专利名称：一种掩膜版倒边磨边机的倒边磨边传动装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及对掩膜版进行自动倒边和磨边加工的领域，尤其涉及一种在加工
过程中，使倒边装置和磨边装置在移动过程中完成加工的倒边磨边传动装置。
背景技术：
掩膜版是广泛应用在电子行业的重要加工工具之一，掩膜版的倒边和磨边是掩膜 版加工制造过程中的重要加工环节，其加工质量好坏，直接影响到掩膜版的质量。目前，掩 膜版的倒边和磨边工序都是靠人工手动完成，这种加工方式不仅劳动强度大、生产效率低， 更重要的是倒边和磨边的质量难以保证，并且加工精度都比较低，很难将经手动倒边和磨 边的掩膜版应用到高端产品中，特别是大尺寸掩膜版的倒边和磨边，其加工质量就更难保 证。
实用新型内容本实用新型的一个目的是针对现有的对掩膜版进行倒边和磨边加工的现状，提供 一种掩膜版倒边磨边机的倒边磨边传动装置。 为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案一种掩膜版倒边磨边机的倒边 磨边传动装置，包括倒边装置滑座和磨边装置滑座，二者均与一导轨滑动配合连接；倒边动 力传动系统和磨边动力传动系统，分别带动所述倒边装置滑座和磨边装置滑座沿所述导轨 左右移动，使分别安装在倒边装置滑座和磨边装置滑座上的倒边装置和磨边装置在移动过 程中分别对放置在一掩膜版支撑平台装置上的掩膜版进行倒边加工和磨边加工；以及，电 控系统，控制所述倒边和磨边动力传动系统协调动作。 优选地，所述导轨包括前导轨和后导轨；所述倒边动力传动系统包括倒边传动电
机，其安装在所述后导轨的右侧端部，由所述倒边传动电机带动的倒边同步主动轮和倒边
同步从动轮安装在所述前导轨和后导轨之间，并与一倒边传动同步带配合安装，所述倒边
装置滑座与倒边传动同步带固定连接；所述磨边动力传动系统包括磨边传动电机，其安装
在所述前导轨的左侧端部，由所述磨边传动电机带动的磨边同步主动轮和磨边同步从动轮
安装在所述前导轨和后导轨之间，并与一磨边传动同步带配合安装，所述磨边装置滑座与
磨边传动同步带固定连接；所述倒边传动电机和磨边传动电机由所述电控系统控制。 优选地，所述倒边装置滑座的后侧部分与所述倒边传动同步带固连，倒边装置滑
座的前侧部分通过在其下方开一凹槽而与所述磨边传动同步带保持距离，所述磨边装置滑
座的前侧部分与所述磨边传动同步带固连，磨边装置滑座的后侧部分通过在其下方开一凹
槽而与所述倒边传动同步带保持距离。 优选地，还包括倒边装置的左移限位单元和右移限位单元，以及磨边装置的左移 限位单元和右移限位单元； 所述倒边装置的左移限位单元包括固装在所述倒边装置滑座后侧的倒边光控板 和设置在位于后导轨左端外侧的与所述倒边光控板配合的左端倒边光电缺口，所述左端倒边光电缺口与所述电控系统通讯连接；倒边左移限位器，设置在所述后导轨的左端，用以防 止倒边装置向左移动过头； 所述倒边装置的右移限位单元包括所述的倒边光控板和设置在位于后导轨右端 外侧的与所述倒边光控板配合的右端倒边光电缺口 ，所述右端倒边光电缺口与所述电控系 统通讯连接；倒边右移限位器，设置在后导轨与倒边传动同步带之间，用以防止倒边装置向 右移动过头； 所述磨边装置的右移限位单元包括固装在所述磨边装置滑座后侧的磨边光控板 和设置在位于后导轨右端外侧的与所述磨边光控板配合的右端磨边光电缺口，所述右端磨 边光电缺口与所述电控系统通讯连接；磨边右移限位器，设置在所述前导轨的右端，用以防 止磨边装置向右移动过头； 所述磨边装置的左移限位单元包括所述的磨边光控板和设置在位于后导轨左端 外侧的与所述磨边光控板配合的左端磨边光电缺口 ，所述左端磨边光电缺口与所述电控系 统通讯连接；磨边左移限位器，设置在前导轨与磨边传动同步带之间，用以防止倒边装置向 左移动过头。 优选地，所述倒边光控板和磨边光控板偏离后导轨的距离不一致。 优选地，还包括防止倒边装置和磨边装置移动过头而彼此相撞的防撞头，所述防
撞头包括分别设置在倒边装置滑座和磨边装置滑座的同一侧上的倒边装置防撞头和磨边
装置防撞头。 本实用新型的有益之处是倒边磨边传动装置能按加工程序要求，有序带动倒边 装置和磨边装置运动；倒边装置和磨边装置可按加工程序要求轮流在导轨上移动，以实现 对掩膜版进行倒边和磨边加工；倒边装置滑座和磨边装置上可以设置有固连自身装置同步 带的位置和让开非自身装置同步带的凹槽；倒边磨边传动装置上设置有机械式和光控式限 位装置，主要是限制倒边装置和磨边装置的左右移动极限位置和两装置之间的极限位置。
