腔体内并遮蔽该玻璃窗口且位置与该输出光的传输路径同轴。其中，该讯号输出模块及该讯号接收模块分别包含一调整座，两个该调整座分别 对应连接该发射器及该接收器，且两个该调整座并分别与该腔体表面固定连接。其中，该输出模块防镀管及该接收模块防镀管的材质为一金属或一铁氟龙或工程 塑料类。由于本发明的该防镀管可有效遮蔽该玻璃窗口并且提供玻璃窗口外部的发射器 及接收器的输出光传递路径，使溅镀装置于溅镀过程中，溅镀材料粒子可以被遮挡或仅镀 制于该防镀管而不会镀制于该玻璃窗口表面，因此达到良好的屏蔽防镀的技术效果，故提 升溅镀设备的使用便利性并可降低维护成本。
图1为本发明实施例的局部立体图。图2为本发明实施例的局部分解图。图3为本发明实施例的局部剖面图。图4为本发明实施例的局部放大分解图。图5为本发明实施例的局部放大剖面图。图6A、6B为本发明实施例的使用示意图。
图7A、7B为既有的镀膜设备的检出装置使用示意图。
图8为既有的镀膜设备的检出装置的放大剖面图。
主要组件符号说明
10腔体 12底座
122玻璃窗口 1221结合座
1223玻璃片1225固定盖
14上盖15传动结构
16承载盘17靶材
20防镀膜影响的外部检出装置
22讯号输出模块222发射器
223调整座224防镀管
26讯号接收模块262接收器
263调整座264防镀管
72镀膜设备722观窗口
73检出装置732光学检测组件
733遮板75承载盘
具体实施例方式请参考图1及图2，其为本发明的防镀膜影响的外部检出装置20的实施例，其与一 溅镀装置的腔体10固定结合，其中，该溅镀装置可以依据需求利用复数个连续接合的腔体 10组合而成，使该溅镀装置可进行一连续式溅镀工作。该腔体10包含一底座12、一上盖14以及一传动结构15，该上盖14盖合于该底座 12的一开放面，而该传动结构15则固定设于该底座12的一内表面，该传动结构15传输该 溅镀装置的一承载盘16于各腔体10之间移动、前进，达到前述的连续式溅镀工作。该底座12包含一个以上的玻璃窗口组，每一玻璃窗口组包含两个成对的玻璃窗 口 122，每个玻璃窗口 122密合固定于该底座12的一侧腔壁并与另一个玻璃窗口 122位置 相对。该玻璃窗口 122结合于该底座12的方式不限定，举例而言，其可为嵌合于该底座12 且包含可透光区域的窗口组件，其中该透光区域可以为一般玻璃或石英玻璃等。请参考图3 图5，本实施例的每一玻璃窗口 122包含一结合座1221、一玻璃片 1223以及一固定盖1225，该结合座1221呈筒状，其轴心包含一两端贯通的穿孔；为了让该 结合座1221可以密合固定结合于该底座12，该结合座1221的外表面可以设有螺纹面，以 螺锁方式紧密锁合于该底座12。该玻璃片1223固定置于该结合座1221内，并以该固定盖 1225密封盖合后与该结合座1221固定结合，并密封盖合该结合座1221的穿孔的一外部端。请参考图4至图5，该防镀膜影响的外部检出装置20包含一讯号输出模块22以及 一讯号接收模块26，其分别结合于两个成对的该玻璃窗口 122的对应位置，该讯号输出模 块22包含一发射器222，该发射器222固定设于该底座12外侧表面大气环境侧，且可发射 一输出光(例如红外线、雷射光线或其它可以检出的光线...等)，该发射器222的输出光 射向另一个玻璃窗口 122的该讯号接收模块26。该讯号接收模块26包含一接收器262，该 接收器262固定于该底座12外侧表面且接收该输出光，该讯号接收模块26依据其接收器262是否能够接收该输出光，判断该承载盘16于该传动结构15的位置。该讯号输出模块 22与该讯号接收模块26分别包含一防镀管224、264，该两个防镀管224、264的两端开放且 为中空，且分别密合插设于两个该结合座1221的穿孔，该防镀管224、264以适合于真空环 境的材质制成，例如该防镀管可以是金属管、铁氟龙管等，本实施例的该防镀管224、264为 具有贯通流道并以金属(不锈钢、铝...等)制成的管体。当两个该防镀管224、264分别 安装于该结合座1221后，两个该防镀管224、264的流道相对，使该发射器222的该输出光 可经过两个该防镀管224、264的流道及至该讯号接收模块26的该接收器262。如图3所示，由于该玻璃片1223朝向该腔体10内部的一内侧表面套接一个该防 镀管224、264，因此，当该溅镀装置开始执行溅镀工作时，由一靶材17溅射出来的材料粒子 将不会镀于该玻璃片1223的内侧表面，由于该防镀管224、264遮蔽对应的该玻璃片1223 而提供一个良好的阻挡材料粒子的效果，使材料粒子于该防镀管224、264多次碰撞后动能 减缓而镀制于该防镀管224、264上，因此，使该发射器222及该接收器262之间的该玻璃片 1223不会于溅镀过程而污染，影响其间光传输及该承载盘16的位置感应功能。