1.一种铂镍合金溅射靶材,其特征在于:包括铂60-80%和镍20-40%,所述百分比为质量百分比,铂和镍的质量含量之和为100%。
2.如权利要求1所述的铂镍合金溅射靶材,其特征在于:包括铂60%和镍40%,所述百分比为质量百分比。
3.如权利要求1所述的铂镍合金溅射靶材,其特征在于:包括铂70%和镍30%,所述百分比为质量百分比。
4.如权利要求1所述的铂镍合金溅射靶材,其特征在于:包括铂80%和镍20%,所述百分比为质量百分比。
5.如权利要求1-4任意一项所述的铂镍合金溅射靶材,其特征在于:铂的纯度为99.99%以上,所述百分比为质量百分比。
6.如权利要求1-4任意一项所述的铂镍合金溅射靶材,其特征在于:镍的纯度为99.9%以上,所述百分比为质量百分比。
7.权利要求1-6任意一项所述的铂镍合金溅射靶材的制备方法,其特征在于:依次包括清洗、铸态、均匀化退火和温轧。
8.如权利要求7所述的方法,其特征在于:清洗为分别将镍片和铂片进行如下操作:线切割、除油、酸洗,然后在超声波清洗器中依次用丙酮、乙醇和去离子水各清洗5±2min,最后烘干备用。
9.如权利要求7或8所述的方法,其特征在于:铸态为将清洗后的镍和铂按配比装入坩埚进行真空熔炼、浇铸获得NiPt铸锭;均匀化退火为将NiPt铸锭放入真空箱式退火炉在800±20℃下进行均匀化退火处理,时长为5±0.2h。
10.如权利要求7或8所述的方法,其特征在于:温轧在450±10℃下进行,道次变形量为40±2%,总变形量为80±2%,合金的最终厚度为1±0.1mm,温轧后采用线切割制成靶材。