专利名称：金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体门密封结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空镀膜设备，特别是一种在金属(铜或铝)卷绕条带上连续镀制太阳能选择性吸收涂层，应用于太阳能平板式集热器上的金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体门密封结构。
背景技术：
为了节约能源、保护环境、提高人民生活水平，我国太阳热水器产业在近十多年内迅猛发展。太阳热水器生产量和销售量都飞速增长。如今，我国已成为世界上太阳热水器的生产和销售大国，年销售量和总保有量都居世界第一位。我国太阳热水器种类甚多，有真空管热水器、平板型热水器、闷晒型热水器等几大类，以真空管热水器为主。但真空管太阳能热水器存在易爆管、维修不方便，与建筑结合存在不美观等缺陷。而在国外，大多采用平板型热水器。我国一些大型太阳能热水工程也多采用平板型太阳能集热器，但所使用的金属条带太阳能吸收膜主要靠进口。由于平板型太阳能热水器采用金属板材作吸热核心元器件，具有坚固耐用等优点，能与建筑完美结合，克服了真空管太阳能热水器在安装、维护及使用寿命，与建筑结合等不足之处。太阳能平板型热水器采用的是平板金属条带作为核心吸热元件，因此，集热板表面的选择性吸附涂层的镀制质量与性能以及耐气候性，是决定整个太阳能热水设备的关键技术，而金属条带连续卷绕设备则是制备金属条带选择性吸附涂层的关键设备。国内目前使用的是阳极氧化(电镀)技术生产太阳能平板集热器，该技术损害环境，有电镀污水，已被限制生产同时产品质量低劣，发射率极高；另外还有采用喷涂技术生产太阳能平板集热器，该技术生产的产品质量更差，吸收率低，发射率更高。采用真空磁控溅射技术镀制太阳能平板集热器的也是一些单室小型设备，产品质量也极不稳定。现有的金属条带连续卷绕镀膜装置大多是箱体式的，放卷室、收卷室和溅射室均在一个箱式体内。中国专利200420077793. 6公开的一种太阳能选择性吸附涂层连续镀膜装置，所述真空室与真空室两室之间设置一个独立的过度装置，虽然完成单个室独立连续镀膜，但上述的设备在镀制过程中，工件在每一个镀膜之后，都会脱落真空环境之后进入真空过度装置中，这样由于在两次镀制过程中工件在温度和真空条件变化下，容易影响膜层质量。中国专利200810M1896. 7公开的一种连续卷绕式磁控溅真空镀膜装置，在其真空室内腔中水平设置有由三个辊构成的三角形张力控制装置，此装置结构使金属条带卷弯半径小，易将镀膜后膜层损坏。另外，上述两种金属条带连续卷绕镀膜装置在工艺室中部设有工艺室隔离板，将工艺室隔离成两个独立的腔体，原材料消耗和工艺能耗都比较大。
发明内容本实用新型的目的是克服现有技术的上述不足，而提供一种金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体门密封结构。本实用新型的技术方案是一种金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体门密封结构，由真空箱和真空箱门组成，真空箱和真空箱门通过铰链连接；真空箱的上面有开口，侧面有供金属条带通过的长方形行进窗和连接螺栓孔，真空室与真空室之间通过连接螺栓连接为一个整体；真空箱门上有密封圈和密封件，真空箱门通过密封圈和密封件、并依靠真空箱门的重量和真空箱的负压将真空箱的上面有开口密封。本实用新型真空室采用积木式方式进行拼装、连接，且真空箱门通过密封圈和密封件、并依靠真空箱门的重量和真空箱的负压将真空箱的上面有开口密封，可在各种卷绕条带上镀制各种功能膜，使金属条带太阳能吸收膜国产化，具有结构简单、可灵活拼装的、 膜层均勻、性能稳定、效率高等特点，适合大规模工业化生产。以下结合图和具体实施方式
对本实用新型的详细结构作进一步描述。
图1为本实用新型的结构示意图；图2为图1的左视图。
具体实施方式
如图1所示一种金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体门密封结构，由真空箱 (1)和真空箱门(2)组成，真空箱(1)和真空箱门(2)通过铰链(3)连接；真空箱(1)的上面有开口( 11 )，侧面有供金属条带通过的长方形行进窗(12)和连接螺栓孔(13)，真空室与真空室之间通过连接螺栓连接为一个整体；真空箱门(2)上有密封圈(21)和密封件(22)；真空箱门(2)通过密封圈(21)和密封件(22)、并依靠真空箱门(2)的重量和真空箱(1)的负压将真空箱(1)的上面有开口(11)密封。本实用新型真空室采用积木式方式进行拼装、连接，其真空箱门通过密封圈和密封件、并依靠真空箱门的重量和真空箱的负压将真空箱的上面有开口密封，可在各种卷绕条带上镀制各种功能膜，使金属条带太阳能吸收膜国产化，具有结构简单、可灵活拼装的、 膜层均勻、性能稳定、效率高等特点，适合大规模工业化生产。
权利要求1. 一种金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体门密封结构，由真空箱(1)和真空箱门 (2)组成，真空箱(1)和真空箱门(2)通过铰链(3)连接；真空箱(1)的上面有开口( 11)，侧面有供金属条带通过的长方形行进窗(12)和连接螺栓孔(13)，真空室与真空室之间通过连接螺栓连接为一个整体；真空箱门(2)上有密封圈(21)和密封件(22)；真空箱门(2)通过密封圈(21)和密封件(22)、并依靠真空箱门(2)的重量和真空箱(1)的负压将真空箱(1) 的上面有开口(11)密封。
专利摘要一种金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体门密封结构，由真空箱(1)和真空箱门(2)组成，真空箱(1)和真空箱门(2)通过铰链(3)连接；真空箱(1)的上面有开口(11)，侧面有供金属条带通过的长方形行进窗(12)和连接螺栓孔(13)，真空室与真空室之间通过连接螺栓连接为一个整体；真空箱门(2)上有密封圈(21)和密封件(22)。本实用新型真空室采用积木式方式进行拼装、连接，其真空箱门通过密封圈和密封件、并依靠真空箱门的重量和真空箱的负压将真空箱的上面有开口密封，可在各种卷绕条带上镀制各种功能膜，使金属条带太阳能吸收膜国产化，具有结构简单、可灵活拼装的、膜层均匀、性能稳定、效率高等特点，适合大规模工业化生产。
文档编号C23C14/00GK202201964SQ20112024368
公开日2012年4月25日 申请日期2011年7月12日 优先权日2011年7月12日
发明者李云松, 李云程, 李纲, 颜朝阳 申请人:湖南菲尔姆光能有限公司