专利名称：金属箔连续镀膜设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种金属箔镀膜设备，具体涉及一种以卷装金属箔为镀膜加工对象的金属箔连续镀膜设备，属于金属表面镀膜处理装备技术。
背景技术：
本发明所述金属箔是指铜箔或铝箔或其它具有特好导热性能的贵金属箔。金属箔表面镀膜(包括单面镀膜和双面镀膜)的目的在于多个方面，而本发明的金属箔表面镀膜的目的，主要在于有效提高金属箔接受光热辐射的能力，即降低其反射率提高其吸收率。平板型太阳能集热器板芯所用的金属箔，一般是在其工作表面具有包括与金属箔表面结合的底膜层、减反射膜层、选择性吸收膜层和表面抗氧化自洁保护膜层在内的膜系结构层的导热性能特好的金属箔(铝箔或铜箔)。而所述金属箔表面的镀膜加工处理，可以是单片金属箔分片镀膜加工处理，或者是卷装金属箔连续镀膜加工处理。显然，由于后者的生产效率高，加工成本低，而被制造业所乐意采用。已有技术的卷装金属箔连续镀膜设备，诸如中国专利200810045199.4、200910166892.1,200910167664.6,201110193478.7 和 201210099029.0 等，都有与其相关的技术报道，当然也都可以取得成功。然而已有技术的各个工作室的室内腔体积较大，以致其抽真空的能耗和工作介质(Ar、N、0等)的耗用量较大， 且由于室内腔有多个“死角”存在，以致影响室内腔的工作环境和工作介质的有效利用；与此同时，已有技术之存在于外界大气中的金属箔，通过真空度递增过渡区段后，直接进入离子清洗区段，由于金属箔当时的温度较低(尤其是寒冷季节的金属箔温度更低)，而其表层所附着的杂质的活性较差，以致降低了金属箔表面实施离子轰击清洗的效果，影响了所述底膜层与金属箔表面的结合强度，给所述膜系结构层与金属箔的结合造成剥离隐患，而严重影响了制成品的质量和使用寿命；而且由于金属箔与镀膜工作室的温差较大，也会直接影响镀膜的效率和包括镀膜层厚度一致性在内的镀膜质量。由于已有技术所存在的诸多结构性不足，以致不同程度存在着膜系结构层易于剥落，工艺成本较高，制成品质量不稳定等不足。为此研发一种能够克服已有技术不足的金属箔镀膜设备，便成为业内共同关注的课题。
发明内容
本发明旨在提供一种膜系结构层与金属箔表面结合强度好，工艺成本较低，制成品质量较好的金属箔连续镀膜设备，以克服已有技术的不足。本发明实现其目的的技术思路:一是在真空度递增过渡区段与离子清洗区段之间，加设电加热区段，通过电加热提高金属箔自身的温度，且保持金属箔始终处在一个适宜镀膜加工处理的温度范围内，以有效提高金属箔表面清洗效果，提高底膜层与金属箔表面的结合强度和镀膜质量；二是将整个设备的所有工作室的室内腔，改进为呈橄榄表面形拱顶室内腔，以有效缩小各个工作室室内腔的体积，有效提高抽真空的效率和节约降低工作介质(N、O、Ar等)的耗用量，且利用室内腔两端弧形面的反射，提高镀膜效率和镀膜质量，以降低工艺成本、提高镀膜品质；三是在思路之二的结构基础上，将各工艺工作室室内腔改进成上下对称布置的双工艺工作室内腔，实施2个卷装金属箔同步镀膜加工处理，以有效提高生产效率，从而实现本发明的目的。基于以上所述技术构想，本发明实现其目的的技术方案是:
一种金属箔连续镀膜设备，以卷装金属箔为镀膜加工对象，且对金属箔的表面实施连续镀膜处理；该设备包括:具有可编程序控制器的电控器，具有包括放卷架座和布置在放卷架座上的放卷辊组件在内的放卷装置的放卷区段，具有至少2个由相互间保留金属箔运动通道且密封连接的设有抽真空管路的第一真空室构成的真空度递增过渡区段，具有至少I个由设有抽真空管路，电极和工作介质管路的离子清洗室构成的金属箔镀膜面离子清洗区段，具有若干组相互保留金属箔运动通道且密封连接的，且每组至少有I个设有溅射靶基、抽真空管路和工作介质管路的磁控溅射镀膜室构成的连续镀膜区段，具有至少2个由相互保留金属箔运动通道且密封连接的具有抽真空管路的第二真空室构成的真空度递减过渡区段，具有冷却装置的冷却区段，以及具有包括收卷架座，分别布置在收卷架座上的卷筒纸复纸构件和由驱动电机驱动的收卷构件，以及其恒线速度控制器在内的复纸收卷装置的金属箔镀膜面复纸和收卷区段；而所述真空度递增过渡区段、离子清洗区段、连续镀膜区段和真空度递减过渡区段依次相互保留金属箔运动通道且密封连接，从而构成一条连续生产加工线，且所述所有区段各自的工作及其工艺参数，均通过相对应的控制件接受电控器控制；而其:
