真空镀膜离子镀装置的阴极磁控装置的制作方法

文档序号:12393929阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空镀膜离子镀装置的阴极磁控装置,包括相互连接的电机和支架,其特征在于:所述支架中间设有至少一根与电机相连的转动轴,转动轴上设有圆柱体滚柱,该圆柱体滚柱上开设凹槽,凹槽内设有磁铁。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜离子镀装置的阴极磁控装置,其特征在于:所述转动轴的数量为两根、四根或六根。

3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜离子镀装置的阴极磁控装置,其特征在于:所述转动轴在电机带动下的转动方向为同向或相向,电机的转速为50-120rpm。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜离子镀装置的阴极磁控装置,其特征在于:所述凹槽内磁铁的深度小于等于圆柱体滚柱的直径。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜离子镀装置的阴极磁控装置,其特征在于:所述凹槽内磁铁的宽度为4-6mm。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜离子镀装置的阴极磁控装置,其特征在于:所述凹槽内磁铁为单独磁铁或磁铁组合。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1