专利名称:数控多晶双端面研磨机对中装置的制作方法
技术领域:
本发明涉及数控多晶双端面研磨机领域,尤其涉及一种研磨机对中装置。
背景技术:
数控多晶双端面研磨机是多晶硅长方体四平面加工的必备设备,而多晶硅锭经工艺处理后又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅锭作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的多晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
数控多晶双端面研磨机对中装置的主要作用为,在数控多晶双端面研磨机作业过程中,对中装置可以使被加工件,又称“多晶硅长方体”放置在进给托板的中间,保证被加工件在工作台上的准确加工位置保持不动,且不会造成被加工件损坏。现有数控多晶双端面研磨机中的对中装置,是采用硬性定位的方式来实现的,操作困难,容易造成被加工件损坏,定位不准确等现象。发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种数控多晶双端面研磨机对中装置,通过提升气缸和横向气爪配合定位,实现了定位的自动化控制,提高加工精度,降低了生产成本。
本发明是这样实现的一种数控多晶双端面研磨机对中装置,包括支架、固定座、 滑座、提升气缸、横向气爪和卡爪组件;所述固定座固定安装在支架的顶部,所述滑座设置在固定座上,滑座与固定座相配合形成移动副;所述提升气缸固定安装在固定座上,提升气缸的汽缸杆与滑座固定相连;所述横向气爪固定安装在滑座的底部,所述卡爪组件安装在横向气爪上。
所述的支架为门形支架,由一对立柱和一横梁构成,所述横梁架设在一对立柱之间,所述固定座固定安装在横梁上。
所述提升气缸的汽缸杆通过单肘接头与滑座固定相连。
所述的固定座上设置有竖直的导轨,所述滑座上设置有卡槽,所述的卡槽与导轨相配合。
所述的卡爪组件包括卡爪杆、螺杆、螺母和压块,所述卡爪杆的顶端固定安装在横向气爪上,卡爪杆的底端开有与螺杆相配合的螺纹孔,所述螺杆穿过卡爪杆底端的螺纹孔,所述螺母安装在螺杆上位于卡爪杆外侧端,所述压块固定在螺杆位于卡爪杆内侧端上。
本发明数控多晶双端面研磨机对中装置通过提升气缸和横向气爪配合定位,应用到数控多晶双端面研磨机作业过程中后,使得被加工件的定位更加准确,减少了作业难度; 实现了定位的自动化控制,提高加工精度,降低了生产成本。
图I为本发明数控多晶双端面研磨机对中装置立体结构示意图;图2为本发明结构主视示意图;图3为本发明结构左视示意图。
图中:I支架、2固定座、3滑座、4提升气缸、5横向气爪、6卡爪组件、7导轨、8汽缸杆、9单肘接头、10卡槽、11立柱、12横梁、61卡爪杆、62螺杆、63螺母、64压块。
具体实施方式
下面结合具体实施例,进一步阐述本发明。应理解,这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解,在阅读了本发明表述的内容之后,本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
实施例I如图1、2、3所示,一种数控多晶双端面研磨机对中装置,包括支架I、固定座2、滑座3、 提升气缸4、横向气爪5和卡爪组件6 ;所述固定座2固定安装在支架I的顶部,所述滑座3 设置在固定座2上,滑座3与固定座2相配合形成移动副;所述提升气缸4固定安装在固定座2上,提升气缸4的汽缸杆8与滑座3固定相连;所述横向气爪5固定安装在滑座3的底部,所述卡爪组件6安装在横向气爪5上。
在本实施例中,所述的支架I为门形支架,由一对立柱11和一横梁12构成,所述横梁12架设在一对立柱11之间,所述固定座2固定安装在横梁12上。
