技术特征：
技术总结
本公开内容的实施方式包括用于控制钛‑钨(TiW)靶材小结形成的方法和设备。在一些实施方式中，靶材包括：源材料，所述源材料主要地包括钛(Ti)和钨(W)，所述源材料由钛粉末和钨粉末的混合物形成，其中主要数量的钛粉末的晶粒尺寸小于或等于主要数量的钨粉末的晶粒尺寸。
技术研发人员：魏俊琪;曹志涛;欧岳生;阿南塔克里希纳·朱普迪;希兰库玛·萨万戴亚;王欣;斯里斯卡塔拉贾赫·西里纳瓦卡拉苏
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2015.10.22
技术公布日：2017.08.29