专利名称：一种可伸缩的电池片吸取装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及太阳能电池生产的PECVD工艺，尤其涉及PECVD工艺中用的吸片装置。
背景技术：
PECVD是太阳能电池片等离子体化学沉积镀膜工艺的简称，在太阳能电池的生产过程中，对硅片镀膜是提高太阳能电池吸收效率的关键技术，根据硅片的光电转换发电原理，光线照射到硅片上会产生反射，硅片的光学损失会使太阳能电池的输出低于理想值，硅片镀膜技术是提高太阳能电池吸收效率的成熟技术，已在太阳能电池工业化生产中得到广泛应用，通过PECVD能在硅片表面形成一层减反射膜。太阳能电池镀膜设备的化学沉积镀膜原理是在密闭的真空沉积源中装有多根真空石英管，在每根真空石英管中放有一根铜管，向沉积源中通入硅烷和氨气，再通过电控部分使真空石英管中的铜管发射出微波，在高温条件下，沉积源中的硅烷、氨气和硅片进行反应生成氮化硅，氮化硅会慢慢沉积在电池片表面上，从而实现硅片镀膜。PECVD完成后，由于扩散炉内的温度较高，且炉内深度较大，电池片温度也较高，如果其中出现破裂电池片，或者需要将某片电池片取出时必须使用真空吸片工具，现有的真空吸片工具是真空吸片器， 真空吸片器由真空吸嘴、真空软管、真空开关组成，真空软管一端与真空吸嘴密封连接，另一端与真空开关密封连接，吸取电池片时打开真空开关，由于真空负压，真空吸嘴能够将电池片吸住，需要放下时关闭真空开关，此时负压断开，电池片落下。由于真空吸管由弹性塑料软管做成，无法支撑吸取距离较远的电池片。这种真空吸片装置使用起来很不方便，不仅不易吸取远处的电池片，而且真空软管暴露在扩散炉内，在较高温度环境下使用，其使用寿命不长。因此有必要设计一种能克服现有技术不足的真空吸片装置。
发明内容
为了在PECVD中能对不同位置的电池片进行吸取操作，本发明提供了一种可伸缩的电池片吸取装置，用它来进行吸取电池片既便捷又可靠。本发明所采用的技术方案是一种可伸缩的电池片吸取装置，包括吸嘴、伸缩杆、真空软管和真空开关，其中，伸缩杆包括手持套杆、过渡套杆和内芯套管，在内芯套管的右端设有连接吸嘴的连接孔，在内芯套管的左端设有限位轴阶，吸嘴固定安装在内芯套管的连接孔中，真空软管一端密封地套装在吸嘴的进气管上，另一端经真空开关与真空气源相连，在过渡套杆的右端设有过渡内限位轴肩，所述过渡内轴肩的内径与内芯套管的外径相对应，在过渡套杆的左端设有过渡外限位轴肩，所述过渡外限位轴肩的外径与手持套杆的内径相对应，在手持套杆的右端设有外套内限位轴肩，所述外套内限位轴肩的内径与过渡套杆的外径相对应，过渡套杆套装在手持套杆内，内芯套管套装在过渡套杆内。进一步，在连接孔内侧设有螺纹，在吸嘴待安装于内芯套管一端固定安装有一螺母，该螺母的螺纹处于外侧，其将吸嘴与内芯套管形成螺旋式固定连接。
进一步，在内芯套管的左端内孔中设有固定真空软管的弹性固定圈。由于本发明采用了伸缩杆，并将真空软管套装在伸缩管内，真空吸嘴固定安装在内芯套管的前端，真空软管套在手持套杆、过渡套杆和内芯套管的内孔中，防止真空软管直接暴露在温度较高的扩散炉内，影响其使用寿命。伸缩杆结构使得真空吸嘴能进能退，操作者只要调节伸缩杆的长度，操作者本人不需走动就能轻便地对电池片进行吸取，既轻松又方便。
图1为本发明的伸展状的结构示意图；图2为本发明的纵向剖视结构示意图；图3为伸缩杆的结构示意图；图中1-吸嘴；2-伸缩杆；3-真空软管；4-真空开关；5-弹性固定圈；11_螺母； 21-手持套杆；22-过渡套杆；23-内芯套管；231-连接孔；232-限位轴阶。