在本实施例中,所述提升气缸4的汽缸杆8通过单肘接头9与滑座3固定相连。
本发明中滑座3与固定座2之间的连接可以详细的描述为,所述的固定座2上设置有竖直的导轨7,所述滑座3上设置有卡槽10,所述的卡槽10与导轨7相配合。
本发明可以进一步描述为,所述的卡爪组件6包括卡爪杆61、螺杆62、螺母63和压块64,所述卡爪杆61的顶端固定安装在横向气爪5上,卡爪杆61的底端开有与螺杆62 相配合的螺纹孔,所述螺杆62穿过卡爪杆61底端的螺纹孔,所述螺母63安装在螺杆62上位于卡爪杆61外侧端,所述压块64固定在螺杆62位于卡爪杆61内侧端上。
作业过程中,提升气缸4带动汽缸杆8上下往复运动,滑座3沿着导轨7方向上下移动,带动横向气爪5和卡爪组件6 —起运动,保证被加工件上下方向的调节;横向气爪5 受外力开始运动时,卡爪组件6左右移动,通过调节螺杆62、螺母63可保证被加工件左右方向的调节。
权利要求
1.一种数控多晶双端面研磨机对中装置,其特征是包括支架(I)、固定座(2)、滑座(3)、提升气缸(4)、横向气爪(5)和卡爪组件(6);所述固定座(2)固定安装在支架(I)的顶部,所述滑座(3)设置在固定座(2)上,滑座(3)与固定座(2)相配合形成移动副;所述提升气缸(4)固定安装在固定座(2)上,提升气缸(4)的汽缸杆(8)与滑座(3)固定相连; 所述横向气爪(5)固定安装在滑座(3)的底部,所述卡爪组件(6)安装在横向气爪(5)上。
2.如权利要求I所述的数控多晶双端面研磨机对中装置,其特征是所述的支架(I) 为门形支架,由一对立柱(11)和一横梁(12)构成,所述横梁(12)架设在一对立柱(11)之间,所述固定座(2)固定安装在横梁(12)上。
3.如权利要求I或2所述的数控多晶双端面研磨机对中装置,其特征是所述提升气缸(4)的汽缸杆(8)通过单肘接头(9)与滑座(3)固定相连。
4.如权利要求I或2所述的数控多晶双端面研磨机对中装置,其特征是所述的固定座(2)上设置有竖直的导轨(7),所述滑座(3)上设置有卡槽(10),所述的卡槽(10)与导轨(7)相配合。
5.如权利要求I或2所述的数控多晶双端面研磨机对中装置,其特征是所述的卡爪组件(6)包括卡爪杆(61)、螺杆(62)、螺母(63)和压块(64),所述卡爪杆(61)的顶端固定安装在横向气爪(5)上,卡爪杆(61)的底端开有与螺杆(62)相配合的螺纹孔,所述螺杆 (62)穿过卡爪杆(61)底端的螺纹孔,所述螺母(63)安装在螺杆(62)上位于卡爪杆(61) 外侧端,所述压块(64)固定在螺杆(62)位于卡爪杆(61)内侧端上。
全文摘要
本发明涉及数控多晶双端面研磨机领域,尤其涉及一种研磨机对中装置。一种数控多晶双端面研磨机对中装置,包括支架、固定座、滑座、提升气缸、横向气爪和卡爪组件;所述固定座固定安装在支架的顶部,所述滑座设置在固定座上,滑座与固定座相配合形成移动副;所述提升气缸固定安装在固定座上,提升气缸的汽缸杆与滑座固定相连;所述横向气爪固定安装在滑座的底部,所述卡爪组件安装在横向气爪上。本发明数控多晶双端面研磨机对中装置通过提升气缸和横向气爪配合定位,应用到数控多晶双端面研磨机作业过程中后,使得被加工件的定位更加准确,减少了作业难度;实现了定位的自动化控制,提高加工精度,降低了生产成本。
文档编号B24B37/27GK102935615SQ20121039328
公开日2013年2月20日 申请日期2012年10月17日 优先权日2012年10月17日
发明者王卫良, 周凯平 申请人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司