图1为主要显示本实用新型所述倒边磨边传动装置的前部结构的立体示意图； 图2为主要显示本实用新型所述倒边磨边传动装置的后部结构的立体示意图； 图3为本实用新型所述倒边磨边传动装置与掩膜版倒边磨边机的磨边装置和倒 边装置的连接关系示意图。
具体实施方式掩膜版倒边磨边机的倒边磨边传动装置按照加工要求拖动倒边装置和磨边装置 有序移动，以在移动过程中对掩膜版进行倒边和磨边加工。如图1、2和3所示，所述倒边磨 边传动装置5的导轨包括前导轨511和后导轨55， 二者彼此平行地固装在工作台518上，倒 边装置滑座53和磨边装置滑座56均与所述前导轨511和后导轨55滑动配合连接，所述倒 边装置滑座53可以设置在磨边装置滑座56的左侧。倒边磨边传动装置5的倒边动力传动 系统和磨边动力传动系统同样安装在工作台518上；其中，所述倒边动力传动系统的倒边 传动电机57安装在后导轨55的右侧端部，倒边同步主动轮58和倒边同步从动轮514安装 在前导轨511和后导轨55之间，倒边传动电机57带动倒边同步主动轮58，使倒边传动同步带54拉动与之固定连接的倒边装置滑座53往复移动，进而使安装在倒边装置滑座53上的 倒边装置3往复移动；所述磨边动力传动系统的磨边传动电机51安装在前导轨511的左侧 端部，磨边同步主动轮513和磨边同步从动轮59安装在前导轨511和后导轨55之间，磨边 传动电机51带动磨边同步主动轮513，使磨边传动同步带510拉动与之固定连接的磨边装 置滑座56往复移动，进而使安装在磨边装置滑座56上的磨边装置7往复移动；其中，倒边 装置滑座53的后侧部分与倒边传动同步带54固连，倒边装置滑座53的前侧部分可以通过 在其下方开凹槽的方式与磨边传动同步带510保持一定距离，与此相反，磨边装置滑座56 的前侧部分与磨边传动同步带510固连，磨边装置滑座56的后侧部分可以通过在其下方开 凹槽的方式与倒边传动同步带54保持一定距离。 倒边磨边传动装置5还包括倒边装置3的左移限位单元和右移限位单元，以及磨 边装置7的左移限位单元和右移限位单元。 所述倒边装置3的左移限位单元包括光电限位和机械限位，光电限位包括固装在 倒边装置滑座53后侧的倒边光控板520和固装在工作台518上、位于后导轨55左端外侧 的左端倒边光电缺口 521，在倒边装置滑座53在倒边传动同步带54的带动下向左移动的 过程中，当其上的倒边光控板520插入左端倒边光电缺口 521时，该光控信号将输入至电控 系统，电控系统将根据该信号使倒边传动电机57停止转动，即使倒边装置3停止在前后导 轨的最左端；所述机械限位包括倒边左移限位器519，设置在后导轨55的左端，用以防止倒 边装置3向左移动过头。倒边装置3的右移限位单元也包括光电限位和机械限位，其中，光 电限位包括所述的倒边光控板520和固装在工作台518上、位于后导轨55右端外侧的右端 倒边光电缺口 523，在倒边装置滑座53在倒边传动同步带54的带动下向右移动的过程中， 当其上的倒边光控板520插入右端倒边光电缺口 523时，该光控信号将输入至电控系统，电 控系统将根据该信号使倒边传动电机57停止转动，即使倒边装置3停止在前后导轨的最右 端；所述机械限位包括倒边右移限位器515，其可以设置在后导轨55与倒边传动同步带54 之间，用以防止倒边装置3向右移动过头，而磨边装置7可以通过其下方的所述凹槽越过倒 边右移限位器515而向左侧移动。 所述磨边装置7的右移限位单元包括光电限位和机械限位，光电限位包括固装在 磨边装置滑座56后侧的磨边光控板255和固装在工作台518上、位于后导轨55右端外侧 的右端磨边光电缺口 524，在磨边装置滑座56在磨边传动同步带510的带动下向右移动的 过程中，当其上的磨边光控板525插入右端磨边光电缺口 524时，该光控信号将输入至电控 系统，电控系统将根据该信号使磨边传动电机51停止转动，即使磨边装置7停止在前后导 轨的最右端；所述机械限位包括磨边右移限位器517，设置在前导轨511的右端，用以防止 磨边装置7向右移动过头。