一种轨道导向电极的制作方法

文档序号:3333852阅读:171来源:国知局
一种轨道导向电极的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种轨道导向电极,所述正极铜轴下端设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电极墙板固定在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线导轨安装在电极导向板的上端,所述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片固定在正极铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上。本实用新型将直线导轨与蒸发电极连接一起,确保电极运行的运动轨迹,安装有绝缘胶木套,避免了蒸发箱与正电极的接触,并通过紧固装置,完全确保电极的直线性往复运动,提高了电极的稳定性。从而很大程度的提高运动的可靠性,使用寿命长。
【专利说明】一种轨道导向电极

【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及镀铝机蒸发领域,尤其是一种轨道导向电极。

【背景技术】
[0002] 在真空铝膜机的应用中,镀铝机蒸发箱中间的坩埚(氮化硼)装夹一直是个大问 题,因为在镀铝过程中,坩埚必须保持固定位置不变,而在镀铝完成后需要对之进行拆卸清 理,国内的镀铝机通常在正极铜轴上装配弹簧,在此处安装弹簧,从效果上讲,作用上已经 达到,但是考虑到弹簧的线性运动不是很精确,偶尔发生故障是弹簧不但发生轴向的移动, 还发生细微的径向移动,此移动导致电极的导电性能下降。而且目前国内不做导向结构,设 备使用寿命短,出现问题时要进行花费巨大的维修,造成资源的浪费,成本提高。为解决这 些问题,特提出一种轨道导向电极。


【发明内容】

[0003] 针对上述问题,本实用新型旨在提供一种电极的稳定性高,使用寿命长的轨道导 向电极。
[0004] 为实现该技术目的,本实用新型的方案是:
[0005] -种轨道导向电极,包括正极铜轴、固体板、正电极墙板、正极铜轴固定板、绝缘胶 木套、直线导轨、电极导向板、弹性装置、正极挡热片、坩埚和负极铜轴,所述正极铜轴下端 设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电极墙板固定 在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线导轨安装在 电极导向板的上端,所述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片固定在正极 铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上。
[0006] 作为优选,所述坩埚为氮化硼。
[0007] 作为优选,所述直线导轨安装在蒸发箱底部上。
[0008] 本实用新型将直线导轨与蒸发电极连接一起,确保电极运行的运动轨迹,安装有 绝缘胶木套,避免了蒸发箱与正电极的接触,并通过紧固装置,完全确保电极的直线性往复 运动,提高了电极的稳定性。从而很大程度的提高运动的可靠性,使用寿命长。

【专利附图】

【附图说明】 [0009]
[0010] 图1为本实用新型的结构示意图。

【具体实施方式】
[0011] 下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。
[0012] 如图1所示,本实用新型实施例的一种轨道导向电极,包括正极铜轴1、固体板2、 正电极墙板3、正极铜轴固定板4、绝缘胶木套5、直线导轨6、电极导向板7、弹性装置8、正 极挡热片9、坩埚10和负极铜轴11,所述正极铜轴1下端设有固体板2和正极铜轴固定板 4,所述固体板2与正极铜轴固定板4连接,所述正电极墙板3固定在正极铜轴1的下端,所 述绝缘胶木套5设置在正极铜轴固定板4的下端,所述直线导轨6安装在电极导向板7的 上端,所述弹性装置8连接在电极导向板7的一端,所述正极挡热片9固定在正极铜轴1的 一端,所述坩埚10 -端连接在负极铜轴11上。
[0013] 作为优选,所述坩埚10为氮化硼。
[0014] 作为优选,所述直线导轨6安装在蒸发箱底部上。
[0015] 本实用新型的工作原理为在蒸发箱底部装上直线导轨6,通过装配丝杆和弹簧的 弹性装置8,实现电极导向板7的左右来回的直线运动,装上绝缘胶木套5,避免蒸发箱与正 电极的接触,最后通过固体板2和正极铜轴固定板4的紧固装置,完全确保正极铜轴1的直 线性往复运动,提高电极的稳定性。
[0016] 以上所述,仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡是依据本 实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进,均应包含在本 实用新型技术方案的保护范围之内。
【权利要求】
1. 一种轨道导向电极,其特征在于:包括正极铜轴、固体板、正电极墙板、正极铜轴固 定板、绝缘胶木套、直线导轨、电极导向板、弹性装置、正极挡热片、坩埚和负极铜轴,所述正 极铜轴下端设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电 极墙板固定在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线 导轨安装在电极导向板的上端,所述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片 固定在正极铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上。
2. 根据权利要求1所述的一种轨道导向电极,其特征在于:所述坩埚为氮化硼。
3. 根据权利要求1所述的一种轨道导向电极,其特征在于:所述直线导轨安装在蒸发 箱底部上。
【文档编号】C23C14/26GK203999788SQ201420425155
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年7月31日 优先权日:2014年7月31日
【发明者】陈生贩, 江裕捺, 陈生镇, 田晓东 申请人:上海宝镀真空设备科技有限公司
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