a、还包括对金属箔实施加热的电加热区段；所述电加热区段由至少I个两侧保留金属箔运动通道且具有电加热装置和温度传感器的电加热室所构成；所述电加热区段布置在所述真空度递增过渡区段与所述金属箔镀膜面离子清洗区段之间且互相保留金属箔运动通道密封连接；所述电加热室的电加热装置通过温度传感器接受电控器控制；
b、所述真空度递增过渡区段的各个第一`真空室，电加热区段的各个电加热室，离子清洗区段的各个离子清洗室，连续镀膜区段的各个磁控溅射镀膜室，以及真空度递减过渡区段的各个第二真空室，五者直面金属箔镀膜面的室内腔，均为两端分别是弧形线而中间由直线过渡连接的呈橄榄表面形第一拱形室内腔；
C、所述冷却区段的冷却装置，是由2只有间距分开相对布置在支架上的且分别由循环冷却介质致冷的中空冷却滚筒和用来探测中空冷却滚筒表面温度的第二温度传感器所组成；所述2只中空冷却滚筒的循环冷却介质控制电磁阀，通过第二温度传感器接受电控器控制；经镀膜加工后的具有膜系结构层的金属箔，由真空度递减过渡区段导出后，通过缠绕2个中空冷却滚筒的表面而接受冷却；
d、所述金属箔镀膜面复纸和收卷区段的收卷构件，由其恒线度检测器通过电控器控制驱动电机而实现匀线速度卷绕收卷，并牵引该设备的金属箔镀膜加工的全过程运动。出于有效提高本发明生产效率的考虑，本发明还主张，所述镀膜加工对象卷装金属箔有2个，而其:
a、由所述2个卷装金属箔，分别通过布置在放卷架座上的2个放卷辊组件放卷的金属箔，经由整合导箔辊整后成背靠背上下对齐的双层金属箔，且同步前行导入所述真空度递增过渡区段而实施在后的双金属箔外表面的同步镀膜加工；
b、所述真空度递增过渡区段的各个第一真空室，电加热区段的电加热室，离子清洗区段的各个离子清洗室，连续镀膜区段的各个磁控溅射镀膜室，以及真空度递减过渡区段的各个第二真室，五者室内腔的相对于其第一拱形室内腔的对面，均为两端分别是弧形线而中间由直线过渡连接，且具有与所述第一拱形室内腔相同的工艺管路和工作构件的第二拱形室内腔，且第二拱形室内腔与第一拱形室内腔相互对称布置；当镀膜加工对象双金属箔沿着第一拱形室内腔与第二拱形室内腔对称轴线通过时，对上下2层金属箔的镀膜面同时实施镀膜加工处理；所述第二拱形室内腔的工作和工艺参数，与第一拱形室内腔的工作和工艺参数一起，接受电控器控制；
C、所述冷却区段的冷却装置，是由4只有间距分开相对布置在支架上的且分别由循环冷却介质致冷的中空冷却滚筒所组成；所述4只中空冷却滚筒的循环冷却介质控制电磁阀，均通过第二温度传感器接受电控器控制；经镀膜加工后的具有膜系结构层的2行金属箔，由真空度递减过渡区段导出后分开前行，且分别通过缠绕上、下两组每组2个中空冷却滚筒的表面而接受冷却；
d、所述复纸和收卷区段，通过在I个收卷架座上的2组分别由复纸构件和收卷构件所组成的复纸收卷装置，分别对由冷却区段导出的2行金属箔镀膜层表面复纸和实施收卷。在上述技术方案中，本发明还主张，还包括分别设在放卷区段及复纸和收卷区段部位的放卷纠偏装置和收卷 纠偏装置；而:
所述放卷纠偏装置，是在放卷装置的放卷架座底部两侧，各设有沿长度方向分开布置的且处在同一直线上的前后2只第一滚轮组件；还包括与左、右第一滚轮组件相配装的第一导轨副，一端与固定件铰接而另一端的活塞杆与放卷架座铰接的第一气动组件，以及布置在靠近所述真空度递增过渡区入口处左右两侧的金属箔外侧边界限部位的第一红外探测组件，且第一气动组件的气路控制电磁阀接受电控器控制；当金属箔的外侧边移出其外侧界限时，所述第一红外探测组件经电控器通过第一气动组件的气路控制电磁阀，令放卷架座沿第一导轨副位移而实现对中，从而使金属箔始终保持对中运行；
