焊接式pecvd载板导轨的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种导轨，具体的说是一种焊接式的PECVD载板导轨，属于太阳能镀膜【技术领域】。其包括垫板和复合导轨，垫板和复合导轨焊接成一体。垫板两端设有垫板扣板，复合导轨两端设有与垫板扣板配合连接的复合导轨斜坡。本发明结构简单、紧凑、合理，加工制作方便；采用优质钛合金替代原石墨材料导轨，提高了使用寿命，降低了使用成本和维护更换的成本。
【专利说明】焊接式PECVD载板导轨
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种导轨，具体的说是一种焊接式的PECVD载板导轨，属于太阳能镀膜【技术领域】。
【背景技术】
[0002]C/C复合材料是一种新型高性能结构、功能复合材料，具有高强度、高模量、高断裂韧性、高导热、隔热优异和低密度等优异特性，在机械、电子、化工、冶金和核能等领域中得到广泛应用，并且在航天、航空和国防领域中的关键部件上大量应用。
[0003]C/C复合载板是应用C/C复合材料的载板，是板式PECVD中承载电池片中的重要工艺装备。载板在设备上的循环运动是通过固定在载板底下的石墨垫片与C/C复合导轨来实现的，C/C复合载板、石墨垫片、C/C复合导轨三者是通过螺丝螺母完成紧固的；运动时，C/C复合导轨置于设备的滚轮上的，滚轮转动时通过摩擦将动力提供给C/C复合导轨并使C/C复合载板完成在设备上的循环运动。此导轨由于中间安装一个石墨垫片，石墨垫块价格高，强度低；使用中易断裂，在运动过程中容易对C/C复合导轨产生磨损，大幅降低了导轨的使用寿命和维护周期。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于克服上述不足之处，从而提供一种焊接式PECVD载板导轨，加工制作方便，使用寿命提高，使用和维护成本降低。
[0005]按照本发明提供的技术方案，焊接式PECVD载板导轨包括垫板和复合导轨，其特征是:垫板和复合导轨焊接成一体。所述垫板两端设有垫板扣板，复合导轨两端设有与垫板扣板配合连接的复合导轨斜坡。
[0006]进一步的，复合导轨内设有复合导轨槽。
[0007]进一步的，复合导轨两侧设有多个安装孔。
[0008]进一步的，多个安装孔等距均匀分布在复合导轨上。
[0009]进一步的，垫板采用钛合金材料制作。
[0010]本发明与已有技术相比具有以下优点:
本发明结构简单、紧凑、合理，加工制作方便；采用优质钛合金替代原石墨材料导轨，提高了使用寿命，降低了使用成本和维护更换的成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1为本发明结构示意图。
[0012]图2为垫板结构示意图。
[0013]图3为复合导轨结构示意图。
[0014]附图标记说明:1_垫板、2-复合导轨、3-垫板扣板、4-复合导轨斜坡、5-复合导轨槽、6-安装孔。【具体实施方式】
[0015]下面本发明将结合附图中的实施例作进一步描述:
如图f 3所示，本发明主要包括垫板I和复合导轨2，垫板I和复合导轨2焊接成一体。
[0016]所述垫板I两端设有垫板扣板3，复合导轨2两端设有与垫板扣板3配合连接的复合导轨斜坡4。
[0017]所述复合导轨2内设有复合导轨槽5，复合导轨2两侧设有多个安装孔6，多个安装孔6等距均匀分布在复合导轨2上。
[0018]所述垫板I采用钛合金材料制作。
[0019] 本发明使用时，安装在C/C复合载板下端，通过下端连接的滚轮带动C/C复合载板移动。采用钛合金材料制作垫板1，提高了整个导轨的使用寿命，降低了生产成本。加工制作方便。
【权利要求】
1.一种焊接式PECVD载板导轨，包括垫板(I)和复合导轨(2)，其特征是:垫板(I)和复合导轨(2)焊接成一体；所述垫板(I)两端设有垫板扣板(3)，复合导轨(2)两端设有与垫板扣板(3)配合连接的复合导轨斜坡(4)。
2.如权利要求1所述的焊接式PECVD载板导轨，其特征是:所述复合导轨(2)内设有复合导轨槽(5)。
3.如权利要求1所述的焊接式PECVD载板导轨，其特征是:所述复合导轨(2)两侧设有多个安装孔(6)。
4.如权利要求3所述的焊接式PECVD载板导轨，其特征是:所述多个安装孔(6)等距均匀分布在复合导轨(2)上。
5.如权利要求1所 述的焊接式PECVD载板导轨，其特征是:所述垫板(I)采用钛合金材料制作。
【文档编号】C23C16/458GK103484838SQ201310430742
【公开日】2014年1月1日 申请日期:2013年9月18日 优先权日:2013年9月18日
【发明者】尤耀明, 龚建新 申请人:无锡绿波新能源设备有限公司