微波遥控镀膜挡板装置制造方法
【专利摘要】一种微波遥控镀膜挡板装置，构成包括基片平面夹具、微波遥控器、发射天线、微波接受器、耐高温电池、控制电路、电机、连接线、连接杆和挡板。所述的微波遥控器通过所述的发射天线发射的微波遥控信号被所述的微波接收器接收，经所述的控制电路处理后，控制所述的电机的运转，驱动连接杆带动所述的挡板转动，使挡板根据需要处在基片平面夹具的下方的合理位置，本发明对挡板的位置具有遥感、经济、方便和高效的控制作用。
【专利说明】微波遥控镀膜挡板装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及镀膜，特别是一种微波遥控镀膜挡板装置。
【背景技术】[0002]现今薄膜制备技术广泛应用于制备太阳能薄膜、纳米微结构、光学薄膜、光电薄膜等方面。在薄膜制备过程中，镀膜设备中真空室的清洁、抽气和放气过程消耗大部分时间，真正用于镀膜的时间很短。对于生产而言，特别是在蒸镀不同膜系的薄膜产品时，需要分多次进行，不断重复真空室的清洁、抽气和放气过程，延长了产品加工时间，降低了镀膜设备的利用效率。对于实验而言，即使设定相同的生产工艺参数，不同批次制备的同种薄膜，也会在性能上出现差异。因此，从提高生产效率和实验对比度角度，都要求改进设备，设计专门的控制装置。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是为了提供一种微波遥控可控镀膜挡板装置，该装置可以在一次镀膜过程，蒸镀两批或多批不同材料的薄膜，提高镀膜工艺的生产效率，并且能使实验的对比效果增强。
[0004]本发明的技术解决方案如下:
[0005]一种微波遥控镀膜挡板装置，特点在于其构成包括:基片平面夹具、微波遥控器、发射天线、微波接受器、耐高温电池、控制电路、电机、连接线、连接杆、挡板，所述的基片平面夹具上均匀地开有多个供置放玻璃基片的通孔，所述的微波接收器、耐高温电池、控制电路、电机固定在基片平面夹具的上平面，通过所述的连接线将所述的微波接收器、耐高温电池、控制电路和电机相连，所述的连接杆竖直地穿过所述的基片平面夹具，该连接杆的上端与所述的电机相连，该连接杆的下端与所述的挡板的一端相固定构成一体并置于镀膜机的真空室内，所述的基片平面夹具和所述的挡板平行，所述的挡板的外围面积与所述的基片平面夹具的外围面积相同，所述的发射天线的一端在真空室内，另一端在真空室外，所述的微波遥控器在真空室外，所述的微波遥控器通过所述的发射天线发射的微波遥控信号被所述的微波接收器接收，经所述的控制电路处理后，控制所述的电机的运转，驱动连接杆带动所述的挡板转动，使挡板根据需要处在基片平面夹具的正下方或者其他位置，所述的高温电池为所述的控制电路、微波接收器、电机提供电源，所述的高温电池处固定在所述的基片平面夹具上方。
[0006]所述的通孔的上端的直径较大，下端的直径较小，上端和下端的连接处形成一个平台，所述的玻璃基片的四周边缘平行地落在平台上，而不掉下。
[0007]所述的微波接收器、耐高温电池、控制电路和电机分散地或集成地置于所述的基片平面夹具上。
[0008]所述的高温电池处在基片平面夹具上，能够避免电子束电子或蒸镀的材料离子对高温电池造成损害。[0009]本发明的有益效果:
[0010]1、本发明优点是通过处在基片平面夹具正下方的挡板遮挡，使基片平面夹具中的玻璃基片不能被镀膜。当挡板绕连接杆转动180度后，露出基片平面夹具中的玻璃基片，基片则能够被镀膜。因此，可以有效控制基片平面夹具中的玻璃基片的镀膜。
[0011]2、通过一次镀膜设备中真空室的清洁、抽气和放气过程，利用挡板对基片平面夹具的遮挡与否，以及电子枪对坩埚盘中不同材料的蒸发作用，可在不同的基片平面夹具中的玻璃基片下表面蒸镀不同材料的薄膜。因此，省去原来蒸镀不同材料薄膜过程中多次真空室的清洁、抽气和放气过程，可以有效节省镀膜时间，达到经济、高效的目的。
[0012]3、相比镀膜装置真空室外面的电源，放在真空室内的高温电源，能够有效避免真空室中基片平面夹具公转过程中，连接电源的连接线引起的绕线问题。
[0013]4、通过添加一个发射天线，能够解决镀膜设备真空腔的金属外壳对微波的屏蔽问题，以将微波遥控器产生的微波信号传到真空腔中的微波接受器上。
[0014]5、利用微波遥控器能够在镀膜设备真空室外面较远的位置发射微波信号，来调节真空室中挡板的位置，起到遥感作用。
[0015]6、总之， 本发明微波遥控镀膜挡板装置是一种可控、经济、高效和遥感的镀膜挡板装置。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1是本发明微波遥控镀膜挡板装置的示意图
[0017]图2是本发明微波遥控镀膜挡板装置在镀膜设备上的位置示意图
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明，但不应以此限制本发明的保护范围。
