专利名称：真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及管路连接领域技术，尤其是指一种真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路。
背景技术：
真空镀膜机于镀膜时，将基片置于一腔体中进行镀膜，当膜片镀完后，需及时将腔体中空气抽干，以形成一真空腔体，使膜片牢固粘于基片上，然而，现有真空镀膜机破气装置，结构复杂，破气缓慢，经常导致破气时间过长，而产生膜片由基片脱落现象，从而，导致 镀膜质量不合格，而使成本增高，降低了产品竞争力。因此，应该对现有真空镀膜机破气装置结构进行改良。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型针对现有技术存在之缺失，其主要目的是提供一种真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其能有效解决现有的问题。为实现上述目的，本实用新型采用如下之技术方案一种真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其包括有一接口、一腔体和一破气缓冲管，其中，该腔体上设置有一用于通气的第一气口，该破气缓冲管上设置有一第二气口，上述接口一端连接于第一气口上，另一端连接于上述第二气口上。作为一种优选方案所述第一气口为一沉孔，上述接口一端设置有一凸台，该凸台嵌入于前述沉孔之台阶中。作为一种优选方案所述接口上套设有一防止漏气的密封圈，该密封圈位于上述凸台与台阶之间。作为一种优选方案所述接口伸出腔体外一端设置有螺纹，一用于将接口固定于腔体上的螺母拧紧于该接口伸出端上，并该螺母贴于腔体外侧。作为一种优选方案所述螺母和腔体之间设置有一垫片。作为一种优选方案所述接口与第二气口之间接有一连接管，该连接管一端螺纹连接于上述接口伸出端。另一端连接于上述第二气口上。作为一种优选方案所述连接管与第二气口之间设置有一将连接管与第二气口彼此固定的卡箍。作为一种优选方案所述连接管下端设置有一第一外檐，于第二气口上设置有一与第一外檐相匹配的第二外檐，第一外檐紧贴于第二外檐上，上述卡箍卡于第一外檐与第二外檐外部。作为一种优选方案所述第一外檐与第二外檐之间设置有一防止漏气的密封圈。本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果，具体而言，由上述技术方案可知，通过于腔体和破气缓冲罐之间连接一接口，使腔体内气体与破气缓冲管连通，从而加快腔体内气体排放，有效减少腔体破气时间。藉此，于真空镀膜时，能有效防止膜片由基片上脱落的现象发生，提高镀膜产品合格率，并且该结构简单，安装方便，紧固后不易松动，工作稳定性好。[0015]为更清楚地阐述本实用新型的结构特征和功效，
以下结合附图与具体实施例来对其进行详细说明。
图I为本实用新型较佳实施例之组装示意图；图2为本实用新型较佳实施例之破气缓冲管立体示意图；图3为本实用新型较佳实施例之接口立体示意图；图4为本实用新型较佳实施例之连接管立体示意图；图5为本实用新型较佳实施例之垫片立体示意图；图6为本实用新型较佳实施例之腔体立体示意图。附图标识说明10、腔体11、第一气口111、台阶20、接口21、凸台22、伸出端30、连接管31、第一外檐40、破气缓冲管41、第二气口411、第二外檐50、密封圈60、垫片70、螺母80、卡箍。
具体实施方式
本实用新型如图I至图6所示，包括有腔体10、接口 20、连接管30和破气缓冲管40。其中，该腔体10上设置有一用于通气的第一气口 11，该第一气口 11为一沉孔，上述接口 20 —端穿过该第一气口 11，与第一气口 11连通，并于接口 20另一端设置有一凸台21，该凸台21嵌入于沉孔之台阶111中，防止接口 20脱离腔体10，于接口 20上套设有一防止漏气的密封圈50，该密封圈50位于上述凸台21与台阶111之间；于接口 20于腔体外伸出端22设置有螺纹，一用于将接口 20固定于腔体10上的螺母70拧紧于该接口伸出端22上，并该螺母70贴于腔体10外侧，并该螺母70和腔体10之间设置有一垫片60。该连接管30上端螺纹连接于上述接口 20伸出端22上，其下端设置有一第一外檐31,于第二气口 41上设置有一与第一外檐31相匹配的第二外檐411,第一外檐31紧贴于第二外檐411上，于第一外檐31与第二外檐411外部设置一将第一外檐31与第二外檐411固接的卡箍80，并于第一外檐31与第二外檐411之间设置有一防止漏气的密封圈50。本实用新型的设计重点在于，通过于腔体和破气缓冲罐之间连接一接口，使腔体内气体与破气缓冲管连通，从而加快腔体内气体排放，有效减少腔体破气时间。藉此，于真空镀膜时，能有效防止膜片由基片上脱落的现象发生，提高镀膜产品合格率，并且该结构简单，安装方便，紧固后不易松动，工作稳定性好。[0035]以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型的技术范围作 任何限制，故凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何细微修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1.ー种真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其特征在于包括有一接ロ、一腔体和一破气缓冲管，其中，该腔体上设置有一用于通气的第一气ロ，该破气缓冲管上设置有一第二气ロ，上述接ロ 一端连接于第一气口上，另一端连接于上述第二气ロ上。
2.根据权利要求I所述的真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其特征在于所述第一气ロ为ー沉孔，上述接ロー端设置有ー凸台，该凸台嵌入于前述沉孔之台阶中。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其特征在于所述接ロ上套设有一防止漏气的密封圈，该密封圈位于上述凸台与台阶之间。
4.根据权利要求I所述的真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其特征在于所述接ロ伸出腔体外一端设置有螺纹，一用于将接ロ固定于腔体上的螺母拧紧于该接ロ伸出端上，并该螺母贴于腔体外侧。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其特征在于所述螺母和腔体之间设置有一垫片。
6.根据权利要求I所述的真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其特征在于所述接ロ与第二气ロ之间接有ー连接管，该连接管一端螺纹连接于上述接ロ伸出端，另一端连接于上述第二气口上。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其特征在于所述连接管与第二气ロ之间设置有一将连接管与第二气ロ彼此固定的卡箍。
8.根据权利要求6所述的真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其特征在于所述连接管下端设置有一第一外檐，于第二气ロ上设置有一与第一外檐相匹配的第二外檐，第一外檐紧贴于第二外檐上，上述卡箍卡于第一外檐与第二外檐外部。
9.根据权利要求8所述的真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其特征在于所述第一外檐与第二外檐之间设置有一防止漏气的密封圏。
专利摘要本实用新型公开一种真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其包括有一接口、一腔体和一破气缓冲管，其中，该腔体上设置有一用于通气的第一气口，该破气缓冲管上设置有一第二气口，上述接口一端连接于第一气口上，另一端连接于上述第二气口上。藉此，通过于腔体和破气缓冲罐之间连接一接口，使腔体内气体与破气缓冲管连通，从而加快腔体内气体排放，有效减少腔体破气时间。使镀膜时，能有效防止膜片由基片上脱落的现象发生，从而，提高镀膜产品合格率，并且该结构简单，安装方便，紧固后不易松动，工作稳定性好。
文档编号C23C14/56GK202390531SQ20112043617
公开日2012年8月22日 申请日期2011年11月7日 优先权日2011年11月7日
发明者陈尧贵 申请人:宸阳光电科技(厦门)有限公司