专利名称：用于群体定向玻壳蒸镀设备的导电电极的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种玻壳蒸铝设备，特别涉及一种用于群体定向玻壳蒸镀设备 的导电电极。
背景技术：
为实现一次性对大量玻壳进行蒸铝镀膜的目的，申请人设计了群体定向玻壳蒸 镀设备，其主要包括真空室及抽真空装置，在真空室内设有多层用以蒸镀玻壳的蒸镀托 架，在每个蒸镀托架上都可以放置很多玻壳，蒸镀托架是以导轨抽拉的形式放入真空室 内，在蒸镀托架的内侧设有两个电极板，在真空室内壁上上对应设有两个电极块，电极 块与真空室室外电源相连，当在蒸镀托架上放好玻壳后，将其沿导轨推入真空室内，使 电极板与电极块接触，因为电极块是固定设置的，所以两者之间是刚性接触，有时候会 发生接触不良的情况，所以导致镀膜质量下降或者不工作情况的发生。
发明内容本实用新型针对上述现有技术中存在的不足，提供了一种可与蒸镀托架上电极 板保持良好接触的导电电极。本实用新型的技术方案是这样实现的用于群体定向玻壳蒸镀设备的导电电极，包括电极块及垂直设置在真空室的内 壁上的导电柱，导电柱连接电源，并且导电柱与真空室内壁两者之间绝缘，在导电柱上 固定套设有导电板三，导电板三的两端各连接有一条导电带，在导电板三的中心处固设 有导向柱一，所述的电极块整体呈T形，所述的电极块包括与蒸镀托架侧部的电极板 相接触的输入电极及与之垂直设置的导向柱二，在导向柱二上套设有导电板四，导电板 四的两端分别与导电带相连，在导电板三与导电板四之间设有一弹簧，弹簧的一段套设 在导向柱一上，弹簧的另一段套设在导向柱二上，并且导向柱一、弹簧均与导电板三绝 缘。采用了上述技术方案的本实用新型的有益效果是本实用新型的电极具有弹性，电源的电流依次经由导电柱、导电板三、导电 带、导电板四最后到电极块，电极块包括蒸镀托架侧部的电极板相接触的输入电极及与 之垂直设置的导向柱二，导向柱二与导向柱一通过弹簧相连，而导电带又具有柔软性， 从而使电极块具有弹性，使得蒸镀托架上侧部的电极板能够较好的接触到电极块，避免 了接触不良情况的发生。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型的具体实施方式
如下实施例如图1所示，用于群体定向玻壳蒸镀设备的导电电极，包括电极块及 垂直设置在真空室的内壁上的导电柱16，导电柱16连接真空室外的电源，并且导电柱16 与真空室内壁两者之间保持绝缘，在导电柱16上固定套设有导电板三17，导电板三17的 两端各连接有一条导电带18，导电带18与导电板三17之间是这样连接的，在导电板三 17的两端各设有一压板39，压板39将导电带18压紧在导电板三17上，并通过螺栓固 定；在导电板三17的中心处固设有导向柱一 19，所述的电极块整体呈T形，所述的电极 块包括与蒸镀托架侧部的电极板相接触的输入电极20及与之垂直设置的导向柱二 21，在 导向柱二 21上套设有导电板四22，导电板四22的两端分别与导电带18相连，同样，在 导电板四22的两端分别设有压板，压板将导电带18压紧在导电板四22上，然后三者之 间通过螺栓固定在一起；在导电板三17与导电板四22之间设有一弹簧23，弹簧23的一 段套设在导向柱一 19上，弹簧23的另一段套设在导向柱二 21上，并且导向柱一 19、弹 簧23均与导电板三17绝缘。上述组件间的相互绝缘可通过绝缘材料或设置绝缘胶套的 形式来实现。
权利要求1.用于群体定向玻壳蒸镀设备的导电电极，其特征是包括电极块及垂直设置在真 空室(1)的内壁上的导电柱(16)，导电柱(16)连接电源，并且导电柱(16)与真空室内壁 两者之间绝缘，在导电柱(16)上固定套设有导电板三(17)，导电板三(17)的两端各连接 有一条导电带(18)，在导电板三(17)的中心处固设有导向柱一(19)，所述的电极块整体 呈T形，所述的电极块包括与蒸镀托架侧部的电极板相接触的输入电极(20)及与之垂直 设置的导向柱二(21)，在导向柱二(21)上套设有导电板四(22)，导电板四(22)的两端 分别与导电带(18)相连，在导电板三(17)与导电板四(22)之间设有一弹簧(23)，弹簧 (23)的一段套设在导向柱一(19)上，弹簧(23)的另一段套设在导向柱二(21)上，并且 导向柱一(19)、弹簧(23)均与导电板三(17)绝缘。
专利摘要本实用新型公开了用于群体定向玻壳蒸镀设备的导电电极，包括电极块及垂直设置在真空室的内壁上的导电柱，导电柱连接电源，并且导电柱与真空室内壁两者之间绝缘，在导电柱上固定套设有导电板三，导电板三的两端各连接有一条导电带，在导电板三的中心处固设有导向柱一，所述的电极块整体呈T形，所述的电极块包括与蒸镀托架侧部的电极板相接触的输入电极及与之垂直设置的导向柱二，在导向柱二上套设有导电板四，导电板四的两端分别与导电带相连，在导电板三与导电板四之间设有一弹簧，弹簧的一段套设在导向柱一上，弹簧的另一段套设在导向柱二上，并且导向柱一、弹簧均与导电板三绝缘。本实用新型的导电电极具有弹性，与蒸镀托架的电极板接触良好。
文档编号C23C14/18GK201801579SQ20102027162
公开日2011年4月20日 申请日期2010年7月26日 优先权日2010年7月26日
发明者詹云翔 申请人:詹云翔