专利名称：一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种自动对掩膜版进行倒边加工的倒边装置。
背景技术：
掩膜版是广泛应用在电子行业的重要加工工具之一，掩膜版的倒边和磨边是掩膜 版加工制造过程中的重要加工环节，其加工质量好坏，直接影响到掩膜版的质量。目前，掩 膜版的倒边和磨边工序都是靠人工手动完成，这种加工方式不仅劳动强度大、生产效率低， 更重要的是倒边和磨边的质量难以保证，并且加工精度都比较低，很难将经手动倒边和磨 边的掩膜版应用到高端产品中，特别是大尺寸掩膜版的倒边和磨边，其加工质量就更难保 证。
实用新型内容本实用新型的一个目的是针对现有的对掩膜版进行倒边加工的现状，提供一种可 以自动完成倒边加工的倒边装置。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案一种掩膜版倒边磨边机的倒边 装置，包括倒边磨头，所述倒边磨头在倒边磨头旋转电机的带动下旋转；所述倒边磨头在其 中部设置一环形的开口槽，开口槽的上下两个面之间的垂直距离从内到外依次增大，所述 开口槽关于一基准水平面对称；以及，电控系统，控制所述倒边磨头旋转电机的动作。 优选地，所述开口槽为90度的开口槽。 优选地，还包括带动所述倒边磨头上下移动的上下移动机构和带动所述倒边磨头 及其上下移动机构前后移动的前后移动机构。 优选地，还包括摄像头，所述摄像头与一显示屏电连接；倒边装置的喷水软管和喷
水管接口安装在喷水管支撑板上；在所述倒边磨头的前方安装一风帘，所述风帘的底部、面
向掩膜版表面的侧面上开有若干个小孔；所述风帘与一高压气体供给装置连通。 优选地，所述倒边磨头旋转电机安装在一倒边磨头电机安装板上，倒边磨头旋转
电机的输出轴从所述倒边磨头电机安装板上的孔向下伸出，倒边磨头的轴从与所述倒边磨
头电机安装板固连的一磨头轴支撑板上的孔向上伸出与所述倒边磨头旋转电机的输出轴连接。 优选地，所述上下移动机构包括升降滑板，其与一升降导板滑动配合连接，所述的 倒边磨头电机安装板固装在升降滑板上，所述升降导板与一安装连接板固连；升降电机安 装在与所述安装连接板固连的升降电机安装板上，升降电机的输出轴穿过所述升降电机安 装板上的孔向上伸出，并与支撑在一升降丝杠螺母支承板上的滚珠丝杠相连，所述升降丝 杠螺母支承板与所述的升降滑板固连；所述前后移动机构通过所述安装连接板带动上下移 动机构和倒边磨头前后移动。 优选地，所述前后移动机构包括前后移动电机、前后移动滑板，以及前后移动滑 轨；所述前后移动电机带动所述前后移动滑板在所述前后移动滑轨上滑动；所述前后移动
3滑板通过一中间连接板与所述安装连接板连接。 优选地，所述安装连接板与中间连接板之间设置有缓冲单元，所述缓冲单元包括带心轴的缓冲弹簧和导向杆。 本实用新型的有益之处是倒边磨头设置有开口槽，通过开口槽的两边卡住掩膜版一边的上下两条棱进行磨削，可以同时完成两条棱的倒边磨削； 通过设置上下移动机构，可以调整磨边磨头对称基准水平面与被磨边的掩膜版的中性层在同一平面内；通过设置前后移动机构可以对不同厚度的掩膜版进行倒边加工，即通过开口槽的不同部位卡住掩膜版； 倒边装置上设置有喷水软管和风帘，倒边磨削时喷水软管向倒边磨头喷水，以提高磨削加工质量；风帘的作用是将流向掩膜版的水吹入残水槽，保证掩膜版的洁净；[0015] 倒边装置上设置有摄像头，摄像头可将掩膜版待倒边的边的位置在显示器上显示，帮助人工尽快正确找正定位掩膜版。
图1为本实用新型所述倒边装置的立体结构示意图(安装摄像头)；[0017] 图2为本实用新型所述倒边装置的立体结构示意图(未安装摄像头)；[0018] 图3为图2所示倒边装置的后部的结构示意图；[0019] 图4为图2所示倒边装置的前部结构示意图。