磨边装置的左移限位单元也包括光电限位和机械限位，其中，光 电限位包括所述的磨边光控板255和固装在工作台518上、位于后导轨55左端外侧的左端 磨边光电缺口 522，在磨边装置滑座56在磨边传动同步带510的带动下向左移动的过程中， 当其上的磨边光控板525插入左端磨边光电缺口 522时，该光控信号将输入至电控系统， 电控系统将根据该信号使磨边传动电机51停止转动，即使磨边装置7停止在前后导轨的最 左端；所述机械限位包括磨边左移限位器512，其可以设置在前导轨511与磨边传动同步带 510之间，用以防止倒边装置7向左移动过头，而倒边装置3可以通过其下方的所述凹槽越 过磨边左移限位器512而向右侧移动。[0022] 如图3所示，为了避免倒边光控板520在倒边装置3向右侧移动过程中插入右端 磨边光电缺口 524和左端磨边光电缺口 522，使电控系统产生误操作，可以使倒边光控板 520和磨边光控板525偏离后导轨55的距离不一致，如倒边光控板520的偏离距离小一些， 则可使倒边光控板520在移动过程中不会插入右端磨边光电缺口 524和左端磨边光电缺口 522，同时也可以保证磨边光控板525在移动过程中不会插入左端倒边光电缺口521和右端 倒边光电缺口 523。 所述倒边磨边传动装置5还可以包括防止倒边装置3和磨边装置7移动过头而彼 此相撞的防撞头，所述防撞头包括分别设置在倒边装置滑座53和磨边装置滑座56的同一 侧上的倒边装置防撞头52和磨边装置防撞头516。 本实用新型所述倒边磨边传动装置的运动过程如下 启动掩膜版倒边磨边机，掩膜版在掩膜版倒边磨边机的掩膜版支撑平台装置上进 行调整定位后，启动倒边磨边程序，倒边装置3和磨边装置7首先回到各自的初始停留位 置，即倒边装置3位于倒边磨边传动装置5的最左侧，而磨边装置7位于倒边磨边传动装置 5的最右侧；当两个装置均回到初始位置后，按照预设程序，倒边传动电机57启动，通过倒 边传动同步带54带动与倒边装置滑座53相固连的倒边装置3向右移动，与此同时，倒边装 置开始对掩膜版的待加工边的上下棱边进行倒棱磨削加工；当倒边装置3向右移动到位， 并且其上的倒边光控板520插入右端倒边光电缺口 523时，倒边装置3停止移动。之后，倒 边传动电机57反向转动，带动倒边装置3向左移动，当移动到左端，并且其上的倒边光控板 520插入左端倒边光电缺口 521时，倒边装置3向左移动到位而停止；当倒边装置3在向左 移动过程中，也可根据需要通过调整倒边装置自动进一个进刀量，使倒边装置在回程过程 中仍然可进行倒边磨削加工。 电控系统得到倒边装置3到位停止信息后，启动磨边传动电机51，通过磨边传动 同步带510带动与磨边装置滑座56相固连的磨边装置7向左移动，当磨边装置的磨边磨头 的外端面与掩膜版的边平面接触时，即开始了对该边的边平面进行磨削加工；当磨边装置 7向左移动到位，并且其上的磨边光控板525插入左端磨边光电缺口 522时，磨边装置7停 止移动。之后，磨边传动电机51反向转动，带动磨边装置7向右移动，当移动到右端，并且 其上的磨边光控板525插入右端磨边光电缺口 524时，磨边装置7向右移动到位而停止；当 磨边装置7在向右移动过程中，也可根据需要通过调整磨边装置自动进一个进刀量，使磨 边装置在回程过程中仍然可进行磨边磨削加工。 倒边磨边完成后，由人工松开掩膜版，再换一边进行倒边和磨边加工。如此反复进 行，就能完成一块块掩膜版的倒边和磨边加工工作。 根据掩膜版尺寸规格，倒边装置3和磨边装置7的行程长短是不同的，主要靠调整 倒边光控板520和磨边光控板525，以及倒边右移限位器515和磨边左移限位器512的位置 来实现。 综上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围。 即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化及修饰，皆应属于本实用新型的技 术范畴。
权利要求一种掩膜版倒边磨边机的倒边磨边传动装置，其特征在于包括倒边装置滑座和磨边装置滑座，二者均与一导轨滑动配合连接；倒边动力传动系统和磨边动力传动系统，分别带动所述倒边装置滑座和磨边装置滑座沿所述导轨左右移动，使分别安装在倒边装置滑座和磨边装置滑座上的倒边装置和磨边装置在移动过程中分别对放置在一掩膜版支撑平台装置上的掩膜版进行倒边加工和磨边加工；以及，电控系统，控制所述倒边和磨边动力传动系统协调动作。