所述收卷纠偏装置，是在收卷架座的底部两侧，各设有沿长度方向分开布置的且处在同一直线上的前后2只第二滚轮组件；还包括与左、右第二滚轮组件相配装的第二导轨副，一端与固定件铰接的而另一端的活塞杆与收卷架座铰接的第二气动组件，以及布置在收卷构件入口处的左、右两侧镀膜金属箔外侧边界限部位的第二红外探测组件，且第二气动组件的气路电磁阀接受电控器控制；当镀膜金属箔外侧边移出其外侧界限时，所述第二红外探测组件，经电控器通过第二气动组件的气路控制电磁阀，令收卷架座沿第二导轨副位移而实现对中，从而使镀膜金属箔始终保持对中收卷运行。在上述技术方案中，本发明还主张，还包括恒张力控制装置；所述恒张力控制装置有2个，2个恒张力控制装置，分别布置在所述放卷区段及复纸和收卷区段；而所述恒张力控制装置，由与金属箔或镀膜金属箔相滚动抵接的张力感受组件，和恒张力调节组件所组成；所述恒张力调节组件，由一端与固定件铰接而另一端的活塞杆和与金属箔或镀膜金属箔滚动抵接的张力调节滚筒铰接的恒张力调节气动组件所组成；当处在所述放卷区段的金属箔或处在复纸和收卷区段的镀膜金属箔的运动张力大于或小于所设定的张力时，所述张力感受组件即时通过电控器控制恒张力调节气动组件的气路控制电磁阀，令张力调节滚筒沿恒张力调节气动组件的轴向伸缩运动,对金属箔或镀膜金属箔实施恒张力调节，从而实现金属箔或镀膜金属箔的恒张力控制。在上述技术方案中，本发明还主张，所述连续镀膜区段可根据金属箔表面的膜系结构层，设定其适应多种不同镀层的镀膜区段；而所述连续镀膜区段由第一镀膜片段，第二镀膜片段，第三镀膜片段和第四镀膜片段所组成，且所述第一、第二、第三和第四镀膜片段相互保留金属箔运动通道依次密封连接。但不局限于此，可以根据金属箔表面所镀布的膜系结构层的层数要求，再增加第五及其以上的镀膜片段。在上述技术方案中，本发明还主张，所述真空度递增区段的第一真空室有3个；且在其入口处和相邻2个第一真空室之间，还各设有I个具有机械式阻尼结构的第一隔离室，且所述第一隔离室分别与相邻的第一真空室保留金属箔运行通道密封连接；而所述真空度递减区段的第二真空室有3个，且在其入口处和出口处以及相邻2个第二真空室之间，还各设有I个具有机械式阻尼结构的第二隔离室，且所述第二隔离室分别与相邻的第二真空室保留金属箔运行通道密封连接。其中，所述机械式阻尼结构是一种公知的已有技术，它是通过金属板件和橡塑件以及导辊副组合成的用于避免窜漏气体介质的一种密封件。但并不局限于此。在上述技术方案中，本发明还主张，所述电加热区段的电加热室有I个；所述离子清洗区段的离子清洗室有2个；所述连续镀膜区段的磁控溅射镀膜室有8个，且分别由连续2个磁控溅射镀膜室分成4组不同镀膜工作内容的镀膜区段；且在电加热室与离子清洗室之间，还设有真空度大于或等于与其相邻接的真空度递增区段的第一真空室与离子清洗区段的清洗室之真空度的具有抽真空管路的第一真空隔离室；在离子清洗区段的离子清洗与连续镀膜区段的磁控溅射镀膜室之间，还设有真空度大于或等于与其相邻接的离子清洗室和磁控溅射镀膜室之真空度的具有抽真空管路的第二真空隔离室；在连续镀膜区段的相邻2个磁控溅射镀膜室之间，均还设有真空度大于或等于相邻磁控溅射镀膜室之真空度的具有抽真空管路的第三真空隔离 室；且所述第一、第二和第三真空隔离室，均保留金属箔运行通道且分别与其相邻接的相关工艺工作室密封连接，且第一、第二和第三真空隔室的抽真空工作接受电控器控制。其目的显然在于避免相邻2个工艺工作室之间相互发生干扰影响。但并不局限于此。尤其是在相邻2个工艺工作室密封连接优良条件下，不设真空隔离室也是可以的。本发明还主张，当采用一个卷装金属箔作为镀膜加工对象时，还适用于金属箔双面镀膜加工处理。以实现“一机二用”，有效提高本发明的设备利用率。上述技术方案得以实施后，我们结合在前所述的实现其目的的技术构想可以明了，其所具有的结构合理，自动化程度高，节能减耗，工艺成本低，制成品质量好，生产效率闻等特点是显而易见的。
图1是本发明具体实施双卷装金属箔连续镀膜设备的结构示意 图2是本发明放卷纠编装置的结构示意 图3是图2的俯视图；图4是本发明收卷纠偏装置的结构示意 图5是图4的俯视 图6是本发明放卷区段的恒张力控制装置结构示意 图7是本发明收卷区段的恒张力控制装置结构示意图。
具体实施例方式以下结合附图，通过具体实施方式
的描述，对本发明作进一步说明。
具体实施方式
