用于化学沉积设备的夹固装置制造方法
【专利摘要】一种用于化学沉积设备的夹固装置，化学沉积设备具有罩体及基板，夹固装置包括致动机构及多个夹持机构，致动机构配设在罩体上；各多个夹持机构分别连接在罩体，每一夹持机构包含安装在罩体的固定座、枢接固定座的夹臂及固接在夹臂的抵压件，各夹臂的一端分别连接致动机构并受其驱动，从而使各夹臂以旋摆方式令各抵压件夹掣固定在基板。本发明可将基板迅速地夹掣在罩体内以进行化学沉积，也能自罩体快速卸离而提高生产效能。
【专利说明】用于化学沉积设备的夹固装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种夹固装置，特别是一种用于化学沉积设备的夹固装置。
【背景技术】
[0002]在现在工业制造的中，利用自动化的生产设备有诸多好处，第一能减少人力成本，仅需要支付操作人员的成本即可。第二能利用机器代替人力去作具有危险性的工作，以避免公共意外的产生。第三利用机器生产精度高，可避免人工制造错误。因具有上述优点，自动化生产已成为工业上不可或缺的利器。
[0003]于半导体制造的过程中，尤其在CIGS光伏面板工艺，常需在一基板上利用物理气相沉积或化学气相沉积方式形成一镀膜，当然半导体的工艺种类十分地多，无法一一细数，但是于工艺中常需要通过滚轮来传送基板至下一个工艺，如何确保传送时，利用夹持结构来将一基板确实夹固于一罩体(Hood)的底部，而不使基板与罩体所结合的结构中的化学液体泄漏，即为本发明研发及保护的标的。
【发明内容】
[0004]本发明所要解决的技术问题是提供一种用于化学沉积设备的夹固装置，其通过致动机构与各夹持机构的组配，可将基板迅速地夹掣在罩体内以进行化学沉积，也能自罩体快速卸离而下以提高生产效能。
[0005]为了实现上述目的，本发明提供了一种用于化学沉积设备的夹固装置，所述化学沉积设备具有一罩体及一基板，其中，该夹固装置包括:
[0006]一致动机构，配设在所述罩体上；以及
[0007]多个夹持机构，分别连接在所述罩体，每一该夹持机构包含安装在所述罩体的一固定座、枢接该固定座的一夹臂及固接在该夹臂的一抵压件，各该夹臂的一端分别连接该致动机构并受其驱动，从而使各该夹臂以旋摆方式令各该抵压件夹掣固定在所述基板。
[0008]上述的用于化学沉积设备的夹固装置，其中，该致动机构包括一平板及多个连杆组件，该平板是架设在所述罩体的上方位置，每一该连杆组件包含一固定连杆及枢接在该固定连杆的一活动连杆，该固定连杆的一端固定在该平板，该活动连杆远离该固定连杆的一端枢接在该夹臂。
[0009]上述的用于化学沉积设备的夹固装置，其中，该夹臂包含一 L形杆及自该L形杆端部向外倾斜的一延伸杆，该延伸杆远离该L形杆的一端与该活动连杆枢接，该L形杆远离该延伸杆的一端则供该抵压件固接。
[0010]上述的用于化学沉积设备的夹固装置，其中，该致动机构包括一平板及多个插杆，该平板对应各该插杆位置架设在所述罩体的上方，而该固定座形成有供该插杆插设连接的一插槽，该夹臂包含一 L形杆及自该L形杆端部向内倾斜的一延伸杆，该延伸杆远离该L形杆的一端与该插杆相互抵接，该L形杆远离该延伸杆的一端则供该抵压件固接。
[0011]上述的用于化学沉积设备的夹固装置，其中，该致动机构包括多对驱动组件，每一该驱动组件包含多个支撑座、一扳杆、多个连杆、一摆动轴及多个摆动臂，各该支撑座间隔固定在所述罩体，在每一该支撑座开设有一导槽，该扳杆穿接在各该导槽中并可作往复移动，各该连杆的两端枢接在该扳杆和该摆动轴，各该摆动臂的一端枢接在该摆动轴，另一端则枢接在该夹臂，每一该夹持机构还包含一摇杆，该摇杆的两端分别枢接该固定座和该摆动臂。
[0012]为了更好地实现上述目的，本发明还提供了一种用于化学沉积设备的夹固装置，所述化学沉积设备具有一罩体及一基板，其中，该夹固装置包括:
