1.一种应用于薄膜沉积设备中的动密封顶升结构,其特征在于,所述动密封顶升结构包括固定装置和驱动装置,所述固定装置包括直线轴承座和连接基座,直线轴承座与反应腔体固定连接,所述驱动装置包括支撑导杆、支撑导杆连接件和驱动部件,所述支撑导杆插入直线轴承座内,所述驱动部件与所述连接基座进行连接,连接基座与所述直线轴承座进行连接,所述支撑导杆与支撑导杆连接件进行连接;
将动密封胶圈安装在直线轴承座的胶圈槽内,密封胶圈安装在直线轴承基座的胶圈槽内。
2.根据权利要求1所述的一种应用于薄膜沉积设备中的动密封顶升结构,其特征在于,所述驱动部件运动时,所述支撑导杆连接件带动支撑导杆进行升降的周期性运动。