之一，请参阅附图1，且如附图2 7所示。一种金属箔连续镀膜设备，以卷装金属箔10为镀膜加工对象，而所述卷装金属箔10有I个,且对金属箔的表面实施连续镀膜处理；该设备包括安装在机座上的:具有可编程序控制器的电控器I，具有包括放卷架座2-1和布置在放卷架座2-1上的放卷辊组件2-2在内的放卷装置的放卷区段2，具有至少2个由相互间保留金属箔运动通道且密封连接的设有抽真空管路3-1-1的第一真空室3-1构成的真空度递增过渡区段3，具有至少I个由设有抽真空管路4-1-1，电极2-1-2和工作介质管路4-1-3的离子清洗室4_1构成的金属箔镀膜面离子清洗区段4，具有若干组相互保留金属箔运动通道且密封连接的，且每组至少有I个设有溅射靶基5-1-1、抽真空管路5-1-2和工作介质管路5-1-3的磁控溅射镀膜室5_1构成的连续镀膜区段5，和具有至少2个由相互保留金属箔运动通道且密封连接的具有抽真空管路6-1-1的第二真空室6-1构成的真空度递减过渡区段6，以及具有冷却装置7-1的冷却区段7，和具有包括收卷架座8-1，分别布置在收卷架座8-1上的卷筒纸复纸构件8-2和由驱动电机8-3驱动的收卷构件8-4，以及其恒线速度控制器8-5在内的复纸收卷装置的金属箔镀膜面复纸和收卷区段8 ;而所述真空度递增过渡区段3、离子清洗区段4、连续镀膜区段5和真空度递减过渡区段 6依次相互保留金属箔运动通道且密封连接，从而构成一条连续生产加工线，且所述所有区段2、3、4、5、6、7、8各自的工作及其工艺参数，均通过相对应的控制件接受电控器I控制；
而其:
a、还包括对金属箔实施加热的电加热区段9;所述电加热区段9由至少I个两侧保留金属箔运动通道且具有电加热装置9-1-1和温度传感器9-1-2的电加热室9-1所构成；所述电加热区段9布置在所述真空度递增过渡区段3与所述金属箔镀膜面离子清洗区段4之间且互相保留金属箔运动通道密封连接；所述电加热室9-1的电加热装置9-1-1通过温度传感器9-1-2接受电控器I控制；
b、所述真空度递增过渡区段3的各个第一真空室3-1，电加热区段9的各个电加热室9-1，离子清洗区段4的各个离子清洗室4-1，连续镀膜区段5的各个磁控溅射镀膜室5-1，以及真空度递减过渡区段6的各个第二真空室6-1，五者直面金属箔镀膜面的室内腔，均为两端分别是弧形线而中间由直线过渡连接的呈橄榄表面形第一拱形室内腔G1 ；
C、所述冷却区段7的冷却装置7-1，是由2只有间距分开相对布置在支架7-1-1上的且分别由循环冷却介质致冷的中空冷却滚筒7-1-2和用来探测中空冷却滚筒7-1-2表面温度的第二温度传感器7-1-3所组成；所述2只中空冷却滚筒7-1-2的循环冷却介质控制电磁阀，通过第二温度传感器7-1-3接受电控器I控制；经镀膜加工后的具有膜系结构层的金属箔，由真空度递减过渡区段6导出后，通过缠绕2个中空冷却滚筒7-1-2的表面而接受冷却；
d、所述金属箔镀膜面复纸和收卷区段8的收卷构件8-4，由其与收卷构件8-4的收卷辊配装的恒线度检测器8-5通过电控器I控制变速驱动电机8-3而实现匀线速度卷绕收卷，并牵引该设备的金属箔镀膜加工的全过程运动。还包括分别设在放卷区段2及复纸和收卷区段8部位的放卷纠偏装置12和收卷纠偏装置13 ;而:
所述放卷纠偏装置12，是在放卷装置的放卷架座2-1底部两侧，各设有沿长度方向分开布置的且处在同一直线上的前后2只第一滚轮组件2-1-1 ;还包括与左、右第一滚轮组件2-1-1相配装的第一导轨副12-1，一端与固定件铰接而另一端的活塞杆与放卷架座2-1铰接的第一气动组件12-2，以及布置在靠近所述真空度递增过渡区3入口处左右两侧的金属箔外侧边界限部位的第一红外探测组件12-3，且第一气动组件12-2的气路控制电磁阀接受电控器I控制；当金属箔的外侧边移出其外侧界限时，所述第一红外探测组件12-3经电控器I通过第一气动组件12-2的气路控制电磁阀，令放卷架座2-1沿第一导轨副12-1位移而实现对中，从而使金属箔始终保持对中运行；
所述收卷纠偏装置13，是在收卷架座8-1的底部两侧，各设有沿长度方向分开布置的且处在同一直线上的前后2只第二滚轮组件8-1-1 ;还包括与左、右第二滚轮组件8-1-1相配装的第二导轨副13-1，一端与固定件铰接的而另一端的活塞杆与收卷架座8-1铰接的第二气动组件13-2，以及布置在收卷构件8-4入口处的左、右两侧镀膜金属箔外侧边界限部位的第二红外探测组件13-3，且第二气动组件13-2的气路电磁阀接受电控器I控制；当镀膜金属箔外侧边移出其外侧界限时，所述第二红外探测组件13-3，经电控器I通过第二气动组件13-2的气路控制电磁阀，令收卷架座8-1沿第二导轨副13-1位移而实现对中，从而使镀膜金属箔始终保持对中收卷运行。