[0013]一致动机构，配设在所述罩体上；以及
[0014]多个夹持机构,分别连接在所述罩体,每一该夹持机构包含一固定座、一夹臂、一抵压件及一摇杆，该固定座安装在所述罩体，该夹臂的一端连接该致动机构并受其驱动，该抵压件固接在该夹臂的另一端，该摇杆的两端分别枢接该固定座和该夹臂，从而使各该夹臂带动各该抵压件夹掣固定在所述基板。
[0015]上述的用于化学沉积设备的夹固装置，其中，该致动机构包括一运动缸及一弹性体，该运动缸包含一缸体及一移动杆，该缸体固定在所述罩体的顶面，该移动杆容置在该缸体内并可线性移动，该弹性体容置在该缸体内且其两端弹性抵压该缸体和该移动杆之间，该移动杆的一端与该夹臂枢接。
[0016]上述的用于化学沉积设备的夹固装置，其中，该移动杆开设有一长槽，该缸体连接有穿设该长槽的一定向凸柱。
[0017]上述的用于化学沉积设备的夹固装置，其中，该致动机构还包括枢接在该移动杆的一卡臂，该卡臂的一端开设有一卡槽，该卡槽可选择性的对该定向凸柱作卡掣固定。
[0018]上述的用于化学沉积设备的夹固装置，其中，该运动缸还包括一螺旋弹簧，该螺旋弹簧被弹性夹掣在该卡臂和该移动杆之间。
[0019]上述的用于化学沉积设备的夹固装置，其中，该致动机构包括多个扳柄，每一该扳柄的两端分别枢接在该固定座和该夹臂。
[0020]为了更好地实现上述目的，本发明还提供了一种用于化学沉积设备的夹固装置，所述化学沉积设备具有一罩体及一基板，其中，该夹固装置包括:
[0021]一致动机构,配设在所述罩体上,该致动机构包括:
[0022]一内轴，具有至少一卡榫，该内轴的一端具有一端面；
[0023]一弹性件，与该内轴的一端连接，该弹性件的一端顶持于该内轴的该端面，并提供变形回弹的应力；
[0024]一内套筒，具有一腔体、一斜面、一卡槽及一滑沟，该内套筒套置于该内轴外部，且该内套筒的一端顶持着该弹性件；以及
[0025]一外套筒，具有一腔体，该腔体壁面设置至少一内凸点，该腔体供该内轴、该弹性件及该内套筒的组合结构容置，该内轴的该端面顶持于该外套筒的底面，该内凸点卡合于该内套筒的该滑沟，以形成该内套筒与该外套筒的滑动结构，该外套筒顶持接触于该内轴的该卡榫，从而使该内轴做一旋转动作；以及
[0026]多个夹持机构,分别连接在所述罩体,每一该夹持机构包含一固定座、一夹臂、一抵压件及一摇杆，该固定座安装在所述罩体，该夹臂的一端连接该致动机构的该内轴并受其驱动，该抵压件固接在该夹臂的另一端，该摇杆的两端分别枢接该固定座和该夹臂，从而使各该夹臂带动各该抵压件夹掣固定在所述基板。
[0027]上述的用于化学沉积设备的夹固装置，其中，该内套筒的该卡槽具有一死点，以供该内轴的该卡榫卡合，且该内套筒的该斜面具有一卡点，以供该内轴的该卡榫卡合。
[0028]上述的用于化学沉积设备的夹固装置，其中，所述基板和该夹臂各设置有一磁性件，各该磁性件彼此能够相互磁吸，以强化该夹臂固持于所述基板的应力。
[0029]本发明的技术效果在于:通过致动机构与各夹持机构的组配，可将基板迅速地夹掣在罩体内以进行化学沉积，也能自罩体快速卸离而下以提高生产效能。其适用于连续性且大量的快速生产。通过在基板和夹臂或罩体和夹臂设有磁性件，以提高夹持固定能力。利用各夹臂被致动机构的卡臂锁定，在输送的过程中可避免被不慎开启的情况。
[0030]以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。
【专利附图】
【附图说明】
[0031]图1为本发明第一实施例和沉积设备的组合外观图；
[0032]图2为本发明第一实施例和沉积设备的相对运动图；
[0033]图3为本发明第一实施例的抵压件夹固在基板的侧视图；
[0034]图4为本发明第一实施例的夹臂向上旋起的侧视图；