具体实施方式—种掩膜版倒边磨边机，包括倒边装置，倒边装置的作用是对方形掩膜版的某一边的上下棱角同时进行倒棱磨削，因此，倒边装置是以倒边磨头的磨削运动和位置调整为依据进行设计的。如图l至4所示，倒边装置3包括倒边磨头32，为了使倒边磨头32能够同时磨削掩膜版的某一边上的上下两个棱边，倒边磨头32需要在其中部设置一环形的开口槽，开口槽的上下两个面之间的垂直距离从内到外依次增大，优选为线性增大，并且开口槽关于一基准水平面对称，所述开口槽的优选为90度的开口槽，倒边磨头32通过开口槽的某一位置(根据掩膜版的厚度确定)卡住掩膜版一边上的上下两条棱进行磨削。为了使倒边磨头32的基准水平面与被倒边的掩膜版的中性层面重合，倒边装置3需要为倒边磨头32设置上下移动机构，为了适应不同厚度规格的掩膜版的倒边加工，还需要设置倒边磨头32的前后移动机构。 带动倒边磨头32旋转的倒边磨头旋转电机318安装在倒边磨头电机安装板33上，倒边磨头旋转电机318的输出轴从所述倒边磨头电机安装板33上的孔向下伸出，倒边磨头32的轴从与倒边磨头电机安装板33固连的磨头轴支撑板323上的孔向上伸出，再通过联轴节将倒边磨头旋转电机318的输出轴与倒边磨头32的轴相连。[0022] 所述倒边装置3的上下移动机构包括升降滑板315，所述的倒边磨头电机安装板33固装在升降滑板315上。升降电机35安装在与安装连接板37固连的升降电机安装板36上，升降电机35的输出轴穿过升降电机安装板36上的孔向上伸出，并与支撑在升降丝杠螺母支承板324上的滚珠丝杠相连，升降丝杠螺母支承板324又与所述的升降滑板315固连，因此，当升降电机35得电启动时，滚珠丝杠将使升降滑板315沿着与其滑动配合的升降
4导板314上下移动，所述升降导板314与所述安装连接板37固连。 安装连接板37与中间连接板321之间可以设置一缓冲单元，缓冲单元包括带心轴的缓冲弹簧38和导向杆322。所述缓冲单元的作用一是为倒边磨头32提供预压紧力，二是当倒边磨削力超值时，缓冲弹簧38被压縮起缓冲避让作用。 所述中间连接板321与水平连接板313固连，水平连接板313再与倒边装置3的后部，即前后移动机构相连。 所述倒边装置3的前后移动机构包括前后移动电机312、前后移动滑板39，以及前后移动滑轨320。前后移动滑板39和前后移动滑轨320可以为一组滚珠丝杠系统，其丝杠提供联轴器与前后移动电机312相连；所述前后移动滑板39与所述的水平连接板313固连。在前后移动电机312得电启动后，即可带动前后移动滑板39在前后移动滑轨320上前后移动，进而带动倒边装置3的前部(即中间连接板321前面的部分)前后移动。[0026] 倒边装置3的摄像头325安装在摄像头支架326上，摄像头325与如图1所示的左侧显示屏4电连接。所述摄像头支架326可以固定连接在安装前后移动滑轨320的安装板上。所述摄像头325可随倒边装置3在倒边磨边传动装置5的带动下左右移动，以协助找正定位掩膜版。 倒边装置3的喷水软管34和喷水管接口 316安装在喷水管支撑板317上；挡水罩319可以固定连接在倒边磨头电机安装板33的两侧，可以防止磨削时由喷水软管34喷出的水向外侧飞溅。 在倒边磨头电机安装板33的端部可以安装一风帘31，风帘31优选为具有中空的矩形截面的U型管，在U型管的底部、面向掩膜版表面的侧面上开有若干个小孔，高压气从风帘31的小孔中喷出，形成风帘，将掩膜版上的磨削残水吹向接水槽ll，以保持掩膜版的
清洁质量。 倒边装置3通过倒边装置安装基板310与倒边磨边传动装置5的倒边装置滑座53固连。所述倒边装置安装基板310可以与安装前后移动滑轨320的安装板固定连接。[0030] 综上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化及修饰，皆应属于本实用新型的技术范畴。
权利要求一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置，其特征在于包括倒边磨头，所述倒边磨头在倒边磨头旋转电机的带动下旋转；所述倒边磨头在其中部设置一环形的开口槽，开口槽的上下两个面之间的垂直距离从内到外依次增大，所述开口槽关于一基准水平面对称；以及，电控系统，控制所述倒边磨头旋转电机的动作。
