专利名称：一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置的制作方法
技术领域：
本实用新型关于属于溅射设备靶极冷却装置，具体涉及一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置。
背景技术：
本实用新型系为一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，薄膜设备靶极冷却水循环系统是极为重要的一部分，负责将溅射等离子体靶材产生的高温藉由冷却铜背板内的循环冷却水系统将热源带到冷却系统后冷却，使靶材能在等离子体轰击下保持一定的温度，否则靶材会因高温融化或破裂而无法在进行等离子体轰击，导致无法沉积薄膜，如此一来就需要更换新的靶材或拆卸下进行修复，不仅耗费成本也增加设备停机维修的时间。现有技术使用介质设置于铜背板与靶极中间，使用间接冷却的方式，藉由靶极内部通入冷却水循环方式产生冷源，而中间的介质最为温度的传递以冷却铜背板上接合的靶材，然而现有技术的冷却方式对于高功率的溅射模式下会有冷却能力不足的现象，造成靶材落裂或是焊接脱落。
实用新型内容本实用新型主要目的系提供一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，本实用新型采用的方案是；靶材置于铜背板下方并进行焊接，使靶材背面紧密贴和在铜背板上，确保冷却能顺利进行，不会因空隙产生多馀的热阻，影响冷却效果，铜背板正面设置水路系统，包括一进水口极一出水口，铜背板内部设置5个水道且水道头尾相通，使冷却水能顺利流通，各水道头尾设置有长方形凹槽，能使水流加速，水道隔间条上设置有橡胶密封圈，使水道能照设置的流向前进，不会产生水压及流速的损失，当冷却水由进水口流入后，就顺着水道前进，一直到出水口流出，其中接触铜背板的时间及长度增加了冷却能力，使靶极能充分冷却，达到正常的工作温度，同时也冷却了靶材，使溅射设备保持持续的工作状态，减少维修的时间。
图I系为本实用新型之结构示意图。图2系为本实用新型剖面示意图。主要组件符号说明。11...铜背板主体。12...进水口。13...水道。14...长方形凹槽。15...出水口。21...水道隔板。
具体实施方式
为使方简捷了解本实用新型之其他特征内容与优点及其所达成之功效能够为显现，兹将本实用新型配合附图详细明如下请阅图I本实用新型之主要目的系提供一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，是由铜背板主体11、进水口 12、水道13、长方形凹槽14及出水口 15所组成，请参阅图2所示，铜背板主体11设置有4个水道隔板21，当冷却水由进水口 12流入后，沿着被水道隔板21间隔出的水道13前进，途中经过各水道头尾相连的长方形凹槽14加速以保持冷却水的流速，最后再由冷却水由出水口 15流出至外部冷却水循环系统。所述的铜背板主体11厚度为25mm。所述的水道13宽度为59mm。所述的长方形凹槽14长为63mm,宽为43mm与现有技术相比，如此反复循环以确保靶极在工作中仍能维持一定温度，溅镀设备不会因高温发生故障，减少设备停机造成的损失。综上所述，本实用新型在突破先前之技术结构下，确实已达到所欲增进之功效，且也非熟悉该项技艺者所于思及，其所具之进步性、实用性，显已符合实用新型专之申请要件，惟上详细明系针对本实用新型之一可实施之具体明，该实施并非用以限制本实用新型之专范围，而凡未脱本实用新型技艺所为之等效实施或变，均应包含于本案之专范围中。
权利要求1.一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，包括铜背板主体11、进水口 12、水道13、长方形凹槽14及出水口 15所组成。
2.根据权利要求I所述之一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，其特征在于，所述铜背板主体厚度为25mm。
3.根据权利要求I所叙述之一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，其特征在于，所述各水道宽度为59mm。
4.根据权利要求I所叙述之一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，其特征在于，所述长方形凹槽长为63mm，宽为43mm。
专利摘要本实用新型主要目的系提供一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，本实用新型采用的方案是；靶材置于铜背板下方并进行焊接，使靶材背面紧密贴和在铜背板上，确保冷却能顺利进行，不会因空隙产生多馀的热阻，影响冷却效果，铜背板正面设置水路系统，包括一进水口极一出水口，铜背板内部设置5个水道且水道头尾相通，使冷却水能顺利流通，各水道头尾设置有长方形凹槽，能使水流加速，水道隔间条上设置有橡胶密封圈，使水道能照设置的流向前进，不会产生水压及流速的损失，当冷却水由进水口流入后，就顺着水道前进，一直到出水口流出，其中接触铜背板的时间及长度增加了冷却能力，使靶极能充分冷却，达到正常的工作温度，同时也冷却了靶材，使溅射设备保持持续的工作状态，减少维修的时间。
文档编号C23C14/34GK202730222SQ20122034257
公开日2013年2月13日 申请日期2012年7月16日 优先权日2012年7月16日
发明者周文彬, 刘幼海, 刘吉人 申请人:吉富新能源科技(上海)有限公司