还包括恒张力控制装置14 ;所述恒张力控制装置14有2个，2个恒张力控制装置14，分别布置在所述放卷区段2及复纸和收卷区段8 ;而所述恒张力控制装置14，由与金属箔或镀膜金属箔相滚动抵接的张力感受组件14-1，和恒张力调节组件14-2所组成；所述恒张力调节组件14-2，由一端与固定件铰接而另一端的活塞杆和与金属箔或镀膜金属箔滚动抵接的张力调节滚筒14-2-1铰接的恒张力调节气动组件14-2-2所组成；当处在所述放卷区段2的金属箔或处在复纸和收卷区段8的镀膜金属箔的运动张力大于或小于所设定的张力时，所述张力感受组件14-1即时通过电控器I控制恒张力调节气动组件14-2-2的气路控制电磁阀，令张力调节滚筒14-2-1沿恒张力调节气动组件14-2-2的轴向伸缩运动,对金属箔或镀膜金属箔实施恒张力调节，从而实现金属箔或镀膜金属箔的恒张力控制。而所述连续镀膜区段5可根据金属箔表面的膜系结构层，设定其适应多种不同镀层的镀膜区段；而所述连续镀膜区段5由第一镀膜片段5a，第二镀膜片段5b，第三镀膜片段5c和第四镀膜片段5d所组成，且所述第一、第二、第三和第四镀膜片段5a、5b、5c、5d相互保留金属箔运动通道依次密封连接。而所述真空度递增区段3的第一真空室3-1有3个；且在其入口处和相邻2个第一真空室3-1之间，还各设有I 个具有机械式阻尼结构的第一隔离室15，且所述第一隔离室15分别与相邻的第一真空室3-1保留金属箔运行通道密封连接；而所述真空度递减区段6的第二真空室6-1有3个，且在其入口处和出口处以及相邻2个第二真空室6-1之间，还各设有I个具有机械式阻尼结构的第二隔离室16，且所述第二隔离室16分别与相邻的第二真空室6-1保留金属箔运行通道密封连接。而所述电加热区段9的电加热室9-1有I个；所述离子清洗区段4的离子清洗室
4-1有2个；所述连续镀膜区段5的磁控溅射镀膜室5-1有8个，且分别由连续2个磁控溅射镀膜室5-1分成4组不同镀膜工作内容的镀膜区段；且在电加热室9-1与离子清洗室4-1之间，还设有真空度大于或等于与其相邻接的真空度递增区段3的第一真空室3-1与离子清洗区段4的清洗室4-1之真空度的具有抽真空管17-1的第一真空隔离室17 ;在离子清洗区段4的离子清洗4-1与连续镀膜区段5的磁控溅射镀膜室5-1之间，还设有真空度大于或等于与其相邻接的离子清洗室4-1和磁控溅射镀膜室5-1之真空度的具有抽真空管路18-1的第二真空隔离室18 ;在连续镀膜区段5的相邻2个磁控溅射镀膜室5-1之间，均还设有真空度大于或等于相邻磁控溅射镀膜室5-1之真空度的具有抽真空管路19-1的第三真空隔离室19 ;且所述第一、第二和第三真空隔离室17、18、19，均保留金属箔运行通道且分别与其相邻接的相关工艺工作室密封连接，且第一、第二和第三真空隔离室17、18、19的抽真空工作接受电控器I控制。
具体实施方式
之二，如附图f 7所示。一种卷装金属箔连续镀膜设备，所述镀膜加工对象卷装金属箔10有2个，且其:
a、由所述2个卷装金属箔10，分别通过布置在放卷架座2-1上的2个放卷辊组件2_2放卷的金属箔，经由整合导箔辊11整后成背靠背上下对齐的双层金属箔，且同步前行导入所述真空度递增过渡区段3而实施在后的双金属箔外表面的同步镀膜加工；
b、所述真空度递增过渡区段3的各个第一真空室3-1，电加热区段9的电加热室9-1，离子清洗区段的各个离子清洗室4-1，连续镀膜区段5的各个磁控溅射镀膜室5-1，以及真空度递减过渡区段6的各个第二真室6-1，五者室内腔的相对于其第一拱形室内腔G1的对面，均为两端分别是弧形线而中间由直`线过渡连接，且具有与所述第一拱形室内腔G1相同的工艺管路和工作构件的第二拱形室内腔G2，且第二拱形室内腔G2与第一拱形室内腔匕相互对称布置；当镀膜加工对象双金属箔沿着第一拱形室内腔G1与第二拱形室内腔G2对称轴线通过时，对上下2层金属箔的镀膜面同时实施镀膜加工处理；所述第二拱形室内腔G2的工作和工艺参数，与第一拱形室内腔G1的工作和工艺参数一起，接受电控器I控制；
C、所述冷却区段7的冷却装置7-1，是由4只有间距分开相对布置在支架7-1-1上的且分别由循环冷却介质致冷的中空冷却滚筒7-1-2所组成；所述4只中空冷却滚筒7-1-2的循环冷却介质控制电磁阀，均通过第二温度传感器7-1-3接受电控器I控制；经镀膜加工后的具有膜系结构层的2行金属箔，由真空度递减过渡区段6导出后分开前行，且分别通过缠绕上、下两组每组2个中空冷却滚筒7-1-2的表面而接受冷却；
