一种铝合金碱性研磨液的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本发明属于材料技术领域，具体涉及一种铝合金碱性研磨液。
【背景技术】
[0002] 目前铝合金已成为3C产品最主要外壳材料之一，它具备强度高、导热性好、易加工 成型及电磁屏蔽等优点，可以满足3C产品发展要求。虽然铝合金作为外壳材料能源消耗较 大，但其造成的环境污染及材料再回收利用等方面均优于塑料外壳。特别是近年来，铝合金 材料已大量应用于手机外壳。
[0003] 铝合金外壳要获得超光滑无损伤的表面，通常采用化学机械抛光(CMP)的方法，即 化学作用与机械作用相结合的方法。CMP研磨液可分为酸性、碱性两种。目前工业生产中，多 采用酸性研磨液，但酸性研磨液易造成环境污染，且研磨后清洗困难，还会腐蚀设备，所以 碱性研磨液是目前发展的一大趋势。本发明采用有机碱调节pH值，不但能够防止由于无机 碱调节带来的金属离子污染，而且它还可以与金属离子发生络合反应生成大分子量的胺 盐，随着机械作用脱离铝合金表面，从而增强去除速率。而现有的碱性研磨液中往往需要加 入氧化剂来提高去除速率，而在碱性条件下，常用的氧化剂(双氧水)极不稳定，易分解，导 致研磨液品质下降。本产品无需添加氧化剂，采用普通螯合剂与有机膦酸复配，其中有机膦 酸不但对金属离子有着优异的螯合能力，同时它也是一种缓蚀剂，在增加去除速率的同时 又保证了金属的表面质量，而且复配使用时可表现出理想的协同作用。
[0004] 铝合金外壳超精密加工一般采用两步或多步，即研磨-抛光-精抛。本发明适用于 研磨工序，研磨主要是为了去除铝合金表面的较深的刀纹和表面缺陷。
【发明内容】
[0005] 本发明所要解决的技术问题在于，提供一种铝合金表面加工专用碱性研磨液，以 解决现有技术中存在的不足，如磨削力不够、表面质量差(损伤、化学腐蚀、划痕）、环境污染 严重等缺点。
[0006] 本发明解决上述技术问题的技术方案为：提供一种铝合金碱性研磨液，所述研磨 液为水悬浮液，包括如下质量百分比的组分：
[0008] 本发明中所述氧化铝粉颗粒大小为4~6μπι。
[0009] 本发明中所述螯合剂为柠檬酸、酒石酸、丁二酸、乙二胺四乙酸、葡萄糖酸、甘氨 酸，羟乙基乙二胺三乙酸其中一种。螯合剂能与配位金属离子形成环状结构，金属离子取代 配位原子上的氢(或钠)而进入螯合环中，形成络合物，络合后中心金属离子即失去其原有 游离金属离子性质，在机械作用下，进入研磨液中，随着研磨液的流动离开金属表面，达到 去除的效果。
[0010] 本发明中所述金属缓蚀剂为六次甲基四胺、硅酸钠、苯并三氮唑、偏硅酸钠、硫脲、 钼酸钠、钨酸钠、十二烷基硫酸钠、硝酸钠其中至少一种。缓蚀剂主要作用是减缓有机碱对 铝合金表面的腐蚀(防止过度腐蚀），同时还可以保持铝合金原有的物理机械性能。
[0011] 本发明中所述分散剂为十二烷基苯磺酸钠、十二烷基硫酸钠、辛基酚聚氧乙烯醚、 六偏磷酸钠、聚丙烯酸铵、三聚磷酸钠等其中至少一种。分散剂可以促进氧化铝颗粒均匀分 散于去离子水中，形成稳定悬浮液，防止磨料团聚。而且有些分散剂在研磨的过程中，可以 在金属表面形成一层薄膜，有效的"隔离"了磨料与工件的直接接触，便于后阶段清洗。
[0012] 本发明中所述润滑剂为甘油、聚乙二醇400及吐温-80其中一种。润滑剂主要是防 止在研磨过程中机械作用过大，工件出现损伤。可与分散剂复配使用，效果更佳。
[0013] 本发明中所述有机碱调节剂为乙醇胺、三乙醇胺、乙二胺、羟乙基乙二胺、四甲基 氢氧化铵其中一种，研磨液pH值为8.5-10。采用有机碱调节pH值，不但能够防止由无机碱调 节带来的金属离子污染，还能与金属离子发生络合反应生成大分子量的胺盐，随着机械作 用脱离铝合金表面，从而增强研磨速率。