[0035]图5为本发明第二实施例和沉积设备的组合外观图；
[0036]图6为本发明第二实施例和沉积设备的相对运动图；
[0037]图7为本发明第二实施例的抵压件夹固在基板的侧视图；
[0038]图8为本发明第二实施例的夹臂向上旋起的侧视图；
[0039]图9为本发明第三实施例和沉积设备的组合外观图；
[0040]图10为本发明第三实施例和沉积设备的相对运动图；
[0041]图11为本发明第三实施例的抵压件夹固在基板的侧视图；
[0042]图12为本发明第三实施例的夹臂向上旋起的侧视图；
[0043]图13A - 13C本发明第四实施例和沉积设备的组合侧视图及运动图；
[0044]图14A - 14E本发明第五实施例和沉积设备的组合侧视图及运动图；
[0045] 图15A — 15E本发明第六实施例和沉积设备的组合侧视图及运动图。
[0046]其中，附图标记
[0047]本发明
[0048]l、la、lb、lc、ld、le 夹固装置
[0049]10、10a、10b、10c、10d、IOe 致动机构
[0050]11、Ila 平板
[0051]Ilb支撑座
[0052]Illb 导槽
[0053]Ilc 扳柄
[0054]Ild运动缸
[0055]Illd 缸体
[0056]112d 移动杆
[0057]113d螺旋弹簧[0058]114d 长槽
[0059]115d定向凸柱
[0060]He 内轴
[0061]1lle 卡榫
[0062]112e 凸缘
[0063]12 柱体
[0064]12a 插杆
[0065]12b 扳杆
[0066]12d 卡臂
[0067]121d 卡槽
[0068]l22d 倾斜面
[0069]12e弹性件
[0070]13连杆组件
[0071]131固定连杆
[0072]132活动连杆
[0073]13b 连杆
[0074]13d弹性体
[0075]13e 内套筒
[0076]131e 斜面
[0077]132e 卡槽
[0078]133e 滑沟
[0079]134e 死点
[0080]135e 卡点
[0081]14b摆动轴
[0082]14d驱动构件
[0083]He外套筒
[0084]141e 内凸点 141e
[0085]15b摆动臂
[0086]20、20a、20b、20c、20d、20e 夹持机构
[0087]21、21a、21b、21c、21d、21e 固定座
[0088]211a 插槽
[0089]22、22a、22b、22c、22d、22e 夹臂
[0090]221、221a、221d、221e L 形杆
[0091]222、222a、222d、222e 延伸杆
[0092]23、23a、23b、23c、23d、23e 抵压件
[0093]24b、24c、24d、24e 摇杆
[0094]25、25a、25c、25e 磁性件
[0095]9化学沉积设备
[0096]91 罩体[0097]911 开口
[0098]912 容腔
[0099]92 基板
[0100]93化学液体
[0101]94缓冲件
[0102]941磁性件
【具体实施方式】
[0103]下面结合附图对本发明的结构原理和工作原理作具体的描述:
[0104]请参阅图1 一 4，本实施例提供一种用于化学沉积设备的夹固装置，此化学沉积设备9是以连续性且大量生产产品的用途，其主要包括一罩体91、一基板92及一化学液体93，此罩体91大致呈一矩形状，其剖断面为一倒立的U字体，且为平顶的型态，罩体91具有一开口 911及一容腔912，容腔912可供前述化学液体93注入，开口 911则可供前述的基板92封合连接，此基板92可为玻璃材质，利用化学液体93可与基板92产生化学反应，于基板92表面形成一镀膜。
