专利名称：有机金属微气泡输出装置的制作方法
技术领域：
本实用新型关于一种有机金属微气泡输出装置，特别是指一种能够于气体输入时，能够有机金属溶液转换为微小且均匀的微气泡，并能够抽出使用的有机金属微气泡输出装置。
背景技术：
一般，于基板上成长半导体薄膜，其中一种方法是有机金属化学气相沉积法(MOCVD )，MOCVD成长薄膜时，主要将载流气体通过有机金属反应源的容器时，将反应源的饱和蒸气带至反应腔中与其它反应气体混合，然后在被加热的基板上面发生化学反应促成薄膜的成长。一般而言，载流气体通常是氢气，但是也有些特殊情况下采用氮气。而MOCVD系统的组件可大致分为反应腔、气体控制及混合系统、反应源及废气处理系统，其中该反应源可以分成两种，第一种是有机金属反应源，第二种是氢化物(Hydride)气体反应源。有机金属反应源储藏在一个具有两个联外管路的密封不锈钢罐(cylinder bubbler)内，在使用此金属反应源时,贝U是将这两个联外管路各与MOCVD机台的管路以VCR接头紧密接合，载流气体可以从其中一端流入，并从另外一端流出时将反应源的饱和蒸气带出，进而能够流至反应腔。氢化物气体则是储存在气密钢瓶内，经由压力调节器(Regulator)及流量控制器来控制流入反应腔体的气体流量。由图1中可知，该密封不锈钢罐I中具有金属反应源11，因此将载流气体由一端的气体管路2输入时，将会使金属反应源11中产生气泡12，并由另一端的蒸气管路3将饱和蒸气抽出，而该密封不锈钢罐I内部的处理将非常重要，当气体转换为蒸气时，若是内部没有进行过滤处理，其产生的泡泡非常不均匀，而输出至反应腔时，将会导致所镀制的薄膜不均匀的现象发生。
因此，若能够使用一种有机金属微气泡输出装置，能够于载流气体进入有机金属溶液(有机金属反应源)时，进行过滤处理，以将有机金属溶液与载流气体混合形成的气泡转换为微小且均匀的微气泡，如此应为一最佳解决方案。
发明内容本实用新型的目的在于，提供一种有机金属微气泡输出装置，其结构简单，操作方便，能于有机金属载具中，当气体进入有机金属溶液时，能够进行过滤处理，以将有机金属溶液与载流气体混合形成的气泡转换为微小且均匀的微气泡，由此实现泡泡的均匀，避免制造的缺陷，提闻广品的优良率。为实现上述目的，本实用新型公开了一种有机金属微气泡输出装置，其特征在于包含有一有机金属载具，其具有一容置有机金属溶液的溶液槽，且该有机金属载具于顶部设有贯穿至该溶液槽的气体输入口、溶液输入口及蒸气排出口 ；一能将气泡过滤为微小且均匀的微气泡的过滤器，其设置于该溶液槽底部；以及[0010]一气体输送管体，该气体输送管体一端具有一阀口及一气体输入端，而该气体输送管体的另一端穿过该有机金属载具的气体输入口，并与该过滤器相接触从而由该气体输入端所注入的气体通过该气体输送管体进入该溶液槽中并产生气泡且气泡则透过该过滤器过滤为微小且均匀的微气泡。其中，更包含有一有机金属溶液输送管体，该有机金属溶液输送管体一端具有一溶液输入端，而另一端插入该溶液输入口以使由该溶液输入端注入的有机金属溶液流入该溶液槽中。其中，更包含有一蒸气抽出管体，该蒸气抽出管体一端具有一阀口及一蒸气输出端，而该蒸气抽出管体的另一端插入该蒸气排出口从而该蒸气抽出管体抽出该溶液槽中包含微小且均匀的微气泡的蒸气后再由该蒸气输出端输出。其中，该气体输送管体另一端与该过滤器表面相接触。其中，该气体输送管体另一端穿入该过滤器中。其中于，该气体输送管体另一端穿出该过滤器。通过上述结构，本实用新型的有机金属微气泡输出装置，能够于气体进入有机金属溶液时，进行过滤处理，以将有机金属溶液与载流气体混合形成的气泡转换为微小且均匀的微气泡，因此当具有微小且均匀的微气泡的蒸气输出至反应腔时，将能够使镀制的薄膜均匀分布。
图1 :为习用有机金属微气泡输出装置的结构示意图2 :为本实用新型有机金属微气泡输出装置的结构示意图；图3 :为本实用新型有机金属微气泡输出装置的气泡产生实施例图；图4:为本实用新型有机金属微气泡输出装置的气体输送管体另一结构示意图；以及图5 :为本实用新型有机金属微气泡输出装置的气体输送管体另一结构示意图。
具体实施方式
有关于本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。请参阅图2及图3，为本实用新型有机金属微气泡输出装置的结构示意图及气泡产生实施例图，由图中可知，该有机金属微气泡输出装置4包含有一有机金属载具41、一过滤器42、一气体输送管体43、一蒸气抽出管体44及一有机金属溶液输送管体45，其中该有机金属载具41具有一容置有机金属溶液的溶液槽411，而该有机金属载具41于顶部设有贯穿至该溶液槽的气体输入口 412、溶液输入口 413及蒸气排出口 414，其中该过滤器42设置于该溶液槽411底部，用以将气泡4112过滤为微小且均匀的微气泡4113 ；而该有机金属载具41的气体输入口 412连接有一气体输送管体43，该气体输送管体43 —端具有一阀口 431及一气体输入端432,而该气体输送管体43另一端穿过该气体输入口 412，并由端部433与该过滤器42相接触，而由该气体输入端432所注入的气体，能够通过该气体输送管体43，进入该溶液槽411中，并于该溶液槽411的有机金属溶液4111中产生气泡4112，由于气泡4112系于过滤器42底部或中间出现，因此能够藉由该过滤器42将气泡4112过滤为微小且均匀的微气泡4113 ；而当要停止气体输入时，则能够转动关上该气体输送管体43的阀口 431，以禁止该气体输入端432所注入的气体进入该溶液槽411中，而再度转开该阀口 431时，则能够使该气体输入端432所注入的气体能够继续输入该溶液槽411中。