1.一种行星式中空硅棒抛光机，包括机体（1）、第一电机（2）、主动齿轮（3）、从动齿轮（4）、曲柄（5）、第二电机仓（6）、第二电机（7）、联轴器（8）、抛光轮（9）、抛光液箱（10）、液管（11）；其特征在于：机体（1）与第一电机（2）固定连接，第一电机（2）与主动齿轮（3）同轴连接，主动齿轮（3）与从动齿轮（4）啮合连接，从动齿轮（4）与曲柄（5）固定连接，曲柄（5）第二电机仓（6）固定连接，第二电机仓（6）与第二电机（7）固定连接，第二电机（7）通过联轴器（8）与抛光轮（9）固定连接，抛光液箱（10）与液管（11）连通。
2.根据权利要求1所述的一种行星式中空硅棒抛光机，其特征在于：曲柄（5）的旋转半径为80mm。