[0105]本实施例的夹固装置I主要包括一致动机构10及多个夹持机构20。本实施例的致动机构10是配设在所述罩体91上，其主要包括一平板11、一柱体12及多个连杆组件13，此平板11架设在罩体91的正上方位置，柱体12连接在平板11的中间位置，每一连杆组件13包含一固定连杆131及透过枢轴枢接在固定连杆131的一端的活动连杆132，各固定连杆131以间隔方式焊接结合在平板11的边缘上。
[0106]各夹持机构20是对应各连杆组件13配设罩体91上，每一夹持机构20包含一固定座21、一夹臂22及一抵压件23，固定座21是安装在罩体91的侧边上，夹臂22由一 L形杆221及自L形杆221端部向外倾斜的一延伸杆222所构成，在L形杆221和延伸杆222的接合位置透过枢轴枢接固定座21，延伸杆222远离L形杆221的一端透过枢轴枢接在活动连杆132，L形杆221远离延伸杆222的一端则供抵压件23固接，各夹臂22是以旋转摆动方式而令各抵压件23夹掣固定在基板92。
[0107]此外，可将缓冲件94设置于基板92及抵压件23之间，而缓冲件94内部设有一磁性件941，另在夹臂22的L形杆221邻近抵压件23的位置、或抵压件23内部也设有与前述磁性件941相互磁性吸附的一磁性件25，在夹臂22以抵压件23固持基板92时，通过各磁性件941、25的磁性吸力以提高夹持固定能力。
[0108]使用时利用器具(图未示出)将柱体12向上拉起，平板11将跟随柱体12而向上移动，并使活动连杆132拉动夹臂22，各夹臂22将以其与固定座21的枢接处为旋转中心，产生顺时针方向的旋转，以令各抵压件23脱离对基板92的夹持，而让基板92和化学液体93从罩体91被快速卸离下来(如图4所示)。反之，将柱体12向下压掣，平板11将跟随柱体12而向下移动，此时各夹臂22受到活动连杆132的驱动，将以夹臂22与固定座21的枢接处为旋转中心，而使各夹臂22产生逆时针方向的旋转，以令各抵压件23对基板92进行迅速夹持(如图3所示)，再将化学液体93注入罩体91内以对基板92施以镀膜处理。若抵压件23受到非预期的外力向罩体外侧旋转移动，则由于此一旋转运动将随上述机构的动作而受到平板11阻挡，故使得罩体91及基板92不会于输送时受到非预期的分离。[0109]请参阅图5 — 8，为本发明第二实施例的夹固装置，此夹固装置Ia与第一实施例的夹固装置I的主要区别在于:其致动机构IOa包括一平板Ila及多数插杆12a，此平板Ila是对应各插杆12a位置架设在罩体91的正上方。
[0110]每一夹持机构20a包含一固定座21a、一夹臂22a及一抵压件23a,固定座21a是固接在罩体91的侧边上且于其中间位置形成有一插槽211a，此插槽211a供前述的插杆12a插设连接，夹臂22a由一 L形杆221a及自L形杆221a端部向内倾斜的一延伸杆222a所构成，在L形杆221a和延伸杆222a的接合位置透过枢轴枢接固定座21a，延伸杆222a远离L形杆221a的一端与插杆12a相互抵接，L形杆221a远离延伸杆222a的一端则供抵压件23a固接。
[0111]此外，可将缓冲件94设置于基板92及抵压件23a之间，而缓冲件94内部设有一磁性件941，另在夹臂22a的L形杆221a邻近抵压件23a的位置、或抵压件23a内部也设有与前述磁性件921相互磁性吸附的一磁性件25a，在夹臂22a以抵压件23a固持基板92时，通过各磁性件941、25a的磁性吸力以提高夹持固定能力。
[0112]使用时对平板I Ia施以向下压掣，各插杆12a将跟随平板I Ia而向下移动，此时各夹臂22a的延伸杆222a受到插杆12a的抵推，将以夹臂22a与固定座21a的枢接处为旋转中心，而使各夹臂22a产生逆时针方向的旋转，以令各抵压件23a脱离对基板92的夹持，让基板92和化学液体93从罩体91被快速卸离下来(如图8所示)。反之，也可迅速夹持。若抵压件23a受到非预期的外力向罩体91外侧旋转移动，则由于此一旋转运动将随上述机构的动作而受到平板Ila阻挡，故使得罩体91及基板92不会于输送时受到非预期的分离。