经过气体输入后，溶液槽411中将会产生蒸气，且蒸气中将会包含了被过滤的微小且均匀的微气泡4113，该有机金属载具41的蒸气排出口 414连接有一蒸气抽出管体44，该蒸气抽出管体44 一端具有一阀口 441及一蒸气输出端442，而该蒸气抽出管体44另一端插入该蒸气排出孔414，并由该蒸气抽出管体44抽出该溶液槽411中包含微小且均匀的微气泡4113的蒸气后，再由该蒸气输出端442输出；而当要停止抽取蒸气时，则能够转动关上该蒸气抽出管体44的阀口 441，以禁止该蒸气抽出管体44继续抽取蒸气，反之，当再度转开该阀口 441时，则能够使继续抽取蒸气。另外，该有机金属载具41的溶液输入口 413系连接有该有机金属溶液输送管体45，该有机金属溶液输送管体45 —端具有一溶液输入端451，而另一端插入该溶液输入口413，因此当要补充该有机金属载具41中的有机金属溶液4111时，则能够由该溶液输入端451注入的有机金属溶液4111，并透过该有机金属溶液输送管体45将有机金属溶液4111流入该溶液槽411中。另外，如图2所示，该气体输送管体43另一端与该过滤器42表面相接触，除此之夕卜，亦能够如图4所示,将该气体输送管体43另一端穿入该过滤器42中，并使该气体输送管体43另一端位于该过滤器42中，如图5所示，亦或能够将气体输送管体43另一端穿出该过滤器42，亦可达到过滤气泡的效果。本实用新型所提供的`有机金属微气泡输出装置，与其他习用技术相互比较时，更具备下列优点本实用新型使用一种有机金属微气泡输出装置，能够于气体进入有机金属溶液时，进行过滤处理，以将有机金属溶液与载流气体混合形成的气泡转换为微小且均匀的微气泡，因此当具有微小且均匀的微气泡的蒸气输出至反应腔时，将能够使镀制的薄膜均匀分布。藉由以上较佳具体实施例的详述，系希望能更加清楚描述本实用新型的特征与精神，而并非以上述所揭露的较佳具体实施例来对本实用新型的范畴加以限制。相反地，其目的是希望能涵盖各种改变及具相等性的安排于本实用新型所欲申请的专利范围的范畴内。
权利要求1.一种有机金属微气泡输出装置，其特征在于，包含有 一有机金属载具，其具有一容置有机金属溶液的溶液槽，且该有机金属载具于顶部设有贯穿至该溶液槽的气体输入口、溶液输入口及蒸气排出口 ； 一能将气泡过滤为微小且均匀的微气泡的过滤器，其设置于该溶液槽底部；以及 一气体输送管体,该气体输送管体一端具有一阀口及一气体输入端,而该气体输送管体的另一端穿过该有机金属载具的气体输入口，并与该过滤器相接触从而由该气体输入端所注入的气体通过该气体输送管体进入该溶液槽中并产生气泡且气泡则透过该过滤器过滤为微小且均匀的微气泡。
2.如权利要求1所述的有机金属微气泡输出装置，其特征在于，更包含有一有机金属溶液输送管体,该有机金属溶液输送管体一端具有一溶液输入端,而另一端插入该溶液输入口以使由该溶液输入端注入的有机金属溶液流入该溶液槽中。
3.如权利要求1所述的有机金属微气泡输出装置，其特征在于，更包含有一蒸气抽出管体，该蒸气抽出管体一端具有一阀口及一蒸气输出端，而该蒸气抽出管体的另一端插入该蒸气排出口从而该蒸气抽出管体抽出该溶液槽中包含微小且均匀的微气泡的蒸气后再由该蒸气输出端输出。
4.如权利要求1所述的有机金属微气泡输出装置，其特征在于，该气体输送管体另一端与该过滤器表面相接触。
5.如权利要求1所述的有机金属微气泡输出装置，其特征在于，该气体输送管体另一端穿入该过滤器中。
6.如权利要求1所述的有机金属微气泡输出装置，其特征在于，该气体输送管体另一端穿出该过滤器。
专利摘要一种有机金属微气泡输出装置，至少包含一具有气体输入口、溶液输入口及蒸气排出口的有机金属载具、一过滤器及一穿过该气体输入口并与该过滤器相接触的气体输送管体，其中该有机金属载具具有一容置有机金属溶液的溶液槽，该有机金属载具于顶部设有贯穿至该溶液槽的气体输入口、溶液输入口及蒸气排出口，而该过滤器设置于该溶液槽底部，因此当由该气体输送管体注入气体时，气体能够进入该溶液槽中，并产生气泡，而气泡则透过该过滤器过滤为微小且均匀的微气泡，最后再由该蒸气排出口将微小且均匀的微气泡抽出。
文档编号C23C16/448GK202898533SQ201220622078
公开日2013年4月24日 申请日期2012年11月21日 优先权日2012年11月21日
发明者王瑞恭 申请人:王瑞恭