[0019]先请参阅图1至图2所示，由图可见，本发明微波遥控镀膜挡板装置，包括:基片平面夹具1、微波遥控器2、发射天线3、微波接受器4、耐高温电池5、控制电路6、电机7、连接线8、连接杆9、挡板10。所述的基片平面夹具I上均匀开有四个通孔1-1，通孔1-1大小和数目根据实际需要设定，所述的通孔1-1上端较大，使玻璃基片能够通过，所述通孔下端较小，上通孔、下通孔连接处形成一个平台，使玻璃基片四周边缘平行落在平台上，而不掉下。所述的微波接收器4、耐高温电池5、控制电路6和电机7位于基片平面夹具I的上平面上。所述的微波接收器4、耐高温电池5、控制电路6和电机7相互之间可以组合到一起，或者分开，但是要保证它们的位置固定，不随着基片平面夹具I移动而掉落。通过所述的连接线8，将所述的微波接收器4、耐高温电池5、控制电路6和电机7连接。所述的基片平面夹具I边缘开有一个贯穿基片平面夹具I上下平面的孔道，此孔道直径大于所述的连接杆9的直径，使所述的连接杆9竖直穿过基片平面夹具I。所述的连接杆9的上端与固定在所述的基片平面夹具I上表面的电机7相连，连接杆9的下端固定在挡板10的一端。所述的挡板10外围面积与基片平面夹具I外围面积相同。通过所述电机7驱动连接杆9和挡板10转动，使挡板10根据需要处在基片平面夹具I正下面或者其他位置。所述的发射天线3的一端在真空室11内，另一端在真空室11外。所述的微波遥控器2在真空室11外。通过所述的发射天线3将微波遥控器2发出的信号传到微波接收器4上。所述的控制电路6处理接受信号，控制电机7的运转。所述的高温电池5为所述的控制电路6、微波接收器4、电机7提供电源。所述的高温电池5处在基片平面夹具I上，避免电子枪12溅射的电子束电子或坩埚13中蒸镀的材料离子对高温电池5造成损害。
[0020]镀膜过程中不同坩埚13中存放不同的材料，转动坩埚盘14，可以实现电子枪12对不同坩埚13中的材料进行熔融蒸发。基片平面夹具I嵌入托盘15中，为了保证镀膜的均匀性，基片平面夹具I随托盘15绕轴16转动。通过电子枪12溅射不同坩埚13中的不同材料，以及挡板10对基片平面夹具I中玻璃基片的遮挡与否，对不同基片平面夹具I中玻璃基片下表面蒸镀不同材料的薄膜。托盘15上的平面夹具I数量可以根据实际需要进行添加。
[0021]以上所述仅是本发明的优选实施方式。应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明 原理的前提下，还可以做出若干变型和改进，这些也应视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种微波遥控镀膜挡板装置，特征在于其构成包括:基片平面夹具(I)、微波遥控器(2)、发射天线(3)、微波接受器(4)、耐高温电池(5)、控制电路(6)、电机(7)、连接线(8)、连接杆(9)、挡板(10)，所述的基片平面夹具(I)上均匀地开有多个供置放玻璃基片的通孔(1- 1)，所述的微波接收器(4)、耐高温电池(5)、控制电路(6)、电机(7)固定在基片平面夹具(I)的上平面，通过所述的连接线(8)将所述的微波接收器(4)、耐高温电池(5)、控制电路(6)和电机(7)相连，所述的连接杆(9)竖直地穿过所述的基片平面夹具，该连接杆的上端与所述的电机相连，该连接杆的下端与所述的挡板的一端相固定构成一体并置于镀膜机的真空室内，所述的基片平面夹具和所述的挡板平行，所述的挡板的外围面积与所述的基片平面夹具的外围面积相同，所述的发射天线的一端在真空室内，另一端在真空室外，所述的微波遥控器在真空室外，所述的微波遥控器通过所述的发射天线发射的微波遥控信号被所述的微波接收器接收，经所述的控制电路处理后，控制所述的电机的运转，驱动连接杆带动所述的挡板转动，使挡板根据需要处在基片平面夹具的正下方或者其他位置，所述的高温电池为所述的控制电路、微波接收器、电机提供电源，所述的高温电池处固定在所述的基片平面夹具上方。
2.根据权利要求1所述的微波遥控镀膜挡板装置，其特征在于所述的通孔(1-1)的上端的直径较大，下端的直径较小，上端和下端的连接处形成一个平台，所述的玻璃基片的四周边缘平行地落在平台上，而不掉下。
3.根据权利要求1或2所述的微波遥控镀膜挡板装置，其特征在于所述的微波接收器(4)、耐高温电池(5)、控制电路(6)和电机(7)分散地或集成地置于所述的基片平面夹具上。`
【文档编号】C23C14/54GK103726018SQ201310545333
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2013年11月6日 优先权日:2013年11月6日
【发明者】于振坤, 单海洋, 孔钒宇, 孙建, 孙卫, 齐红基, 徐学科, 贺洪波, 易葵 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所