[0113]请参阅图9 一 12，为本发明第三实施例的夹固装置，此夹固装置Ib与前述各实施例的主要区别在于:其致动机构IOb包括多个对驱动组件，每一驱动组件包含多个支撑座lib、一扳杆12b、多个连杆13b、一摆动轴14b及多个摆动臂15b，其中各支撑座Ilb间隔固定在前述的罩体91顶面，并在每一支撑座Ilb上开设有一导槽111b，扳杆12b穿接在各导槽Illb中并可在导槽Illb内作往复移动，各连杆13b的两端分别透过枢轴枢接在扳杆12b和摆动轴14b，各摆动臂15b的一端透过枢轴枢接在摆动轴14b。
[0114]每一夹持机构20b包含一固定座21b、一夹臂22b、一抵压件23b及一摇杆24b，固定座21b是固接在罩体91的侧边上，各摆动臂15b的另一端透过枢轴枢接在摇杆24b和夹臂22b上。夹臂22b大致呈一 L字形，其一端透过枢轴枢接在固定座21b和摆动臂15b，夹臂22b的另一端则供抵压件23b固接。而摇杆24b两端分别枢轴枢接在固定座21b和摆动臂15b上。
[0115]使用时将扳杆12b朝外侧推出，连杆13b将驱动摆动臂15b摆动，同时带动摇杆24b和夹臂22b运动，此时的各夹臂22b将以其与固定座21b的枢接处为旋转中心，而使各夹臂22b产生逆时针方向的旋转，以令各抵压件23b脱离对基板92的夹持，让基板92和化学液体93从罩体91被快速卸离下来(如图12所示)。反之，将扳杆12b朝内侧推入，连杆13b将驱动摆动臂15b摆动，同时带动摇杆24b和夹臂22b运动，此时的各夹臂22b将以其与固定座21b的枢接处为旋转中心，而使各夹臂22b产生顺时针方向的旋转，以令各抵压件23b对基板92进行迅速夹持(如图11所示)。若抵压件23b受到非预期的外力向罩体外侧旋转移动，则由于此一旋转运动将随上述机构的动作而受到固定座21b及摆动臂15b之间的阻挡，故使得罩体91及基板92不会于输送时受到非预期的分离。[0116]请参阅图13A — 13C，为本发明第四实施例的夹固装置，此夹固装置Ic与前述各实施例的主要区别在于:其致动机构IOc包括多个扳柄11c。每一夹持机构20c包含一固定座21c、一夹臂22c、一抵压件23c及一摇杆24c，固定座21c是固接在罩体91的侧边上，各扳柄Ilc的两端分别透过枢轴枢接在固定座21c和夹臂22c，摇杆24c的两端分别透过枢轴枢接在固定座21c和夹臂22c，夹臂22c的另一端则供抵压件23c固接。
[0117]使用时将扳柄Ilc以顺时针方向旋起，夹臂22c受到摇杆24c的牵制作用而向上旋动，以令各抵压件23c对基板92进行迅速夹持(如图13C所示)。反之，将扳柄Ilc以逆时针方向旋入时，夹臂22c受到摇杆24c的牵制作用而向下旋动，并令各抵压件23c脱离对基板92的夹持(如图13A所示)。此外，可将缓冲件94设置于基板92及抵压件23c之间，而缓冲件94内部设有一磁性件941，另抵压件23c内部也设有与前述磁性件941相互磁性吸附的一磁性 件25c，在夹臂22c以抵压件23c固持基板92时，通过各磁性件941、25c的磁性吸力以提高夹持固定能力。