d、所述复纸和收卷区段8，通过在I个收卷架座8-1上的2组分别由复纸构件8-2和收卷构件8-4所组成的复纸收卷装置，分别对由冷却区段7导出的2行金属箔镀膜层表面复纸和实施收卷。 除以上所述内容之外，其它均如同具体实施方式
之二。
具体实施方式
之三，请参读附图1，且如附图2 所示。一种卷装金属箔连续镀膜设备，当采用一个卷装金属箔10作为镀膜加工对象时，还适用于金属箔双面镀膜加工处理。除此之外，其它均如同具体实施方式
之二。
本发明具体实施方式
所描述的3种卷装金属箔连续镀膜设备，在给其电控器I的可编程控制器输入工艺软件，接通抽真空输入管路和工艺介质输入管路，并在溅射靶基上装置靶材后，即可开机投入正常镀膜加工，而所述镀膜加工的程序，均按通常的镀膜工艺步骤安排布置，而其工艺工作参数，均按通常的工艺参数执行。这里还应当说明的是，可利用所述第一真空隔离室17、第二真空隔离室18和第三真空隔离室19，分别对电加热室9-1，离子清洗室4-1和磁控溅射镀膜室5-1实施抽真空，然后通过导入工作介质，分别使电加热室9-1，离子清洗室4-1和磁控溅射镀膜室5-1的真空度达到工艺真空度。在这样的条件下，所述电加热室9-1，离子清洗室4-1和磁控溅射镀膜室5-1，均可以不设抽真空管路。本发明初样实施镀膜加工处理的过程是令人满意的，可比已有技术节能降耗15%以上，制成品质量好于已有技术，生产效率至少提高20%，取得了明显的技术经济效益，实现了本发明的初衷。本发明的使用范围不受说明书描述的限制，至少还可以适用于装饰板材表面的镀膜处理，以及反光 镜面材料的表面镀膜处理等等。
权利要求
1.一种金属箔连续镀膜设备，以卷装金属箔(10)为镀膜加工对象，且对金属箔的表面实施连续镀膜处理；该设备包括:具有可编程序控制器的电控器(1)，具有包括放卷架座(2-1)和布置在放卷架座(2-1)上的放卷辊组件(2-2)在内的放卷装置的放卷区段(2)，具有至少2个由相互间保留金属箔运动通道且密封连接的设有抽真空管路(3-1-1)的第一真空室(3-1)构成的真空度递增过渡区段(3)，具有至少I个由设有抽真空管路(4-1-1)，电极(2-1-2)和工作介质管路(4-1-3)的离子清洗室(4-1)构成的金属箔镀膜面离子清洗区段(4)，具有若干组相互保留金属箔运动通道且密封连接的，且每组至少有I个设有溅射靶基(5-1-1)、抽真空管路(5-1-2)和工作介质管路(5-1-3)的磁控溅射镀膜室(5_1)构成的连续镀膜区段(5)，具有至少2个由相互保留金属箔运动通道且密封连接的具有抽真空管路(6-1-1)的第二真空室(6-1)构成的真空度递减过渡区段(6)，具有冷却装置(7-1)的冷却区段(7)，以及具有包括收卷架座(8-1)，分别布置在收卷架座(8-1)上的卷筒纸复纸构件(8-2)和由驱动电机(8-3)驱动的收卷构件(8-4)，以及其恒线速度控制器(8-5)在内的复纸收卷装置的金属箔镀膜面复纸和收卷区段(8);而所述真空度递增过渡区段(3)、离子清洗区段(4)、连续镀膜区段(5)和真空度递减过渡区段(6)依次相互保留金属箔运动通道且密封连接，从而构成一条连续生产加工线，且所述所有区段(2、3、4、5、6、7、8)各自的工作及其工艺参数，均通过相对应的控制件接受电控器(I)控制； 其特征在于: a、还包括对金属箔实施加热的电加热区段(9);所述电加热区段(9)由至少I个两侧保留金属箔运动通道且具有电加热装置(9-1-1)和温度传感器(9-1-2)的电加热室(9-1)所构成；所述电加热区段(9)布置在所述真空度递增过渡区段(3)与所述金属箔镀膜面离子清洗区段(4)之间且互相保留金属箔运动通道密封连接；所述电加热室(9-1)的电加热装置(9-1-1)通过温度传感器(9-1-2)接受电控器(I)控制； b、所述真空度递增过渡区段(3)的各个第一真空室(3-1)，电加热区段(9)的各个电加热室(9-1)，离子清洗区段(4)的各个离子清洗室(4-1)，连续镀膜区段(5)的各个磁控溅射镀膜室(5-1)，以及真空度递减过`渡区段(6)的各个第二真空室(6-1)，五者直面金属箔镀膜面的室内腔，均为两端分别是弧形线而中间由直线过渡连接的呈橄榄表面形第一拱形室内腔(G1); C、所述冷却区段(7)的冷却装置(7-1)，是由2只有间距分开相对布置在支架(7-1-1)上的且分别由循环冷却介质致冷的中空冷却滚筒(7-1-2)和用来探测中空冷却滚筒(7-1-2)表面温度的第二温度传感器(7-1-3)所组成；所述2只中空冷却滚筒(7-1-2)的循环冷却介质控制电磁阀，通过第二温度传感器(7-1-3 )接受电控器(I)控制；经镀膜加工后的具有膜系结构层的金属箔，由真空度递减过渡区段(6)导出后，通过缠绕2个中空冷却滚筒(7-1-2)的表面而接受冷却； d、所述金属箔镀膜面复纸和收卷区段(8)的收卷构件(8-4)，由其恒线度检测器(8-5)通过电控器(I)控制驱动电机(8-3)而实现匀线速度卷绕收卷，并牵引该设备的金属箔镀膜加工的全过程运动。
