一种草绿色双银低辐射节能窗膜及其制备方法与流程

文档序号:12251430阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种草绿色双银低辐射节能窗膜,在阳光下呈草绿色,其特征在于,所述窗膜的膜层结构由内向外依次为:

柔性透明PET基材层(1),厚度为23微米~50微米,其可见光透光率≥89%,雾度≤1.5;

第一高折射率层(2),厚度为33nm~35nm,折射率为2.36,所述第一高折射率层(2)由Nb2O5构成;

第一金属氧化物层(3),厚度为3nm~6nm,所述第一金属氧化物层(3)由ZnO:Al构成;

第一银合金层(4),厚度为9nm~11nm,所述第一银合金层(4)由96%的Ag,4%的Cu构成;

第一阻隔层(5),厚度为0.5nm~0.8nm,所述第一阻隔层(5)由Ti构成;

第二高折射率层(6),厚度为66nm~70nm,折射率为2.36,所述第二高折射率层(6)由Nb2O5构成;

第二金属氧化物层(7),厚度为6nm~8nm,所述第二金属氧化物层(7)由ZnO:Al构成;

第二银合金层(8),厚度为14.5nm~16.5nm,所述第二银合金层(8)由98%的Ag,2%的Pd构成;

第二阻隔层(9),厚度为0.7nm~1nm,所述第二阻隔层(9)由Ti构成;

第三高折射率层(10),厚度为29nm~32nm,折射率为2.36,所述第三高折射率层(10)由Nb2O5构成。

2.根据权利要求1所述的草绿色双银低辐射节能窗膜,其特征在于,所述第一金属氧化物层(3)的厚度小于等于所述第一银合金层(4)的厚度的2/3;所述第二金属氧化物层(7)的厚度小于等于所述第二银合金层(8)的厚度的2/3。

3.根据权利要求1所述的草绿色双银低辐射节能窗膜,其特征在于,所述第一阻隔层(5)的厚度小于等于所述第一银合金层(4)的厚度的1/5;所述第二阻隔层(9)的厚度小于等于所述第二银合金层(8)的厚度的1/5。

4.根据权利要求1所述的草绿色双银低辐射节能窗膜,其特征在于,所述柔性透明PET基材层(1)的厚度为23微米;所述第一高折射率层(2)的厚度为34nm;所述第一金属氧化物层(3)的厚度为5nm;所述第一银合金层(4)的厚度为10nm;所述第一阻隔层(5)的厚度为0.6nm;所述第二高折射率层(6)的厚度为68nm;所述第二金属氧化物层(7)的厚度为7nm;所述第二银合金层(8)厚度为14.7nm;所述第二阻隔层(9)的厚度为0.9nm;所述第三高折射率层(10)的厚度为30nm。

5.根据权利要求4所述的草绿色双银低辐射节能窗膜,其特征在于,所述草绿色双银低辐射节能窗膜在可见光范围的透光率为74.3%、在波长为780nm~2500nm的红外光范围的透光率为9.3%、在波长为950nm波长处的红外阻隔率为82.5%、在波长为1400nm波长处的红外阻隔率为95%。

6.一种根据权利要求1~5中任一项所述的草绿色双银低辐射节能窗膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

(1)提供柔性透明PET膜作为所述柔性透明PET基材层(1);

(2)通过双旋转阴极、中频反应磁控溅射的方式在所述柔性透明PET基材层(1)上沉积所述第一高折射率层(2);

(3)通过单旋转阴极、直流反应磁控溅射的方式在所述第一高折射率层(2)上沉积所述第一金属氧化物层(3);

(4)通过单平面阴极、直流反应磁控溅射的方式在所述第一金属氧化物层(3)上沉积所述第一银合金层(4);

(5)通过单平面阴极、直流反应磁控溅射的方式在所述第一银合金层(4)上沉积所述第一阻隔层(5);

(6)通过双旋转阴极、中频反应磁控溅射的方式在所述第一阻隔层(5)上沉积所述第二高折射率层(6);

(7)通过单旋转阴极、直流反应磁控溅射的方式在所述第二高折射率层(6)上沉积所述第二金属氧化物层(7);

(8)通过单平面阴极、直流反应磁控溅射的方式在所述第二金属氧化物层(7)上沉积所述第二银合金层(8);

(9)通过单平面阴极、直流反应磁控溅射的方式在所述第二银合金层(8)上沉积所述第二阻隔层(9);

(10)通过双旋转阴极、中频反应磁控溅射的方式在所述第二阻隔层(9)上沉积所述第三高折射率层(10)。

7.根据权利要求6所述的草绿色双银低辐射节能窗膜的制备方法,其特征在于,在磁控溅射沉积镀膜时,所有腔室内的温度分别恒定在-15℃~15℃。

8.根据权利要求6所述的草绿色双银低辐射节能窗膜的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)、步骤(3)、步骤(6)、步骤(7)、步骤(10)均包括:相应腔室中通入体积比为10:1~100:1的氩气和氧气的混合气体,设定溅射真空度10-6Torr,镀膜稳定气压为10-3Torr;双旋转阴极、中频反应磁控溅射功率为20Kw~50Kw;单旋转阴极、直流反应磁控溅射功率为2Kw~5Kw。

9.根据权利要求6所述的草绿色双银低辐射节能窗膜的制备方法,其特征在于,所述步骤(4)、步骤(5)、步骤(8)、步骤(9)均包括:相应腔室中通入纯度不小于99.99%的氩气,设定溅射真空度10-6Torr,镀膜稳定气压为10-3Torr;单平面阴极、直流反应磁控溅射功率为0.5Kw~8Kw。

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