[0118]请参阅图14A-14E，为本发明第五实施例的夹固装置，此夹固装置Id与前述各实施例的主要区别在于:其致动机构IOd包括一运动缸lid、一^^臂12d及一弹性体13d,运动缸Ild包含一缸体llld、一移动杆112d及一螺旋弹簧113d,缸体Illd固定在罩体91的顶面上，移动杆112d则部分容置在缸体Illd内并可延伸通过缸体Illd及弹性体13d以便线性移动，弹性体13d容置在缸体Illd内且其两端弹性抵压缸体11 Id和移动杆112d ;移动杆112d开设有一长槽114d，缸体Illd连接有穿设长槽114d的一定向凸柱115d。卡臂12d透过枢轴枢接在移动杆112d上，并在卡臂12d的两端开设有一卡槽121d及成型有一倾斜面122d，螺旋弹簧113d被弹性夹掣在卡臂12d紧邻倾斜面122d的一侧和移动杆112d之间。此外，本实施例的致动机构IOd还包括一驱动构件14d,配设在罩体91的上方用以推动移动杆 112d。
[0119]每一夹持机构20d包含一固定座21d、一夹臂22d、一抵压件23d及一摇杆24d，固定座21d是固接在罩体91的侧边上，夹臂22d由一 L形杆221d及自L形杆221d端部向外倾斜的一延伸杆222d所构成，在L形杆221d和延伸杆222d的接合位置透过枢轴枢接摇杆24d的一端,摇杆24d的另一端则透过枢轴枢接在固定座21d,延伸杆222d远离L形杆221d的一端与移动杆112d枢接，L形杆221d远离延伸杆222d的一端则供抵压件23d固接。
[0120]使用时驱动构件14d逐步伸出的过程中，将推动运动缸Ild的移动杆112d朝左侧移动，并令卡臂12d的前端部被定向凸柱115d向上提升，而螺旋弹簧113d则是被卡臂12d所压掣(如图14C所示)，同时移动杆112d将推动夹臂22d以其与摇杆24d和固定座21d的枢接处为旋转中心，而使各夹臂22d产生逆时针方向的旋转，以使各抵压件23d对基板92进行迅速夹持，此时卡臂12d受到螺旋弹簧113d的弹性回复力作用下，将以其卡槽121d卡掣固定在定向凸柱115d(如图14D所示)，由于各夹臂22d已被致动机构IOd的卡臂12d锁定，因此在输送的过程中可避免被不慎开启的情况。反之，在驱动构件14d缩回的过程中，将碰触倾斜面122d而使定向凸柱115d脱离卡臂12d的卡掣，并利用弹性体13d的弹性回复力来使移动杆112d朝右侧移动，此时夹臂22d以其与摇杆24d和固定座21d的枢接处为旋转中心，而使各夹臂22d产生顺时针方向的旋转，以令各抵压件23d脱离对基板92的夹持，让基板92和化学液体93从罩体91被快速卸离下来(如图14A所示)。
[0121]请参阅图15A-15E，为本发明第六实施例的夹固装置，此夹固装置Ie与前述各实施例的主要区别在于:其致动机构IOe包括一内轴lie、一弹性件12e、一内套筒13e及一外套筒14e，内轴Ile上设置有至少一^^榫llle，内轴Ile的端部具有一凸缘112e。弹性件12e与内轴11e具有凸缘112e的一端连接，且弹性件12e —端顶持于内轴11e的凸缘112e，并提供变形回弹的应力，弹性件12e可为一弹簧或弹性橡胶等可提供回弹应力的元件。
[0122]内套筒13e具有一腔体(图中未示)、一斜面131e、一^^槽132e及一滑沟133e，内套筒13e套置于内轴Ile外部，且其一端顶持着弹性件12e，内套筒13e的滑沟133e具有一死点134e，以供内轴Ile的卡榫Ille卡合，且内套筒13e的斜面131e具有一卡点135e，以供内轴lie的卡榫Ille卡合。
[0123]外套筒14e具有一腔体(图中未示)，腔体壁面设置至少一内凸点141e，腔体可容置内轴lie、弹性件12e及内套筒13e的组合结构，且内轴Ile的凸缘112e顶持于外套筒14e的底面，且内凸点141e卡合于内套筒13e的卡槽132e，形成内套筒13e与外套筒14e的滑动结构，外套筒He顶持接触于内轴lie的卡榫Ille时，可使内轴Ile作旋转动作。