[0014] 本发明中所述研磨助剂为乙二胺四亚甲基膦酸、乙二胺四亚甲基膦酸钠、羟基乙 叉二膦酸、羟基乙叉二膦酸二钠、氨基三亚甲基膦酸、氨基三亚甲基膦酸四钠其中一种。采 用有机磷酸及其盐类作为螯合剂辅助剂有以下优点：第一，它能与多种金属离子形成稳定 的络合物，可以溶解金属表面的氧化物;第二，它具有一定的悬浮分散能力，有助于氧化铝 颗粒更好的分散于去离子水中，第三，它同时也是一种缓蚀剂，可以保护金属表面;第四，与 其他螯合剂复配使用时，表现出理想的协同效应;第五，稳定性好，不易水解，易生物降解。
【具体实施方式】
[0015] 下面将结合实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0016]在本发明提供的较佳实施例中，铝合金碱性盖板研磨液为水悬浮液，包括如下质 量百分比的组分：
[0018] 在本发明提供的另一较佳实施例中，所述研磨液具有上述质量百分比的组分，特 别的是所述氧化铝颗粒的尺寸为4~6微米。另外，所述氧化铝优选的质量百分比为10~ 20% 〇
[0019] 在本发明提供的另一较佳实施例中，所述螯合剂为柠檬酸、酒石酸、丁二酸、乙二 胺四乙酸、葡萄糖酸、甘氨酸，羟乙基乙二胺三乙酸其中一种。所述螯合剂优选的质量百分 比为0.5~1.5%。
[0020] 在本发明提供的另一较佳实施例中，所述金属缓蚀剂为六次甲基四胺、硅酸钠、苯 并三氮唑、偏硅酸钠、硫脲、钼酸钠、钨酸钠、十二烷基硫酸钠、硝酸钠其中至少一种。所述金 属缓蚀剂优选的质量百分比为〇. 1~0.5%。
[0021] 在本发明提供的另一较佳实施例中，所述分散剂为十二烷基苯磺酸钠、十二烷基 硫酸钠、辛基酚聚氧乙烯醚、六偏磷酸钠、聚丙烯酸铵、三聚磷酸钠等其中至少一种。所述分 散剂优选的质量百分比为〇. 01 %~〇. 2%。
[0022]在本发明提供的另一较佳实施例中，所述润滑剂为甘油，聚乙二醇400及吐温-80 其中一种。所述润滑剂优选的质量百分比为0.5~1%。
[0023]在本发明提供的另一较佳实施例中，所述研磨助剂为乙二胺四亚甲基膦酸、乙二 胺四亚甲基膦酸钠、羟基乙叉二膦酸、羟基乙叉二膦酸二钠、氨基三亚甲基膦酸、氨基三亚 甲基膦酸四钠其中一种。所述研磨助剂优选的质量百分比为0.1~0.5%。
[0024]在本发明提供的另一较佳实施例中，所述有机碱调节剂为乙醇胺、三乙醇胺、乙二 胺、羟乙基乙二胺、四甲基氢氧化铵其中一种，优先pH值为8.5~9.5。
[0025] 研磨组合物还可以含有下述物质作为其他添加剂组分:增稠剂，例如黄原胶、硅酸 镁铝、瓜尔胶、海藻酸钠;防腐剂，例如卡松、苯甲酸钠、山梨酸钾；消泡剂，例如聚醚或甲基 硅油。这些其他添加组分的含量可以根据抛研磨组合物所用的通常方法来确定。
[0026] 实施例1-6
[0027] 在机械搅拌作用下，将氧化铝粉加入至去离子水中分散，然后依次加入螯合剂、金 属缓蚀剂、分散剂、润滑剂、研磨助剂，并使用有机碱调节pH值，其中具体配比见表1。
[0028] 表1.实施例1-6中各组分配比
[0029]
[0030] 研磨对比试验：
[0031 ]使用本发明实施例1-6的铝合金研磨液、对比例1 -2 (市售研磨液），对铝合金外壳 进行机化学机械研磨。研磨工艺:压力8.5kg/片，流量60mL/min，转速30rpm，时间6min。研磨 评价标准：
[0032] (1)去除速率
[0033]研磨完成后，用清洗剂对铝合金外壳进行超声清洗和干燥，然后检测铝合金的表 面质量与研磨速率。用电子千分尺和精密天平测量研磨前后的厚度差与质量差，综合评价 去除速率；
