专利名称：Pecvd载板导轨的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光伏行业的电池片镀膜设备，具体地说是一种用于板式PECVD (等离子增强化学气相沉积)的载板导轨。
背景技术：
C/C复合载板是板式PECVD中承载电池片的重要工艺装备。如图I所示，载板I在设备上的循环运动是通过固定在载板底下的石墨垫片2与C/C复合导轨3来实现的，C/C复合载板I、石墨垫片2、C/C复合导轨3三者是通过螺丝螺母完成紧固的。运动时，C/C复合导轨3置于设备的滚轮上，滚轮转动时通过摩擦将动力提供给C/C复合导轨3并使C/C复合载板I完成在设备上的循环运动。此导轨3由于中间安装一个石墨垫片2，石墨垫片2与 C/C复合导轨3的安装会累积安装误差，使得导轨3安装精度降低；另外，设备上的滚轮为不锈钢材料，在运动过程中容易对C/C复合导轨3产生磨损，大幅降低了导轨3的使用寿命和维护周期。
发明内容本实用新型针对上述问题，提供一种PECVD载板导轨，该导轨安装精度高，并且使用寿命长。按照本实用新型的技术方案一种PECVD载板导轨，包括长方体形状的导轨本体，所述导轨本体的材料为不锈钢，直接固定在载板上，所述导轨本体沿长度方向的上下两个平面上开有贯穿的多个螺丝孔，所述导轨本体沿长度方向的左右两个侧面上开有多个凹槽。每个所述凹槽分别位于相邻的两个所述螺丝孔之间。所述多个螺丝孔均布在所述导轨本体上。所述凹槽的长度小于所述螺丝孔的间距。所述导轨本体两侧的所述凹槽沿多个所述螺丝孔轴线所在的面对称分布。本实用新型的技术效果在于本实用新型直接固定在载板上，为一体式导轨，提高了导轨本身的精度与导轨的安装精度；导轨材料采用不锈钢，大幅提高了寿命和导轨的维护成本；导轨两侧面加工的凹槽可降低导轨的重量。
图I为现有技术中的导轨的结构示意图。图2为本实用新型的立体结构示意图。图3为图2中的A-A剖视图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。[0014]图广图3中，包括C/C复合载板I、石墨垫片2、C/C复合导轨3、导轨本体4、螺丝孔5、凹槽6等。如图2所示，本实用新型是一种PECVD载板导轨，包括长方体形状的导轨本体4，导轨本体4的材料为不锈钢，直接固定在C/C复合载板I上，导轨本体4的高度H为传统载板的C/C复合导轨3与石墨垫片2的高度之和。导轨本体4沿长度方向的上下两个平面上开有贯穿的多个螺丝孔5，多个螺丝孔5均布在导轨本体4上。由于不锈钢导轨的重量比C/C复合材料导轨的重量重，因此在导轨本体4沿长度方向的左右两个侧面上开有多个 凹槽6。每个凹槽6分别位于相邻的两个螺丝孔5之间，凹槽6的长度L2小于螺丝孔5的间距LI。如图3所示，导轨本体4两侧的凹槽6沿多个螺丝孔5轴线所在的面对称分布。本实用新型将现有技术中的C/C复合导轨与石墨垫片组合的方式，变为一体式导轨，因此加工制造无累积误差，安装过程中减低了误差积累，提高了导轨本身的精度与导轨的安装精度；本实用新型采用优质合金不锈钢替代原C/C复合材料，大幅提高了寿命和导轨的维护成本；本实用新型在导轨两侧面加工的凹槽可降低导轨的重量。
权利要求1.一种PECVD载板导轨，包括长方体形状的导轨本体(4)，其特征是所述导轨本体(4)的材料为不锈钢，直接固定在载板(I)上，所述导轨本体(4)沿长度方向的上下两个平面上开有贯穿的多个螺丝孔(5)，所述导轨本体(4)沿长度方向的左右两个侧面上开有多个凹槽(6)。
2.按照权利要求I所述的PECVD载板导轨，其特征是每个所述凹槽(6)分别位于相邻的两个所述螺丝孔(5)之间。
3.按照权利要求2所述的PECVD载板导轨，其特征是所述多个螺丝孔(5)均布在所述导轨本体(4)上。
4.按照权利要求3所述的PECVD载板导轨，其特征是所述凹槽(6)的长度(L2)小于所述螺丝孔(5)的间距(LI)。
5.按照权利要求I所述的PECVD载板导轨，其特征是所述导轨本体(4)两侧的所述凹槽(6)沿多个所述螺丝孔(5)轴线所在的面对称分布。
专利摘要本实用新型涉及一种用于光伏行业的PECVD载板导轨，包括长方体形状的导轨本体，所述导轨本体的材料为不锈钢，直接固定在载板上，所述导轨本体沿长度方向的上下两个平面上开有贯穿的多个螺丝孔，所述导轨本体沿长度方向的左右两个侧面上开有多个凹槽。本实用新型直接固定在载板上，为一体式导轨，提高了导轨本身的精度与导轨的安装精度；导轨材料采用不锈钢，大幅提高了寿命和导轨的维护成本；导轨两侧面加工的凹槽可降低导轨的重量。
文档编号C23C16/44GK202688434SQ20122030830
公开日2013年1月23日 申请日期2012年6月28日 优先权日2012年6月28日
发明者尤耀明, 代宁 申请人:无锡绿波新能源设备有限公司