1.一种卡环结构件，用于一研磨头上，其特征在于，包括：
第一卡环，所述第一卡环上设置有多个沟槽以及多个第一孔，所述沟槽位于所述第一卡环的下表面，并贯穿所述第一卡环的内、外壁，每一所述沟槽的顶壁上设置有一个第一孔，所述第一孔连通所述沟槽；
多个活塞；
制动机构，所述制动机构控制所述活塞在所述沟槽和所述第一孔内上下运动。
2.如权利要求1所述的卡环结构件，其特征在于，所述第一孔贯穿所述沟槽的顶壁和所述第一卡环的上表面。
3.如权利要求2所述的卡环结构件，其特征在于，所述卡环结构件还包括第二卡环，所述第二卡环位于所述第一卡环上方，所述第二卡环上设置有多个第二孔，每个所述第二孔与一个所述第一孔相导通。
4.如权利要求3所述的卡环结构件，其特征在于，所述制动机构包括多个导气管，每个所述导气管连通一个所述第二孔，所述导气管向所述第二孔吹气或抽气，控制所述活塞在所述沟槽和所述第一孔内上下运动。
5.如权利要求4所述的卡环结构件，其特征在于，所述导气管和所述第二孔通过一密封圈进行密封。
6.如权利要求4所述的卡环结构件，其特征在于，所述制动机构还包括一送气管，所述送气管分别与多个所述导气管导通。
7.如权利要求1所述的卡环结构件，其特征在于，所述活塞的横截面形状与所述第一孔的横截面形状相同。
8.如权利要求1所述的卡环结构件，其特征在于，所述第一孔的横截面形状为方形。
9.如权利要求3所述的卡环结构件，其特征在于，所述第二孔的横截面形状为圆形。
10.一种包括如权利要求1-9中任意一种所述卡环结构件的化学机械研磨装置。
11.如权利要求10所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述化学机械研 磨装置还包括研磨平台、研磨垫、浆料传送装置。