用于在衬底上沉积抗蚀剂薄层的设备和工艺的制作方法与工艺

技术特征：
1.一种用于在衬底上沉积在室温下为固体的聚合物的层的设备，所述层具有指定厚度，所述设备包括：a.固体聚合物供应器；b.第一加热器，其联接到所述聚合物供应器，并且被构造成使固体聚合物熔融以变为液体；c.气溶胶颗粒的气溶胶供应器，所述颗粒能够由所述液体聚合物形成，大部分所述颗粒在尺寸上小于所述指定厚度的五倍；d.电离气体分子的供应器，其在下文中称为电离器；e.所述气溶胶供应器和所述电离器被布置成使得所述电离的气体分子和所述气溶胶颗粒能够靠近，使得所述颗粒的至少一部分能够变得带电；f.衬底支撑件，衬底可被支撑在其上；g.电场发生器，在此处能够生成电场，所述电场能够将带电颗粒导向至在所述衬底支撑件上的衬底；以及h.第二加热器，由所述衬底支撑件支撑的衬底能够在此处被加热至使与所述衬底接触的颗粒软化的程度、使所述颗粒熔融并形成具有所述指定厚度的聚合物层的程度。2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，还包括至少一个另外的电离器，其与所述第一电离器沿第一维度间隔开，使得所有所述电离器构成多个电离器。3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，还包括涂布室，所述涂布室联接到所述气溶胶供应器和所述电离器，使得所述电离的气体分子和所述气溶胶颗粒能够维持靠近，使得基本上所有所述颗粒能够变得带电。4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述衬底支撑件包括能够沿第一维度移动的可移动支撑件，所述电场在量值上足够大以将带电颗粒导向至衬底，并且相对于所述可移动支撑件的运动沿所述第一维度定位在所述电离器中的至少两个的下游。5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述指定层厚度在0.1微米和10微米之间。6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述软化颗粒的层具有带有厚度偏差的层，所述厚度偏差小于算术平均值+/-20%，并且所述厚度偏差等于(最大值-最小值)/2。7.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，至少一个电离器包括电晕点充电器。8.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，至少一个电离器包括扩展的电晕充电器。9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述扩展的电晕充电器包括丝线。10.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述扩展的电晕充电器包括沿第二维度间隔开的多个电晕点，所述第二维度大致垂直于所述第一维度。11.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述多个电离器包括沿所述第一维度间隔开的离散的装置。12.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述可移动支撑件包括纸张。13.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述可移动支撑件布置成沿所述第一维度输送衬底，使得整个衬底邻近每个电离器传送。14.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述电离器被布置成使得在相应的电离器和所述衬底之间的电场从一个电离器到另一电离器变化。15.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，每个电离器具有与其相关联的电离区，进一步地，其中所述气溶胶供应器相对于相应的电离器布置成使得颗粒能够靠近所述电离区之外的电离气体分子。16.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述气溶胶供应器被构造成供应气溶胶气体，所述电离器被构造成供应不同于所述气溶胶气体的电离器气体。17.