专利名称：一种复合材料原子层淀积反应器的制作方法
技术领域：
本实用新型属于高新技术领域，具体涉及一种复合材料原子层淀积反应器，尤其
是局部以不锈钢材料替代玻璃或石英材料精确耐用。技术背景 目前使用的一种原子层淀积反应器中受热反应管以玻璃或石英为主材料制成。整个反应管结构简单，高温区污染少，但关键部件如固态源进气管结构细长极其脆弱易损。反应器中使用的气流控制毛细管采用单一材质，如单一的玻璃易破损及不易达到精度要求。
发明内容本实用新型的目的在于针对玻璃或石英制品极易破损，提供一种操作方便，坚固耐用，精准度高的复合材料原子层淀积反应器。尤其是以往采用玻璃或石英制作的固态源进气管稍稍受力，进气管颈部就断裂；单一材料的玻璃毛细管不易精确加工且易受力破碎，而单一金属毛细管则不易精确加工。 本实用新型提出的不锈钢固态源进气管，包括进气管1，进气管颈部2，连通管3，和供气口 4，整体以不锈钢材料加工焊接制成.不锈钢固态源进气管通过供气口 4为反应室供应原料气，以便在反应室的衬底上实现原子层淀积。由于细长的进气管需要通过更细的进气管颈部2连接到连通管3上，进气管颈部2就成为最为薄弱易碎的部分。但是在本实用新型中采用了不锈钢材料，精度高，坚固耐用。 本实用新型中，不锈钢固态源进气管l包括平行的三根进气管，也可以是平行的两根固态源进气管，或者可以直接用一根固态源进气管构成。 本实用新型中，不锈钢固态源进气管1和进气管颈部2焊接处，以及连通管3和供气口 4的焊接处内部可以钻小孔连通，通过小孔直径大小限制气流倒流的发生，突显出不锈钢材质的优势。 本实用新型中，不锈钢固态源进气管可以和玻璃或石英制作的反应室通过供气口4相连，不锈钢固态源进气管内部还是可以放入玻璃或石英制作的固态源内管和固态源舟，因此整个原子层淀积反应器的受热关键部分就由数种材质构成，称之为复合材料的原子层淀积反应器。 本实用新型提出的复合材料的气流控制毛细管采用不锈钢毛细管5和外层的阻塞体6(聚四氟乙烯，聚三氟氯乙烯或尼龙等塑料)组成。 本实用新型的有益效果体现在，l.不锈钢材料制作的固态源进气管，不存在进气管颈部纤细处的断裂问题；焊接处内部钻小孔连通，通过小孔直径大小限制气流倒流的发生，精度高，坚固耐用，效果非常显著。2.采用复合材料组成的气流控制毛细管，成本低，精度高，无对外泄漏，坚固耐用
图1不锈钢固态源进气管 图2不锈钢固态源进气管整体縮小结构图 图3左右一对不锈钢固态源进气管A-A'纵向视图 图4控制气流的复合材料毛细管 图中1.进气管，2.进气管颈部，3.连通管，4.供气口，5.不锈钢毛细管，6.外层阻塞体。
具体实施方式
下面结合实施例附图说明. 本实用新型提出的不锈钢固态源进气管包括平行的三根进气管l，通过进气管颈 部2，汇合焊接连接到连通管3，再经过供气口 4为反应室供应原料气，以便在反应室的衬底 上实现原子层淀积，见图1，图2和图3。由于在原子层淀积工艺中要求气流呈脉冲式流动， 必须限制气流通道中的气流保证瞬间的气流单向性.在进气管颈部2和连接到连通管3的 焊接处内部可以通过限制钻孔直径来达到限制气流倒流的发生。同样在连通管3和供气口 4的焊接处内部也可以通过限制钻孔直径来达到限制气流倒流的发生。本实用新型采用不 锈钢材料制作固态源进气管，坚固耐用，而且精度高，效果非常显著。 本实用新型中，不锈钢固态源进气管分左右两路，保证两种原子的淀积。左路进气 管l，右路进气管1';左路连通管3，右路连通管3';和左路供气口 4，右路供气口 4'列在图 3中 本实用新型中，不锈钢固态源进气管包括平行的三根进气管l，也可以是平行的两 根固态源进气管l，或者可以直接用一根固态源进气管1构成。具体根据工艺的要求决定. 本实用新型中，不锈钢固态源进气管的供气口 4是反应室的进气口相匹配的。供 气口 4和反应室的进气口的形状可以是球形口 ，圆锥形口 ，或圆柱形口 。 本实用新型提出的复合材料的气流控制毛细管采用不锈钢毛细管5和外层的塑 料阻塞体6组成，见图4。气流控制精度取决于不锈钢毛细管5的内孔，要求内径精确光滑。 本实用新型中是采用一定长度的无缝不锈钢针管制成，符合设计要求，精度非常高，制作方 便。外层的阻塞体6的目的是限制气流必须从毛细管内孔流过，因此本实用新型中是采用 聚四氟乙烯，聚氟氯乙烯，聚氯乙烯，聚乙烯或尼龙等塑料制成。
权利要求一种复合材料原子层淀积反应器，其特征是采用不锈钢固态源进气管，玻璃或石英反应管和复合材料气流控制毛细管形成复合材料的原子层淀积反应器。
2. 根据权利要求1所述的复合材料原子层淀积反应器，其特征是固态源进气管是采用不锈钢材料制作的，通过供气口和其他材料制作的反应管连接成复合材料原子层淀积反应器。
3. 根据权利要求1所述的复合材料原子层淀积反应器，其特征是不锈钢固态源进气管包括平行的三根进气管，或者是平行的两根固态源进气管，或者直接用一根固态源进气管构成。
4. 根据权利要求1所述的复合材料原子层淀积反应器，其特征是不锈钢固态源进气管和进气管颈部焊接处，以及连通管和供气口的焊接处内部钻小孔连通，通过小孔直径大小限制气流倒流的发生。
5. 根据权利要求1所述的复合材料原子层淀积反应器，其特征是气流控制毛细管采用不锈钢毛细管和塑料阻塞体构成。
专利摘要本实用新型属于高新技术领域，具体涉及一种复合材料的原子层淀积反应器。包括玻璃或不锈钢的反应外管，内部的若干玻璃和不锈钢混合组成或全不锈钢组成的固态源进气管，复合材料的气流控制毛细管等部件。过去反应管采用玻璃或石英制作，结构比较脆弱，本实用新型采用复合材料的优点是易损部件用不锈钢材料后，坚固耐用，而且精度高。特别是固态源进气管结构细长脆弱，采用玻璃或石英制作极易损坏。本实用新型采用不锈钢材料制作固态源进气管后效果非常显著；复合材料的气流控制毛细管采用不锈钢毛细管和外层的聚四氟乙烯等塑料组成，气流控制精度非常高，无对外泄漏，坚固耐用。
文档编号C23C16/44GK201459237SQ200920077298
公开日2010年5月12日 申请日期2009年6月26日 优先权日2009年6月26日
发明者王季陶 申请人:上海企诺电子科技有限公司