导电玻璃超低温循环镀膜装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种导电玻璃超低温循环镀膜装置，包括镀膜单元，所述镀膜单元至少为首尾相连的两个，镀膜单元包括垂直设置的冷却水槽、贴合设置在冷却水槽侧面的永磁铁，与永磁铁正面相对设置有铜质的靶材基座，朝向永磁铁的靶材基座内表面设有与永磁铁位置对应的靶材，待镀膜的导电玻璃位于永磁铁与靶材之间，靶材基座外表面设有回旋布置的电加热管，所述电加热管连接有用于控制镀膜温度的温控系统。本实用新型通过设置至少两个首尾相连的镀膜单元，且控制每个镀膜单元的镀膜温度在160℃左右，实现了导电玻璃镀膜时低温一次性连续多次镀膜，使得镀膜后的膜层厚度达到设计要求，有效地提高和稳定了镀膜膜层的均匀性。
【专利说明】导电玻璃超低温循环镀膜装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种导电玻璃超低温循环镀膜装置。
【背景技术】
[0002]真空磁溅射镀膜技术，目前已经广泛应用于导电玻璃的表面镀膜，该技术对温度要求比较高，一般要达到膜层厚度和膜层阻值要求，镀膜温度应该保持在230°C左右，但是在此温度下镀膜很容易造成镀膜均匀性差，镀膜后的膜层受到一定的氧化等因素困扰而影响质量，而如果一次性采用较低温度(160°C左右)下镀膜，又会造成膜层厚度偏低，使得导电玻璃的方块电阻值高达800 Ω左右，大大高于常规高透过率触摸屏用导电玻璃方块电阻值250Ω左右的要求。
实用新型内容
[0003]本实用新型要解决的技术问题是:克服现有技术中之不足，提供一种导电玻璃超低温循环镀膜装置。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种导电玻璃超低温循环镀膜装置，包括镀膜单元，所述镀膜单元至少为相连的两个，镀膜单元包括垂直设置的冷却水槽、贴合设置在冷却水槽侧面的永磁铁，与永磁铁正面相对设置有铜质的靶材基座，朝向永磁铁的靶材基座内表面设有与永磁铁位置对应的靶材，待镀膜的导电玻璃位于永磁铁与靶材之间，靶材基座外表面设有回旋布置的电加热管，所述电加热管连接有用于控制镀膜温度的温控系统。
[0005]所述的镀膜单元为依次首尾相连的三个。
[0006]所述的永磁铁为相距设置的两个，所述永磁铁滑动设置在冷却水槽侧面,相应地，靶材数量为两个。
[0007]本实用新型的有益效果是:本实用新型通过设置至少两个首尾相连的镀膜单元，且控制每个镀膜单元的镀膜温度在160°C左右，实现了导电玻璃镀膜时低温一次性连续多次镀膜，使得镀膜后的膜层厚度达到设计要求，有效地提高和稳定了镀膜膜层的均匀性。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。
[0009]图1是本实用新型所述镀膜单元的结构示意图。
[0010]图中1.冷却水槽2.永磁铁3.靶材基座4.靶材5.电加热管6.温控系统7.导电玻璃
【具体实施方式】
[0011]现在结合附图对本实用新型作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。[0012]一种导电玻璃超低温循环镀膜装置，包括三个依次首尾相连的镀膜单元，如图1所示，所述镀膜单元包括垂直设置的冷却水槽1、贴合设置在冷却水槽I侧面的两块永磁铁2，两块永磁铁2相距设置，与永磁铁2正面相对设置有铜质的靶材基座3，朝向永磁铁2的靶材基座3内表面设有与永磁铁2位置对应、数量为两个的靶材4，待镀膜的导电玻璃7位于永磁铁2与靶材4之间，并作缓缓移动，位于靶材基座3外表面设有呈回旋状布置的电加热管5，所述电加热管5连接有用于控制镀膜温度的温控系统6，通过温控系统6控制，确保了导电玻璃7的镀膜温度控制在160°C左右。
[0013]所述永磁铁2通过滑轨滑动设置在冷却水槽I侧面，通过移动永磁铁2位置，可均匀地耗用靶材4的各个部分，充分发挥靶材4的最大使用效率，降低成本，确保靶材4消耗的均匀性。
[0014]试验证明，ITO镀膜膜层厚度与ITO自身温度在160°C?235°C之间时，近似线性关系，ITO镀膜膜层氧化程度与ITO自身温度在160°C?235°C之间时，近似线性关系，而ITO镀膜均匀性会随着镀膜时ITO自身温度的升高变得越来越差，因此为追求镀膜膜层的均匀性，行业内更多地采用低温镀膜技术，但单一的一次性低温镀膜，并非理想的方案，本实用新型通过设置三个依次首尾相连的镀膜单元，且控制每个镀膜单元的镀膜温度在160°C左右，实现了导电玻璃7镀膜时低温一次性连续多次镀膜，使得镀膜后的膜层厚度达到设计要求，有效地提高和稳定了镀膜膜层的均匀性。
[0015]上述实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.一种导电玻璃超低温循环镀膜装置，包括镀膜单元，其特征是:所述镀膜单元至少为相连的两个，镀膜单元包括垂直设置的冷却水槽(I )、贴合设置在冷却水槽(I)侧面的永磁铁(2)，与永磁铁(2)正面相对设置有铜质的靶材基座(3)，朝向永磁铁(2)的靶材基座(3)内表面设有与永磁铁(2)位置对应的靶材(4)，待镀膜的导电玻璃(7)位于永磁铁(2)与靶材(4)之间，靶材基座(3)外表面设有回旋布置的电加热管(5)，所述电加热管(5)连接有用于控制镀膜温度的温控系统(6 )。
2.根据权利要求1所述的导电玻璃超低温循环镀膜装置，其特征是:所述的镀膜单元为依次首尾相连的三个。
3.根据权利要求2所述的导电玻璃超低温循环镀膜装置，其特征是:所述的永磁铁(2)为相距设置的两个，所述永磁铁(2)滑动设置在冷却水槽(I)侧面，相应地，靶材(4)数量为两个。
【文档编号】C23C14/35GK203419980SQ201320510906
【公开日】2014年2月5日 申请日期:2013年8月20日 优先权日:2013年8月20日
【发明者】冯新伟 申请人:江苏津通先锋光电显示技术有限公司