[0034] (2)研磨后表面质量
[0035]采用目测法，检测研磨后的铝合金外壳表面质量，评价标准如下：
[0036] 1级，表面有明显划痕、化学腐蚀、上道工序留下刀纹等；
[0037] 2级，表面有轻微划痕，不影响下道工序进行；
[0038] 3级，表面光滑，完好。
[0039]试验结果如表2所示：
[0040]表2.实施例及对比例的实验结果
[0042]显然，上面描述的仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明 中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施 例，都属于本发明保护的范围。
【主权项】
1. 铝合金碱性研磨液，其特征在于，所述研磨液为水悬浮液，包括如下质量百分比的组 分： 氧化铝 5~25% 螯合剂 0.25~2% 金属缓蚀剂 0. 1~1% 分散剂 o...m~0. 5%. 润滑剂 0,05~2% 研.磨助剂 0,卜.1% 有机碱调节剂 余量为去离子水。.2. 根据权利要求1所述的铝合金碱性研磨液，其特征在于，所述氧化铝粉颗粒大小为4 ~6um〇3. 根据权利要求1所述的铝合金碱性研磨液，其特征在于，所述螯合剂为柠檬酸、酒石 酸、丁二酸、乙二胺四乙酸(EDTA)、葡萄糖酸、甘氨酸，羟乙基乙二胺三乙酸(HEDTA)其中一 种。4. 根据权利要求1所述的铝合金碱性研磨液，其特征在于，所述金属缓蚀剂为六次甲基 四胺、硅酸钠、苯并三氮唑(BTA)、偏硅酸钠、硫脲、钼酸钠、钨酸钠、十二烷基硫酸钠（SDS)、 硝酸钠其中至少一种。5. 根据权利要求1所述的铝合金碱性研磨液，其特征在于，所述分散剂为十二烷基苯磺 酸钠(SDBS)、十二烷基硫酸钠(SDS)、辛基酚聚氧乙烯醚(X-100)、六偏磷酸钠(SHMP)、聚丙 烯酸铵(PAA-NH4)、三聚磷酸钠等其中至少一种。6. 根据权利要求1所述的铝合金碱性研磨液，其特征在于，所述润滑剂为丙三醇（甘 油），聚乙二醇400及聚氧乙烯脱水山梨醇单油酸酯（吐温-80)其中一种。7. 根据权利要求1所述的铝合金碱性研磨液，其特征在于，所述研磨助剂为乙二胺四亚 甲基膦酸(EDTMP)、乙二胺四亚甲基膦酸钠 (EDTMPS)、羟基乙叉二膦酸(HEDP)、羟基乙叉二 膦酸二钠 (HEDP · 2Na)、氨基三亚甲基膦酸(ATMP)、氨基三亚甲基膦酸四钠 (ATMP · 4Na)其 中一种。8. 根据权利要求1所述的铝合金碱性研磨液，其特征在于，所述有机碱调节剂为乙醇 胺、三乙醇胺、乙二胺、羟乙基乙二胺、四甲基氢氧化铵其中一种。9. 根据权利要求1所述的铝合金碱性研磨液，其特征在于，所述研磨液pH值为8.5~10。
【专利摘要】本发明涉及一种铝合金碱性研磨液，其中研磨液为水悬浮液，包括如下质量百分比的组分：氧化铝5～25％；螯合剂0.25～2％；金属缓蚀剂0.1～1％；分散剂0.01～0.5％；润滑剂0.05～2％；研磨助剂0.1～1％；有机碱调节剂，其pH值为8.5?10；余量为去离子水。本发明采用有机膦酸及其钠盐作为研磨助剂，它与普通螯合剂复配使用时，可表现理想的协同效果，同时它也可以作为缓蚀剂，在增强研磨速率的同时又保证了铝合金的表面质量。本发明的研磨组合物，特别适用于铝合金外壳的研磨，它具备切削力大、研磨后表面质量好、平整度高、易清洗等优点。
【IPC分类】C09K3/14, B24B37/00, C09G1/02, H01L21/304
【公开号】CN105710760
【申请号】CN201610257378
【发明人】熊伟, 熊庆玉
【申请人】衡阳市宏达威环保科技有限公司