专利名称：等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀载具及支撑载具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及等离子显示屏技术领域，更具体地说，涉及等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀载具及支撑载具。
背景技术：
等离子平板显示屏是一种利用气体放电的显示装置，具有高亮度、高对比度、厚度薄、质量轻、大平面、宽视角、响应快、防电磁干扰等优点。在等离子平板显示屏的制造过程中，氧化镁保护膜蒸镀是其中一个非常关键的工艺。氧化镁保护膜的主要作用是保护等离子平板显示屏的前介质、提供二次电子、降低着火电压。在氧化镁保护膜蒸镀工艺中，蒸镀载具用来搬运、支撑待蒸镀的玻璃基板。蒸镀载具主要由移动载具和支撑载具组成。请参考附图1-3，支撑载具包括支撑主体01、支撑块02 和弹性支撑条03，支撑载具通过支撑主体01上的定位孔与移动载具相配合。在蒸镀的过程中，玻璃基板04通过机械手放到支撑载具上时本来就会受到一定的机械冲击，而现有的支撑载具的各个支撑块02高度很难达到一致，进一步增大了玻璃基板04放到支撑载具上所受到的机械冲击，导致玻璃基板04有微裂纹、内应力，在蒸镀的过程中玻璃基板04由此破裂的概率很大，影响生产的进行。同时，由于各个支撑块02的高度不一，会导致放置在其上的玻璃基板04翘曲、表面不平整，导致蒸镀时玻璃基板04到蒸发源的高度不同，导致氧化镁保护膜的成膜速率和膜厚相差较大，产生的废品率高。综上所述，如何提供一种等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀用支撑载具，以实现各个支撑块的高度一致，进而降低蒸镀过程中玻璃基板的破裂概率，降低等离子平板显示屏的废品率，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供了等离子显示屏的氧化镁保护膜蒸镀装置，实现了支撑载具上的各个支撑块的高度一致，进而降低了蒸镀过程中玻璃基板的破裂概率，同时降低了等离子平板显示屏的废品率。为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具，包括支撑主体和设置在所述支撑主体上的多个支撑块；每个所述支撑块均包括与所述支撑主体相连的支撑底座，其上设置有支撑杆；设置有与所述支撑杆相配合的孔的支撑头；与所述支撑头相连，实现所述支撑头沿所述支撑杆伸缩的伸缩弹簧。优选的，上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中，所述伸缩弹簧设置在所述支撑头的底面与所述支撑底座的表面之间。优选的，上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中，所述伸缩弹簧套设在所述支撑杆上。[0014]优选的，上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中，所述孔为阶梯孔，所述伸缩弹簧套设在所述支撑杆上，且位于所述阶梯孔的台阶面和所述支撑底座之间。优选的，上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中，所述孔为盲孔， 所述伸缩弹簧设置在所述孔的底面与所述支撑杆的顶端端面之间。优选的，上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中，所述支撑底座滑动地设置在所述支撑主体上。优选的，上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中，所述支撑主体上设置有条形孔，所述支撑底座通过穿过所述条形孔的螺栓与所述支撑主体相连。优选的，上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中，所述条形孔为腰型孔。基于上述提供的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具，本实用新型还提供了一种等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀载具，包括支撑载具和与之相连的移动载具，所述支撑载具为上述任意一项所述的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具。本实用新型提供的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中，设置在支撑主体上的各个支撑块均包括支撑底座、支撑头和与支撑头相连实现支撑头沿支撑杆伸缩的伸缩弹簧。上述结构使得与玻璃基板接触的支撑块在伸缩弹簧的作用下可以伸缩，当玻璃基板放置到整个支撑载具上时，支撑块受到压力的情况下伸缩进而很容易实现各个支撑块高度达到一致，减小了玻璃基板受到的机械冲击，同时由于伸缩弹簧的伸缩实现了对玻璃基板的缓冲，进一步减小了对玻璃基板的机械冲击，减小了玻璃基板因机械冲击产生的微裂纹、内应力，进而减小了蒸镀过程中玻璃基板的破裂概率。