进一步地，为了固定该发射器222及该接收器262的位置，本实施例的该讯号输出 模块22及该讯号接收模块26分别包含一调整座223、263，两个该调整座223、263可呈任 意外型并分别固定于该底座12表面而分别位于两个成对的该玻璃窗口 122附近，其中，该 调整座223、263分别与该发射器222及该接收器262固定结合使该发射器222及该接收器 262可同轴相对。该溅镀装置的每一个腔体10可以于该承载盘16的移动路径的对应位置，于该底 座12的表面设有复数个玻璃窗口组及防镀膜影响的外部检出装置20 ；使用时，请参考图 6A、6B，当某一腔体10的该传动结构15上没有该承载盘16时(如图6A)，该腔体10的防镀 膜影响的外部检出装置20的讯号输出模块22的输出光没有被该承载盘16阻挡了光传递 路径而可顺利抵达该讯号接收模块26，让该讯号接收模块26可以藉以判断该腔体10内没 有该承载盘16 ；反之，若该承载盘16已经进入该腔体10内，因此，某一或某些成对的该讯 号输出模块22及该讯号接收模块26之间的输出光传递受到该承载盘16阻挡，使该讯号接 收模块26可据此判断该承载盘16的位置。
权利要求
一种防镀膜影响的外部检出装置，其包含一讯号输出模块，其包含一发射器以及一输出模块防镀管，该发射器产生一输出光；该输出模块防镀管为中空且两端开放的管体，其固定置于该输出光的传输路径上；及一讯号接收模块，其包含一接收器以及一接收模块防镀管，该接收器与该发射器相对；该接收模块防镀管为中空且两端开放的管体，其置于该输出光的传输路径上并接收该输出光。
2.如权利要求1所述的防镀膜影响的外部检出装置，其特征在于该讯号输出模块及 该讯号接收模块分别包含一调整座，两个该调整座分别对应连接该发射器及该接收器。
3.如权利要求1或2所述的防镀膜影响的外部检出装置，其特征在于该输出模块防 镀管及该接收模块防镀管的材质为一金属或一铁氟龙或工程塑料类。
4.如权利要求3所述的防镀膜影响的外部检出装置，其特征在于该输出光为红外线 或雷射光线。
5.一种溅镀装置，其包含复数个连续接合的腔体，每一腔体包含一底座、一上盖以及一传动结构，该上盖盖合于 该底座的一开放面，该传动结构固定设于该底座的一内表面，其中，该底座包含一个以上的 玻璃窗口组，每一玻璃窗口组包含二成对的玻璃窗口，每一玻璃窗口密合固定于该底座的 一侧腔壁并与成对的另一个玻璃窗口位置相对；一个以上的承载盘，该承载盘于该传动结构传输而于各腔体之间移动，该承载盘的移 动路径与该玻璃窗口组的位置对应；一个以上的外部检出装置，每一外部检出装置包含一讯号输出模块以及一讯号接收模 块，其固定结合于该底座并分别与两个成对的该玻璃窗口的位置对应，其中该讯号输出模块包含一发射器以及一输出模块防镀管，该发射器固定设于该底座的外 表面，其产生一输出光朝向对应的该玻璃窗口 ；该输出模块防镀管为中空且两端开放的管 体，其置于该腔体内并遮蔽该玻璃窗口且位置与该输出光的传输路径同轴；及该讯号接收模块包含一接收器以及一接收模块防镀管，该接收器固定设于该底座的外 表面，其与该发射器相对并接收该输出光；该接收模块防镀管为中空且两端开放的管体，其 置于该腔体内并遮蔽该玻璃窗口且位置与该输出光的传输路径同轴。
6.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于该讯号输出模块及该讯号接收模块分 别包含一调整座，两个该调整座分别对应连接该发射器及该接收器，且两个该调整座并分 别与该腔体表面固定连接。
7.如权利要求5或6所述的溅镀装置，其特征在于该输出模块防镀管及该接收模块 防镀管的材质为一金属或一铁氟龙或工程塑料类。
8.如权利要求7所述的溅镀装置，其特征在于该输出光为红外线或雷射光线。
全文摘要
一种防镀膜影响的外部检出装置，其装设于一溅镀装置腔体的两个成对的玻璃窗口，其包含一发射器以及一接收器，分别置于该腔体外部且与该玻璃窗口位置对应，该玻璃窗口包含两个防镀管置于该腔体内并分别遮蔽两个该玻璃窗口，该发射器发射一输出光进入该腔体而经由两个防镀管及至该接收器；该防镀管可以在溅镀装置于溅镀制程中，提供对应的玻璃窗口有效的遮蔽，使材料粒子不会镀制于该玻璃窗口上，故提升溅镀装置的使用便利性并可降低维护成本。
文档编号C23C14/34GK101930084SQ20091014950
公开日2010年12月29日 申请日期2009年6月25日 优先权日2009年6月25日
发明者刘忠炯, 朴威辰, 蔡明展, 赖青华, 魏木元, 黄泰源 申请人:友威科技股份有限公司