技术总结
本发明提供了一种TiSiNiN纳米复合涂层，是一种由界面相包裹TiN纳米晶粒的复合结构，所述的界面相由化合物Si3N4和金属Ni两相组成。本发明还提供了上述涂层的制备方法，先对基体进行清洗，然后采用多靶磁控溅射仪，利用TiSiNi复合靶材在基体上进行磁控溅射反应沉积，所述TiSiNi复合靶材中，按原子比计算，Ti为80%，Si和Ni的总原子量为20%。该TiSiNiN纳米复合涂层的最高硬度为可达48.643GPa，可用在干式、高速切削加工刀具以及在摩擦磨损条件服役的部件表面，从而提高刀具及部件表面性能和使用寿命。本发明的制备方法具有工艺简单、沉积速度快、成本低、结合强度高等优点。
技术研发人员：李伟;刘平;杜浩明;张柯;马凤仓;刘新宽;陈小红;何代华
受保护的技术使用者：上海理工大学
文档号码：201611153025
技术研发日：2016.12.14
技术公布日：2017.05.24