由于上述各个支撑块高度达到一致，避免了玻璃基板的翘曲、表面不平整现象，使得蒸镀时玻璃基板各部分距蒸发源的距离相等，提高了氧化镁保护膜的成膜速率，降低了各部分的膜厚差，进而降低了废品率。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术提供的等离子显示屏的氧化镁保护膜蒸镀载具的俯视结构示意图；图2为图1的B-B向剖视图；图3为图2中A部分的放大结构示意图；图4为本实用新型实施例提供的等离子显示屏的氧化镁保护膜蒸镀载具的部分结构示意图；图5为图4的部分俯视结构示意图；图6为支撑块支撑玻璃基板的结构示意图；图7为支撑块支撑另一种玻璃基板的结构示意图。上图1-图7中[0030]支撑主体01、支撑块02、弹性支撑条03、玻璃基板04、支撑主体11、腰型孔111、支撑块12、支撑底座121、支撑头122、支撑杆123、伸缩弹簧124、弹性支撑条13、玻璃基板14、 电极图形141、螺栓15、玻璃基板16、电极图形161。
具体实施方式
本实用新型提供了一种等离子显示屏的氧化镁保护膜蒸镀装置，实现了支撑载具上的各个支撑块的高度一致，进而降低了蒸镀过程中玻璃基板的破裂概率，同时降低了等离子平板显示屏的废品率。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参考附图4-5，图4为本实用新型实施例提供的等离子显示屏的氧化镁保护膜蒸镀载具的部分结构示意图。图5为图4的部分俯视结构示意图。本实用新型提供的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具，包括支撑主体11、设置在支撑主体11上的多个支撑条13和多个支撑块12，每个支撑块12均包括与支撑主体11相连的支撑底座121，其上设置有支撑杆123 ；设置有与所述支撑杆123相配合的孔的支撑头122 ；与支撑头122相连，实现支撑头122沿支撑杆123伸缩的伸缩弹簧124。本实用新型提供的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中，设置在支撑主体11上的各个支撑块12均包括支撑底座121、支撑头122和与支撑头122相连实现支撑头122沿支撑杆123伸缩的伸缩弹簧124。上述结构使得与玻璃基板接触的支撑块12 在伸缩弹簧124的作用下可以伸缩，当玻璃基板放置到整个支撑载具上时，支撑块12受到压力的情况下伸缩进而很容易实现各个支撑块12高度达到一致，减小了玻璃基板14受到的机械冲击，同时由于伸缩弹簧124的伸缩实现了对玻璃基板的缓冲，进一步减小了对玻璃基板14的机械冲击，减小了玻璃基板14因机械冲击产生的微裂纹、内应力，进而减小了蒸镀过程中玻璃基板14的破裂概率。由于上述各个支撑块12高度达到一致，避免了玻璃基板14的翘曲、表面不平整现象，使得蒸镀时玻璃基板14各部分距蒸发源的距离相等，提高了氧化镁保护膜的成膜速率，降低了玻璃基板各部分的膜厚差，进而降低了废品率。本实施例中提供的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中，伸缩弹簧 124是整个支撑载具中的伸缩部件，其伸缩带动支撑头122沿着支撑杆1 移动，伸缩弹簧 IM可以设置在支撑头122的底面与支撑底座121的表面之间，实现支撑头122的高度调节。当然上述伸缩弹簧1 可以设置在支撑杆123的一侧，也可以套设在支撑杆123上，为了使得整个支撑头122移动平稳，上述伸缩弹簧1 优选的套设在支撑杆123上。上述支撑头122上的孔为阶梯孔，伸缩弹簧IM套设在支撑杆123上，且位于阶梯孔的台阶面与支撑底座121的之间，伸缩弹簧124以支撑底座121为基础，通过作用于台阶面实现支撑头122高度的调节。上述支撑头122上的孔为盲孔，伸缩弹簧IM设置在孔的底面与支撑杆123的顶端端面之间，伸缩弹簧124以支撑杆123的顶端端面为基础，通过作用于盲孔的底面实现支
5撑头122高度的调节。现有技术中提供的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中，支撑块位置一般在玻璃基板的非电极图形区域，以免碰伤玻璃基板上的电极图形，但是如果玻璃基板上的电机图形改变或者蒸镀产品的品种改变，现有的支撑块固定地设置在支撑本体上， 导致支撑块无法移动，导致支撑块可能会位于电极图形的下面，从而导致对电极图形的划伤进而造成短路。为了解决上述问题，本实施例中提供的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中，支撑底座121滑动地设置在支撑主体11上，进而实现了与玻璃基板接触的支撑头的位置改变。具体的，请参考附图6，支撑头122设置在玻璃基板14上的非电极图形部位，避开电极图形141，当玻璃基板改变时，如图7所示，通过滑动支撑底座121使得支撑头122避开玻璃基板16上的电极图形161，避免了对产品的损坏。