[0124]每一夹持机构20e包含一固定座21e、一夹臂22e、一抵压件23e及一摇杆24e，固定座21e是固接在罩体91的侧边上，夹臂22e由一 L形杆221e及自L形杆221e端部向外倾斜的一延伸杆222e所构成，在L形杆221e和延伸杆222e的接合位置透过枢轴枢接摇杆24e的一端,摇杆24e的另一端则透过枢轴枢接在固定座21e,延伸杆222e远离L形杆221e的一端与内轴Ile枢接，L形杆221e远离延伸杆222e的一端则供抵压件23e固接。
[0125]此外，可将缓冲件94设置于基板92及抵压件23e之间，而缓冲件94内部设有一磁性件941，另在夹臂22e的L形杆221e邻近抵压件23e的位置、或抵压件23e内部也设有与前述磁性件941相互磁性吸附的一磁性件25e，在夹臂22e以抵压件23e固持基板92时，通过各磁性件941、25e的磁性吸力以提高夹持固定能力。
[0126]由于夹臂22e的施力端所连动的内轴lie凸出相距于外套筒14e为最短的距离，而弹性件12e未受任何应力为最长的状态(如图15B、15D所示)，内轴lie的各卡榫Ille为卡合于对应内套筒13e的卡槽133e的死点134e。在外套筒14e自后端接受一应力(应力可为一般机械应力)后而向前端移动，而顶持于内轴Ile的凸缘112e的弹性件12e受外套筒He的应力而压缩，同时内轴Ile受应力向前端伸出，而卡榫Ille也自内套筒13e的卡槽133e的死点134e滑出，但由于此时内轴lie伸出长度并非是最长的状态，故可视为是机械臂伸出的暂态。在外套筒He受应力被推压至底，而弹性件12e也被压缩至最短，内轴Ile伸出的长度也达到最长(如图15C、15E所示)，而内轴lie的卡榫Ille完全脱离卡槽133e。在内轴Ile上的卡榫Ille与外套筒14e接触时，可使内轴Ile作一逆时针方向的旋转动作，此时该卡榫Ille便沿着内套筒13e的斜面131e产生滑动。在将外套筒14e后端的应力移除，弹性件12e产生回复的应力将内轴lie的卡榫Ille继续顺着内套筒13e的斜面131e滑动，至斜面131e的卡点135e后形成卡合状态，同时将内轴Ile伸出状态加以固定。此外，若抵压件23e受到非预期的外力向罩体91外侧旋转移动，则由于此一旋转运动将随上述机构的动作而受到致动机构IOe的阻挡，故使得罩体91及基板92不会于输送时受到非预期的分离。
[0127]当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
【权利要求】
1.一种用于化学沉积设备的夹固装置，所述化学沉积设备具有一罩体及一基板，其特征在于，该夹固装置包括: 一致动机构，配设在所述罩体上；以及 多个夹持机构，分别连接在所述罩体，每一该夹持机构包含安装在所述罩体的一固定座、枢接该固定座的一夹臂及固接在该夹臂的一抵压件，各该夹臂的一端分别连接该致动机构并受其驱动，从而使各该夹臂以旋摆方式令各该抵压件夹掣固定在所述基板。
2.如权利要求1所述的用于化学沉积设备的夹固装置，其特征在于，该致动机构包括一平板及多个连杆组件，该平板是架设在所述罩体的上方位置，每一该连杆组件包含一固定连杆及枢接在该固定连杆的一活动连杆，该固定连杆的一端固定在该平板，该活动连杆远离该固定连杆的一端枢接在该夹臂。
3.如权利要求2所述的用于化学沉积设备的夹固装置，其特征在于，该夹臂包含一L形杆及自该L形杆端部向外倾斜的一延伸杆，该延伸杆远离该L形杆的一端与该活动连杆枢接，该L形杆远离该延伸杆的一端则供该抵压件固接。
4.如权利要求1所述的用于化学沉积设备的夹固装置，其特征在于，该致动机构包括一平板及多个插杆，该平板对应各该插杆位置架设在所述罩体的上方，而该固定座形成有供该插杆插设连接的一插槽，该夹臂包含一 L形杆及自该L形杆端部向内倾斜的一延伸杆，该延伸杆远离该L形杆的一端与该插杆相互抵接，该L形杆远离该延伸杆的一端则供该抵压件固接。
