加热装置的制作方法

本发明涉及有机材料蒸镀技术领域，具体而言，涉及一种加热装置。

背景技术：

目前，现有技术中对有机膜料进行蒸发镀膜时，是通过电阻加热装置对有机膜料进行加热蒸发。现有技术中在通过电阻加热装置进行加热时，其加热温度控制精度低，并且有机膜料受热不均匀，如此会导致蒸发速率不稳定，进而导致镀膜效果差，影响镀膜质量。

技术实现要素：

本发明提供一种加热装置，以解决现有技术中温度控制精度低、有机膜料受热不均匀的问题。

根据本发明提供的一种加热装置，用于蒸发有机膜料，加热装置包括第一坩埚，第一坩埚用于盛放有机膜料；第二坩埚，第二坩埚用于承载第一坩埚；电子束加热器，电子束加热器用于向第二坩埚发射均匀的电子束并对第二坩埚进行加热，第二坩埚用于向第一坩埚导热。

进一步地，第一坩埚为圆柱体。

进一步地，第一坩埚包括锅体；盖体，盖体可拆卸地设置在锅体上，盖体上设置有多个通孔。

进一步地，多个通孔在盖体上的分布密度由中心向四周逐渐变大。

进一步地，电子束加热器为电子枪。

进一步地，电子束加热器设置在第二坩埚的上方。

进一步地，电子束加热器对第二坩埚加热时的加热轨迹为圆环形。

进一步地，圆环形加热轨迹位于第一坩埚的外侧。

进一步地，第一坩埚内放有金属颗粒。

进一步地，加热装置还包括掩板，掩板用于遮盖第一坩埚或第二坩埚。

应用本发明的技术方案，通过电子束加热器对第二坩埚进行加热，能够对电子束加热器的加热温度进行精确控制，通过第二坩埚对第一坩埚导热，使第一坩埚加热均匀，进而能够使第一坩埚内的有机膜料均匀蒸发，如此可提高镀膜质量。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本发明实施例提供的加热装置的结构示意图；

图2示出了根据本发明实施例提供的掩板的结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、第一坩埚；11、锅体；12、盖体；13、通孔；20、第二坩埚；30、掩板；a、加热轨迹。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。

如图1和图2所示，在本发明实施例中，提供了一种加热装置，用于蒸发有机膜料，加热装置包括第一坩埚10、电子束加热器以及第二坩埚20。其中，为了避免在利用电子束对第一坩埚10进行加热时，温度过高使有机膜料分解。在本实施例中，该加热装置还包括第二坩埚20，第二坩埚20用于承载第一坩埚10，电子束加热器先对第二坩埚20进行加热，第二坩埚20加热后将热量传递至第一坩埚10，以对第一坩埚10进行加热。电子束加热器用于向第二坩埚20发射均匀的电子束并对第二坩埚20进行加热，第二坩埚20通过导热将热量传递至第一坩埚10。如此便于电子束对有机膜料进行加热，并能够使有机膜料加热均匀。在对有机膜料进行蒸发加热时，通过电子束加热器均匀、持续地对第二坩埚20加热，第二坩埚20将热量均匀传递至第一坩埚10后，第一坩埚10对盛放在第一坩埚10内的有机膜料进行加热，当有机膜料加热至预设温度后开始蒸发，以进行后续镀膜工序。其中，第一坩埚10可以为敞口坩埚或带有盖体的坩埚，第二坩埚20为敞口坩埚或设置为不带侧壁的盘式坩埚，如此便于承载第一坩埚10以及对第二坩埚20进行加热。

应用本发明的技术方案，通过电子束加热器对第二坩埚20进行加热，能够对电子束加热器的加热温度进行精确控制，通过第二坩埚20对第一坩埚10导热，使第一坩埚10加热均匀，进而能够使第一坩埚10内的有机膜料均匀蒸发，如此可提高镀膜质量。

其中，电子束加热器通过电子束轰击第二坩埚20的底面以对第二坩埚20进行加热。为了使第二坩埚20加热均匀，可选地，将电子束加热器对第二坩埚20加热时的加热轨迹设置为圆环形。

在本实施例中，该第一坩埚10为壳体结构，且该壳体结构的上端设置有多个通孔13，以使有机膜料蒸发的蒸发束流从多个通孔13中流出。其中，第一坩埚10可以为一体结构，也可以是可拆装的结构，只要能满足盛放有机膜料，并使有机膜料蒸发的蒸发束流从通孔13内 流出即可。通过设置多个通孔13，可以控制蒸发束流的流速和密度，并能通过通孔13控制蒸发束流的流动方向。具体地，可通过调节通孔13的数量、孔径大小、以及通孔13的排布方式来对蒸发束流进行控制，从而能够按照镀膜要求控制蒸发束流，以获取所需的膜层。

具体地，该第一坩埚10为圆柱体，如此可便于对有机膜料进行加热，使有机膜料加热更加均匀。

可选地，该第一坩埚10为可拆分结构，以便于有机膜料的添加，具体地，该第一坩埚10包括锅体11和盖体12。其中，盖体12可拆卸地设置在锅体11上，且盖体12上设置有多个通孔13。盖体12盖在锅体11上时，第一坩埚10整体形成圆柱体结构。

可选地，在本实施例中，多个通孔13在盖体12上的分布密度由中心向四周逐渐变大，以进一步提升蒸发镀膜的均匀性。

可选地，该电子束加热器为电子枪。

可选地，电子束加热器设置在第二坩埚20的上方，为了提供加热效率，电子束加热器的加热轨迹与第一坩埚10的底面同心，且加热轨迹的直径大于第一坩埚10的直径。具体地，加热轨迹直径与第一坩埚10的直径之差在2mm至15mm内。

可选地，第二坩埚20为敞口坩埚，以避免对蒸发流束进行干扰。且为了使第一坩埚10固定在第二坩埚20内，将第一坩埚10嵌套在第二坩埚20内。

为了保证有机膜料整体温度的均匀性，在第一坩埚10内放入具有高熔点、化学性质稳定的金属颗粒，并使其与有机膜料混合均匀。由于金属的导热性能较好，金属颗粒能够在加热过程中快速进行温度传递，使第一坩埚10内的膜料整体温度趋于均匀一致。

其中，在本发明实施例中，该加热装置还包括掩板30，通过掩板30遮盖第一坩埚10或第二坩埚20，具体地，该掩板30遮盖在第二坩埚20上，如此可方便操作。

在对有机膜料进行加热时，膜料在预融期间，将掩板30遮盖在第二坩埚20上，以避免在蒸发初期由于蒸发速率不稳定导致膜层质量差、表面杂质沉积多的现象发生。当有机膜料完全加热后，再打开掩板30进行镀膜。可选地，掩板30上还设置有把手，以便于工作人员对掩板30进行操作。

通过本发明提供的加热装置对有机膜料进行加热，提高了坩埚内有机膜料加热温度控制的准确性与均匀性。同时，使用顶端有小孔的坩埚来盛放膜料，能够对蒸发束流进行控制，使得蒸发束流从小孔中流出，以获得束流方向好以及蒸发速率可控的蒸发束流，进而能够提高镀膜质量。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。