上述实现支撑底座 121滑动地设置在支撑主体1上的结构有多种，例如支撑主体11的面向玻璃基板的一侧面上设置有滑道，支撑底座121滑动地插设在滑道中；本实施例中提供了一种能够滑动结构， 具体为支撑主体11上设置有条形孔，支撑底座121通过穿过条形孔的螺栓15与支撑主体 11相连，松开螺栓使得螺栓15沿着条形孔滑动，当滑动到设定的位置时，将螺栓15旋紧。 上述条形孔可以为长方形孔，也可以为腰型孔111。上述实施例中提供的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具在工作的过程中处于高温的环境中，为了提高支撑载具中各个部件的使用寿命，上述支撑主体、支撑杆、支撑头、伸缩弹簧均由耐高温的材料制成。优选的，上述支撑主体、支撑杆、支撑头和伸缩弹簧均由耐高温不锈钢材料制成。当然上述各个部件还可以由其他的耐高温材料制成， 并不限于耐高温不锈钢材料。本实用新型实施例还提供了一种等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀载具，包括支撑载具和与之相连的移动载具，所述支撑载具为上述实施例中所述的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具，包括支撑主体(11)和设置在所述支撑主体(11)上的多个支撑块(1 ；其特征在于，每个所述支撑块(1 均包括与所述支撑主体(11)相连的支撑底座(121)，其上设置有支撑杆(123)；设置有与所述支撑杆(12 相配合的孔的支撑头(122)；与所述支撑头(122)相连，实现所述支撑头(122)沿所述支撑杆(123)伸缩的伸缩弹簧(124)0
2.根据权利要求1所述的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具，其特征在于，所述伸缩弹簧(124)设置在所述支撑头(12 的底面与所述支撑底座(121)的表面之间。
3.根据权利要求2所述的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具，其特征在于，所述伸缩弹簧(124)套设在所述支撑杆(123)上。
4.根据权利要求1所述的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具，其特征在于，所述孔为阶梯孔，所述伸缩弹簧(124)套设在所述支撑杆(12 上，且位于所述阶梯孔的台阶面和所述支撑底座(121)之间。
5.根据权利要求1所述的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具，其特征在于，所述孔为盲孔，所述伸缩弹簧(124)设置在所述孔的底面与所述支撑杆(12 的顶端端面之间。
6.根据权利要求1所述的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具，其特征在于，所述支撑底座(121)滑动地设置在所述支撑主体(11)上。
7.根据权利要求6所述的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具，其特征在于，所述支撑主体(11)上设置有条形孔，所述支撑底座(121)通过穿过所述条形孔的螺栓 (15)与所述支撑主体(11)相连。
8.根据权利要求7所述的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具，其特征在于，所述条形孔为腰型孔(111)。
9.一种等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀载具，包括支撑载具和与之相连的移动载具，其特征在于，所述支撑载具为上述权利要求1-8中任意一项所述的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具。
专利摘要本实用新型提供了一种等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具，包括支撑主体(11)和设置在所述支撑主体(11)上的多个支撑块(12)；每个所述支撑块(12)均包括与所述支撑主体(11)相连的支撑底座(121)，其上设置有支撑杆(123)；设置有与所述支撑杆(123)相配合的孔的支撑头(122)；与所述支撑头(122)相连，实现所述支撑头(122)沿所述支撑杆(123)伸缩的伸缩弹簧(124)。本实用新型提供的支撑载具实现了各个支撑块的高度的一致，降低了蒸镀过程中玻璃基板的破裂概率，同时降低了等离子平板显示屏的废品率。本实用新型还提供了一种等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀载具。
文档编号C23C14/08GK202187054SQ20112031445
公开日2012年4月11日 申请日期2011年8月24日 优先权日2011年8月24日
发明者周志锋 申请人:安徽鑫昊等离子显示器件有限公司