具体实施例方式根据附图详细说明本发明的
具体实施例方式一种可伸缩的电池片吸取装置，如图1和图2所示，它由吸嘴1、伸缩杆2、真空软管3、真空开关4和弹性固定圈5组成，其中，伸缩杆2如图3所示，它由手持套杆21、过渡套杆22和内芯套管23组成，在内芯套管23的右端设有连接吸嘴1的连接孔231，在内芯套管23的左端设有限位轴阶232，连接孔231内侧设有螺纹，在吸嘴1待安装于内芯套管 23 一端固定安装有一螺母11，该螺母11的螺纹处于外侧，其将吸嘴1与内芯套管23形成螺旋式固定连接，真空软管3设置在手持套杆21、过渡套杆22和内芯套管23的内孔中，一端密封地套装吸嘴1的进气管上，另一端经真空开关4与真空气源相连，在内芯套管23的左端内孔中设有固定真空软管3的弹性固定圈5，在过渡套杆22的右端设有过渡内限位轴肩，所述过渡内轴肩的内径与内芯套管23的外径相对应，在过渡套杆22的左端设有过渡外限位轴肩，所述过渡外限位轴肩的外径与手持套杆21的内径相对应，在手持套杆21的右端设有外套内限位轴肩，所述外套内限位轴肩的内径与过渡套杆22的外径相对应，过渡套杆 22套装在手持套杆21内，内芯套管23套装在过渡套杆22内。
权利要求
1.一种可伸缩的电池片吸取装置，其特征是包括吸嘴(1)、伸缩杆O)、真空软管(3) 和真空开关(4)，其中，伸缩杆(2)包括手持套杆(21)、过渡套杆(22)和内芯套管(23)，在内芯套管03)的右端设有连接吸嘴(1)的连接孔031)，在内芯套管03)的左端设有限位轴阶032)，吸嘴(1)固定安装在内芯套管03)的连接孔031)中，真空软管(3) —端密封地套装在吸嘴(1)的进气管上，另一端经真空开关(4)与真空气源相连，在过渡套杆02) 的右端设有过渡内限位轴肩，所述过渡内轴肩的内径与内芯套管的外径相对应，在过渡套杆0 的左端设有过渡外限位轴肩，所述过渡外限位轴肩的外径与手持套杆的内径相对应，在手持套杆的右端设有外套内限位轴肩，所述外套内限位轴肩的内径与过渡套杆0 的外径相对应，过渡套杆0 套装在手持套杆内，内芯套管0 套装在过渡套杆0 内。
2.根据权利要求1所述可伸缩的电池片吸取装置，其特征是在连接孔031)内侧设有螺纹，在吸嘴(1)待安装于内芯套管03) —端固定安装有一螺母(11)，该螺母(11)的螺纹处于外侧，其将吸嘴(1)与内芯套管03)形成螺旋式固定连接。
3.根据权利要求1所述可伸缩的电池片吸取装置，其特征是在内芯套管03)的左端内孔中设有固定真空软管(3)的弹性固定圈(5)。
全文摘要
一种可伸缩的电池片吸取装置，包括吸嘴、伸缩杆、真空软管和真空开关，伸缩杆由手持套杆、过渡套杆和内芯套管套装而成，吸嘴固定安装在内芯套管的伸出端，真空软管一端密封地套装在吸嘴的进气管上，另一端经真空开关与真空气源相连。由于采用了伸缩杆，并将真空软管套装在伸缩管内，真空吸嘴固定安装在内芯套管的前端，真空软管套在手持杆、过渡套杆和内芯套管的内孔中，防止真空软管直接暴露在温度较高的扩散炉内，影响其使用寿命。伸缩杆结构使得真空吸嘴能进能退，操作者只要调节伸缩杆的长度，操作者本人不需走动就能轻便地对电池片进行吸取，既轻松又方便。
文档编号C23C16/44GK102560420SQ20111039048
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月30日 优先权日2011年11月30日
发明者徐新星, 房江明 申请人:常州亿晶光电科技有限公司