2.根据权利要求1所述的金属箔连续镀膜设备，其特征在于，所述镀膜加工对象卷装金属箔(10)有2个，且其: a、由所述2个卷装金属箔(10)，分别通过布置在放卷架座(2-1)上的2个放卷辊组件(2-2)放卷的金属箔，经由整合导箔辊(11)整后成背靠背上下对齐的双层金属箔，且同步前行导入所述真空度递增过渡区段(3)而实施在后的双金属箔外表面的同步镀膜加工； b、所述真空度递增过渡区段(3)的各个第一真空室(3-1)，电加热区段(9)的电加热室(9-1)，离子清洗区段的各个离子清洗室(4-1)，连续镀膜区段(5)的各个磁控溅射镀膜室(5-1)，以及真空度递减过渡区段(6)的各个第二真室(6-1)，五者室内腔的相对于其第一拱形室内腔(G1)的对面，均为两端分别是弧形线而中间由直线过渡连接，且具有与所述第一拱形室内腔(G1)相同的工艺管路和工作构件的第二拱形室内腔(G2),且第二拱形室内腔(G2)与第一拱形室内腔(G1)相互对称布置；当镀膜加工对象双金属箔沿着第一拱形室内腔(G1)与第二拱形室内腔(G2)对称轴线通过时，对上下2层金属箔的镀膜面同时实施镀膜加工处理；所述第二拱形室内腔(G2)的工作和工艺参数，与第一拱形室内腔(G1)的工作和工艺参数一起，接受电控器(I)控制； C、所述冷却区段(7)的冷却装置(7-1)，是由4只有间距分开相对布置在支架(7-1-1)上的且分别由循环冷 却介质致冷的中空冷却滚筒(7-1-2)所组成；所述4只中空冷却滚筒(7-1-2)的循环冷却介质控制电磁阀，均通过第二温度传感器(7-1-3)接受电控器(I)控制；经镀膜加工后的具有膜系结构层的2行金属箔，由真空度递减过渡区段(6)导出后分开前行，且分别通过缠绕上、下两组每组2个中空冷却滚筒(7-1-2)的表面而接受冷却； d、所述复纸和收卷区段(8)，通过在I个收卷架座(8-1)上的2组分别由复纸构件(8-2)和收卷构件(8-4)所组成的复纸收卷装置，分别对由冷却区段(7)导出的2行金属箔镀膜层表面复纸和实施收卷。
3.根据权利要求1或2所述的金属箔连续镀膜设备，其特征在于，还包括分别设在放卷区段(2)及复纸和收卷区段(8)部位的放卷纠偏装置(12)和收卷纠偏装置(13);而: 所述放卷纠偏装置(12)，是在放卷装置的放卷架座(2-1)底部两侧，各设有沿长度方向分开布置的且处在同一直线上的前后2只第一滚轮组件(2-1-1);还包括与左、右第一滚轮组件(2-1-1)相配装的第一导轨副(12-1)，一端与固定件铰接而另一端的活塞杆与放卷架座(2-1)铰接的第一气动组件(12-2)，以及布置在靠近所述真空度递增过渡区(3)入口处左右两侧的金属箔外侧边界限部位的第一红外探测组件(12-3)，且第一气动组件(12-2)的气路控制电磁阀接受电控器(I)控制；当金属箔的外侧边移出其外侧界限时，所述第一红外探测组件(12-3)经电控器(I)通过第一气动组件(12-2)的气路控制电磁阀，令放卷架座(2-1)沿第一导轨副(12-1)位移而实现对中，从而使金属箔始终保持对中运行；所述收卷纠偏装置(13)，是在收卷架座(8-1)的底部两侧，各设有沿长度方向分开布置的且处在同一直线上的前后2只第二滚轮组件(8-1-1);还包括与左、右第二滚轮组件(8-1-1)相配装的第二导轨副(13-1)，一端与固定件铰接的而另一端的活塞杆与收卷架座(8-1)铰接的第二气动组件(13-2)，以及布置在收卷构件(8-4)入口处的左、右两侧镀膜金属箔外侧边界限部位的第二红外探测组件(13-3)，且第二气动组件(13-2)的气路电磁阀接受电控器(I)控制；当镀膜金属箔外侧边移出其外侧界限时，所述第二红外探测组件(13-3)，经电控器(I)通过第二气动组件(13-2)的气路控制电磁阀，令收卷架座(8-1)沿第二导轨副(13-1)位移而实现对中，从而使镀膜金属箔始终保持对中收卷运行。