5.如权利要求1所述的用于化学沉积设备的夹固装置，其特征在于，该致动机构包括多对驱动组件，每一该驱动组件包含多个支撑座、一扳杆、多个连杆、一摆动轴及多个摆动臂，各该支撑座间隔固定在所述罩体，在每一该支撑座开设有一导槽，该扳杆穿接在各该导槽中并可作往复移动，各该连杆的两端枢接在该扳杆和该摆动轴，各该摆动臂的一端枢接在该摆动轴，另一端则枢接在该夹臂，每一该夹持机构还包含一摇杆，该摇杆的两端分别枢接该固定座和该摆动臂。
6.一种用于化学沉积设备的夹固装置，所述化学沉积设备具有一罩体及一基板，其特征在于，该夹固装置包括: 一致动机构，配设在所述罩体上；以及 多个夹持机构，分别连接在所述罩体，每一该夹持机构包含一固定座、一夹臂、一抵压件及一摇杆，该固定座安装在所述罩体，该夹臂的一端连接该致动机构并受其驱动，该抵压件固接在该夹臂的另一端，该摇杆的两端分别枢接该固定座和该夹臂，从而使各该夹臂带动各该抵压件夹掣固定在所述基板。
7.如权利要求6所述的用于化学沉积设备的夹固装置，其特征在于，该致动机构包括一运动缸及一弹性体，该运动缸包含一缸体及一移动杆，该缸体固定在所述罩体的顶面，该移动杆容置在该缸体内并可线性移动，该弹性体容置在该缸体内且其两端弹性抵压该缸体和该移动杆之间，该移动杆的一端与该夹臂枢接。
8.如权利要求7所述的用于化学沉积设备的夹固装置，其特征在于，该移动杆开设有一长槽，该缸体连接有穿设该长槽的一定向凸柱。
9.如权利要求8所述的用于化学沉积设备的夹固装置，其特征在于，该致动机构还包括枢接在该移动杆的一卡臂，该卡臂的一端开设有一卡槽，该卡槽可选择性的对该定向凸柱作卡掣固定。
10.如权利要求9所述的用于化学沉积设备的夹固装置，其特征在于，该运动缸还包括一螺旋弹簧，该螺旋弹簧被弹性夹掣在该卡臂和该移动杆之间。
11.如权利要求6所述的用于化学沉积设备的夹固装置，其特征在于，该致动机构包括多个扳柄，每一该扳柄的两端分别枢接在该固定座和该夹臂。
12.一种用于化学沉积设备的夹固装置，所述化学沉积设备具有一罩体及一基板，其特征在于，该夹固装置包括: 一致动机构，配设在所述罩体上，该致动机构包括: 一内轴，具有至少—^榫，该内 轴的一端具有一端面； 一弹性件，与该内轴的一端连接，该弹性件的一端顶持于该内轴的该端面，并提供变形回弹的应力； 一内套筒，具有一腔体、一斜面、一卡槽及一滑沟，该内套筒套置于该内轴外部，且该内套筒的一端顶持着该弹性件；以及 一外套筒，具有一腔体，该腔体壁面设置至少一内凸点，该腔体供该内轴、该弹性件及该内套筒的组合结构容置，该内轴的该端面顶持于该外套筒的底面，该内凸点卡合于该内套筒的该滑沟，以形成该内套筒与该外套筒的滑动结构，该外套筒顶持接触于该内轴的该卡榫，从而使该内轴做一旋转动作；以及 多个夹持机构，分别连接在所述罩体，每一该夹持机构包含一固定座、一夹臂、一抵压件及一摇杆，该固定座安装在所述罩体，该夹臂的一端连接该致动机构的该内轴并受其驱动，该抵压件固接在该夹臂的另一端，该摇杆的两端分别枢接该固定座和该夹臂，从而使各该夹臂带动各该抵压件夹掣固定在所述基板。
13.如权利要求12所述的用于化学沉积设备的夹固装置，其特征在于，该内套筒的该卡槽具有一死点，以供该内轴的该卡榫卡合，且该内套筒的该斜面具有一卡点，以供该内轴的该卡榫卡合。
14.如权利要求12所述的用于化学沉积设备的夹固装置，其特征在于，所述基板和该夹臂各设置有一磁性件，各该磁性件彼此能够相互磁吸，以强化该夹臂固持于所述基板的应力。
【文档编号】C23C16/458GK103668102SQ201210372104
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2012年9月28日 优先权日:2012年9月9日
【发明者】陈传宜, 游柏清, 蓝受龙, 陈智伟 申请人:亚智科技股份有限公司