2. 根据权利要求1所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边磨边传动装置，其特征在于 所述导轨包括前导轨和后导轨；所述倒边动力传动系统包括倒边传动电机，其安装在所述 后导轨的右侧端部，由所述倒边传动电机带动的倒边同步主动轮和倒边同步从动轮安装在 所述前导轨和后导轨之间，并与一倒边传动同步带配合安装，所述倒边装置滑座与倒边传 动同步带固定连接；所述磨边动力传动系统包括磨边传动电机，其安装在所述前导轨的左 侧端部，由所述磨边传动电机带动的磨边同步主动轮和磨边同步从动轮安装在所述前导轨 和后导轨之间，并与一磨边传动同步带配合安装，所述磨边装置滑座与磨边传动同步带固 定连接；所述倒边传动电机和磨边传动电机由所述电控系统控制。
3. 根据权利要求2所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边磨边传动装置，其特征在于 所述倒边装置滑座的后侧部分与所述倒边传动同步带固连，倒边装置滑座的前侧部分通过 在其下方开一凹槽而与所述磨边传动同步带保持距离，所述磨边装置滑座的前侧部分与所 述磨边传动同步带固连，磨边装置滑座的后侧部分通过在其下方开一凹槽而与所述倒边传 动同步带保持距离。
4. 根据权利要求2或3所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边磨边传动装置，其特征在 于还包括倒边装置的左移限位单元和右移限位单元，以及磨边装置的左移限位单元和右 移限位单元；所述倒边装置的左移限位单元包括固装在所述倒边装置滑座后侧的倒边光控板和设 置在位于后导轨左端外侧的与所述倒边光控板配合的左端倒边光电缺口，所述左端倒边光 电缺口与所述电控系统通讯连接；倒边左移限位器，设置在所述后导轨的左端，用以防止倒 边装置向左移动过头；所述倒边装置的右移限位单元包括所述的倒边光控板和设置在位于后导轨右端外侧 的与所述倒边光控板配合的右端倒边光电缺口 ，所述右端倒边光电缺口与所述电控系统通 讯连接；倒边右移限位器，设置在后导轨与倒边传动同步带之间，用以防止倒边装置向右移 动过头；所述磨边装置的右移限位单元包括固装在所述磨边装置滑座后侧的磨边光控板和设 置在位于后导轨右端外侧的与所述磨边光控板配合的右端磨边光电缺口，所述右端磨边光 电缺口与所述电控系统通讯连接；磨边右移限位器，设置在所述前导轨的右端，用以防止磨 边装置向右移动过头；所述磨边装置的左移限位单元包括所述的磨边光控板和设置在位于后导轨左端外侧 的与所述磨边光控板配合的左端磨边光电缺口 ，所述左端磨边光电缺口与所述电控系统通 讯连接；磨边左移限位器，设置在前导轨与磨边传动同步带之间，用以防止倒边装置向左移 动过头。
5. 根据权利要求4所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边磨边传动装置，其特征在于所述倒边光控板和磨边光控板偏离后导轨的距离不一致。
6.根据权利要求1、2或3所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边磨边传动装置，其特征 在于还包括防止倒边装置和磨边装置移动过头而彼此相撞的防撞头，所述防撞头包括分 别设置在倒边装置滑座和磨边装置滑座的同一侧上的倒边装置防撞头和磨边装置防撞头。
专利摘要本实用新型公开了一种掩膜版倒边磨边机的倒边磨边传动装置，包括倒边装置滑座和磨边装置滑座，二者均与一导轨滑动配合连接；倒边动力传动系统和磨边动力传动系统，分别带动所述倒边装置滑座和磨边装置滑座沿所述导轨左右移动，使分别安装在倒边装置滑座和磨边装置滑座上的倒边装置和磨边装置在移动过程中分别对放置在一掩膜版支撑平台装置上的掩膜版进行倒边加工和磨边加工；以及，电控系统，控制所述倒边和磨边动力传动系统协调动作。本实用新型所述倒边磨边传动装置可以带动倒边装置和磨边装置在移动过程中对掩膜版进行加工处理，不仅提供了加工效率，减小了人为因素对加工质量的影响。
文档编号B24B9/02GK201437211SQ20092016683
公开日2010年4月14日 申请日期2009年7月20日 优先权日2009年7月20日
发明者周冠彬, 唐召来, 张松岭, 林宜龙, 林建昌, 田亮 申请人:格兰达技术(深圳)有限公司