4.根据权利要求1或2所述的金属箔连续镀膜设备，其特征在于，还包括恒张力控制装置(14);所述恒张力控制装置(14)有2个，2个恒张力控制装置(14)，分别布置在所述放卷区段(2)及复纸和收卷区段(8);而所述恒张力控制装置(14)，由与金属箔或镀膜金属箔相滚动抵接的张力感受组件(14-1)，和恒张力调节组件(14-2)所组成；所述恒张力调节组件(14-2)，由一端与固定件铰接而另一端的活塞杆和与金属箔或镀膜金属箔滚动抵接的张力调节滚筒(14-2-1)铰接的恒张力调节气动组件(14-2-2)所组成；当处在所述放卷区段(2)的金属箔或处在复纸和收卷区段(8)的镀膜金属箔的运动张力大于或小于所设定的张力时，所述张力感受组件(14-1)即时通过电控器(I)控制恒张力调节气动组件(14-2-2 )的气路控制电磁阀，令张力调节滚筒(14-2-1)沿恒张力调节气动组件(14-2-2)的轴向伸缩运动，对金属箔或镀膜金属箔实施恒张力调节，从而实现金属箔或镀膜金属箔的恒张力控制。
5.根据权利要求1或2所述的金属箔连续镀膜设备，其特征在于，所述连续镀膜区段(5)可根据金属箔表面的膜系结构层，设定其适应多种不同镀层的镀膜区段；而所述连续镀膜区段(5)由第一镀膜片段(5a)，第二镀膜片段(5b)，第三镀膜片段(5c)和第四镀膜片段(5d)所组成，且所述第一、第二、第三和第四镀膜片段(5a、5b、5c、5d)相互保留金属箔运动通道依次密封连接。
6.根据权利要求1或2所述的金属箔连续镀膜设备，其特征在于，所述真空度递增区段(3)的第一真空室(3-1)有3个；且在其入口处和相邻2个第一真空室(3-1)之间，还各设有I个具有机械式阻尼结构的第一隔离室(15)，且所述第一隔离室(15)分别与相邻的第一真空室(3-1)保留金属箔运行通道密封连接；而所述真空度递减区段(6)的第二真空室(6-1)有3个，且在其入口处和出口处以及相邻2个第二真空室(6-1)之间，还各设有I个具有机械式阻尼结构的第二隔离室(16)，且所述第二隔离室(16)分别与相邻的第二真空室(6-1)保留金属箔运行通道密封连接。
7.根据权利要求1或2所述的金属箔连续镀膜设备，其特征在于，所述电加热区段(9)的电加热室(9-1)有I个；所述离子清洗区段(4)的离子清洗室(4-1)有2个；所述连续镀膜区段(5)的磁控溅射镀膜室(5-1)有8个，且分别由连续2个磁控溅射镀膜室(5-1)分成4组不同镀膜工作内容的镀膜区段；且在电加热室(9-1)与离子清洗室(4-1)之间，还设有真空度大于或等于与其相邻接的真空度递增区段(3)的第一真空室(3-1)与离子清洗区段(4)的清洗室(4-1)之真空度的具有抽真空管路(17-1)的第一真空隔离室(17);在离子清洗区段(4)的离子清洗(4-1)与连续镀膜区段(5)的磁控溅射镀膜室(5-1)之间，还设有真空度大于或等于与其相邻接的离子清洗室(4-1)和磁控溅射镀膜室(5-1)之真空度的具有抽真空管路(18-1)的第二真空隔离室(18);在连续镀膜区段(5)的相邻2个磁控溅射镀膜室(5-1)之间，均还设有真空度大于或等于相邻磁控溅射镀膜室(5-1)之真空度的具有抽真空管路(19-1)的第三真空隔离室(19);且所述第一、第二和第三真空隔离室(17、18、19)，均保留金属箔运行通道且分别与其相邻接的相关工艺工作室密封连接，且第一、第二和第三真空隔离室的抽真空工作接受电控器(I)控制。
8.根据 权利要求2所述的金属箔连续镀膜设备，其特征在于，当采用一个卷装金属箔(10)作为镀膜加工对象时，还适用于金属箔双面镀膜加工处理。
全文摘要
本发明所公开的是一种金属箔连续镀膜设备，与已有技术相比，以其还具有电加热区段，各个工艺工作室室内腔呈橄榄表面形拱形室内腔，由中空冷却滚筒冷却镀膜金属箔，由收卷区段的收卷构件的驱动电机实现匀线速度卷绕收卷，且牵引金属箔镀膜加工全过程运动；整个设备由电控器按照工艺软件实现自动控制为主要特征，具有结构合理，自动化程度高，节能减耗，工艺成本低，制成品质量好，生产效率高等特点。
文档编号C23C14/35GK103074592SQ20131004824
公开日2013年5月1日 申请日期2013年2月7日 优先权日2013年2月7日
发明者杨纪忠, 郭廷玮, 夏建业 申请人:江苏夏博士节能工程股份有限公司