2. 根据权利要求1所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置，其特征在于所述开口槽为90度的开口槽。
3. 根据权利要求1所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置，其特征在于还包括带动所述倒边磨头上下移动的上下移动机构和带动所述倒边磨头及其上下移动机构前后移动的前后移动机构。
4. 根据权利要求1、2或3所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置，其特征在于还包括摄像头，所述摄像头与一显示屏电连接；倒边装置的喷水软管和喷水管接口安装在喷水管支撑板上；在所述倒边磨头的前方安装一风帘，所述风帘的底部、面向掩膜版表面的侧面上开有若干个小孔；所述风帘与一高压气体供给装置连通。
5. 根据权利要求1或2所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置，其特征在于所述倒边磨头旋转电机安装在一倒边磨头电机安装板上，倒边磨头旋转电机的输出轴从所述倒边磨头电机安装板上的孔向下伸出，倒边磨头的轴从与所述倒边磨头电机安装板固连的一磨头轴支撑板上的孔向上伸出与所述倒边磨头旋转电机的输出轴连接。
6. 根据权利要求3所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置，其特征在于所述倒边磨头旋转电机安装在一倒边磨头电机安装板上，倒边磨头旋转电机的输出轴从所述倒边磨头电机安装板上的孔向下伸出，倒边磨头的轴从与所述倒边磨头电机安装板固连的一磨头轴支撑板上的孔向上伸出与所述倒边磨头旋转电机的输出轴连接。
7. 根据权利要求6所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置，其特征在于所述上下移动机构包括升降滑板，其与一升降导板滑动配合连接，所述的倒边磨头电机安装板固装在升降滑板上，所述升降导板与一安装连接板固连；升降电机安装在与所述安装连接板固连的升降电机安装板上，升降电机的输出轴穿过所述升降电机安装板上的孔向上伸出，并与支撑在一升降丝杠螺母支承板上的滚珠丝杠相连，所述升降丝杠螺母支承板与所述的升降滑板固连；所述前后移动机构通过所述安装连接板带动上下移动机构和倒边磨头前后移动。
8. 根据权利要求7所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置，其特征在于所述前后移动机构包括前后移动电机、前后移动滑板，以及前后移动滑轨；所述前后移动电机带动所述前后移动滑板在所述前后移动滑轨上滑动；所述前后移动滑板通过一中间连接板与所述安装连接板连接。
9. 根据权利要求8所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置，其特征在于所述安装连接板与中间连接板之间设置有缓冲单元，所述缓冲单元包括带心轴的缓冲弹簧和导向杆。
专利摘要本实用新型公开了一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置，属于对掩膜版进行自动倒边的装置，包括倒边磨头，所述倒边磨头在倒边磨头旋转电机的带动下旋转；所述倒边磨头在其中部设置一环形的开口槽，开口槽的上下两个面之间的垂直距离从内到外依次增大，所述开口槽关于一基准水平面对称；以及，电控系统，控制所述倒边磨头旋转电机的动作。本实用新型所述倒边装置可以在一倒边装置的移动装置的带动下自动对掩膜版进行倒边加工，不仅提供了加工效率，也减小了人为因素对加工质量的影响。
文档编号B24B49/12GK201483318SQ20092016683
公开日2010年5月26日 申请日期2009年7月20日 优先权日2009年7月20日
发明者周冠彬, 唐召来, 张松岭, 林宜龙, 林建昌, 田亮 申请人:格兰达技术(深圳)有限公司