根据权利要求16所述的设备，其特征在于，所述电离器气体包括惰性气体。18.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，还包括第二固体聚合物供应器、联接到所述第二聚合物供应器的加热器、以及第二聚合物的气溶胶颗粒的气溶胶供应器，它们全部布置成使得所述第二聚合物颗粒的气溶胶也能够被充电并导向至所述衬底、软化并熔融以形成具有所述指定厚度的聚合物层。19.根据权利要求18所述的设备，其特征在于，所述第二气溶胶供应器布置成在所述第一气溶胶的所述颗粒被导向至所述衬底之后将所述第二气溶胶的颗粒在一定时间和一定位置导向至所述衬底，使得所述第二聚合物的层覆盖所述第一聚合物的层。20.根据权利要求3所述的设备，其特征在于：a.所述电离器包括电晕电极；b.所述涂布室包括：i.盖，其包括：A.室面和观察面，所述电晕电极从所述观察面安装；B.所述电晕电极延伸进入的电离器气体腔，其联接到电离器气体孔口，所述电离器气体孔口从所述电离器气体腔行进到所述室面；ii.其中能够提供气溶胶颗粒的腔，所述电晕电极不延伸到所述腔中；c.所述设备还包括：i.与所述电离器气体腔联接的管道，电离器气体可通过所述管道以足够防止任何颗粒通过所述电离器气体孔口进入所述电离器气体腔的速度供应；以及ii.到所述电极的电偶，电压源能够联接到其，以便在所述电极处建立电压以在所述电离器气体腔内部形成离子，并且与所述电离器气体协作以将所述离子通过所述电离器气体孔口排出。21.一种用于在衬底上沉积颗粒的设备，所述设备包括：a.气溶胶颗粒的气溶胶供应器；b.沿第一维度排列的多个电离气体分子的供应器，其在下文中称为多个电离器；c.涂布室，其联接到所述气溶胶供应器和所述电离器，使得所述电离的气体分子和所述气溶胶颗粒能够维持靠近，使得基本上所有所述颗粒能够变得带电；d.可移动衬底支撑件，衬底能够置于其上并且沿所述第一维度移动；以及e.电场发生器，在此处能够生成电场，所述电场能够将带电颗粒导向至在所述衬底支撑件上的衬底，所述电场在量值上足够大以将带电颗粒导向至衬底，并且所述电场相对于所述可移动支撑件的运动沿所述第一维度定位在所述电离器中的至少两个的下游。22.根据权利要求21所述的设备，其特征在于，还包括：a.固体聚合物供应器，其被构造成将作为固体的聚合物材料保持在室温下；以及b.第一加热器，其联接到所述聚合物供应器，并且被构造成使固体聚合物熔融以变为液体。23.根据权利要求22所述的设备，其特征在于，所述颗粒在所述衬底上形成为具有小于或等于指定厚度的厚度的聚合物层；所述设备还包括：a.气溶胶颗粒的供应器，所述颗粒能够由所述液体聚合物形成，大部分所述颗粒在尺寸上小于所述指定厚度的五倍；b.第二加热器，由所述衬底支撑件支撑的衬底能够在此处被加热至使与所述衬底接触的任何颗粒软化的程度、使所述颗粒熔融并形成具有所述指定厚度的聚合物层的程度。24.根据权利要求21所述的设备，其特征在于，所述涂布室容纳所述可移动衬底支撑件的至少一部分、所述电离器和联接到所述气溶胶供应器的端口，使得气溶胶颗粒能够提供在所述涂布室内。25.一种用于在衬底上沉积在室温下为固体的聚合物的层的方法，所述层具有指定厚度，所述方法包括：a.提供一定量的固体聚合物；b.加热所述固体聚合物，使得其变成液体；c.由所述液体聚合物形成聚合物颗粒的气溶胶，大部分所述颗粒在尺寸上小于所述指定厚度的五倍；d.使气体分子电离，以生成电离的气体分子；e.使所述电离的气体分子足够靠近所述气溶胶的颗粒，从而使所述颗粒中的至少一些变得带电；f.在支撑件上提供衬底；g.生成电场并且将所述电场布置和构造成将带电颗粒导向至在所述衬底支撑件上的所述衬底；以及h.将所述衬底加热至使与所述衬底接触的颗粒软化的程度、使所述颗粒熔融并形成具有所述指定厚度的聚合物层的程度。26.一种用于在衬底上沉积颗粒的方法，所述方法包括：a.在气溶胶气体中供应气溶胶颗粒；b.使用沿第一维度排列的多个静电电离器将电离器气体的气体分子电离以生成电离的气体分子；c.在涂布室中，将电离的分子导向至靠近所述气溶胶的颗粒，使得所述颗粒中的至少一些变得带电；d.在可移动支撑件上提供衬底并且沿所述第一维度移动所述衬底；以及e.生成将带电颗粒导向至所述衬底的电场，所述电场在量值上足够大以将带电颗粒导向至所述衬底，并且相对于所述可移动支撑件的运动沿所述第一维度定位在所述电离器中的至少两个的下游，由此在所述衬底上沉积颗粒。