本实用新型涉及硅片抛光设备技术领域,尤其是一种往复式硅块抛光机。
背景技术:
当前,企业在对硅片进行抛光加工时均采用人工进给的方式,这种方式不仅效率较低,同时,人工操作存在人为的不确定性因素,容易导致硅片加工质量低的问题,降低企业经济效益,存在不足。
技术实现要素:
本实用新型的目的是提供一种往复式硅块抛光机,为克服上述的不足,采用电机控制的往复式进给方式,不仅提高了生产效率,同时,电机控制的误差小,有利于提高硅片的加工质量与精度,提高企业经济效益。
本实用新型的技术方案:
一种往复式硅块抛光机,包括底座、电机座、第一电机、曲柄、连杆、导向套、第二电机、主动带轮、传动带、从动带轮、抛光轮、立柱、导向杆;其中:电机座、立柱均与底座固定连接,导向杆固定于电机座与立柱之间,电机座与第一电机固定连接,第一电机与曲柄固定连接,曲柄通过连杆与导向套活动连接,导向套内壁与导向杆连接,导向套外壁与第二电机固定连接,第二电机与主动带轮同轴连接,主动带轮通过传动带与从动带轮连接,从动带轮与抛光轮连接。
一种往复式硅块抛光机,其中:曲柄与连杆的长度之比为9:4。
一种往复式硅块抛光机,其中:导向套的长度为300mm。
本实用新型的优点在于:本装置采用电机控制的往复式进给方式,不仅提高了生产效率,同时,电机控制的误差小,有利于提高硅片的加工质量与精度,提高企业经济效益。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意简图。
附图标记:底座1、电机座2、第一电机3、曲柄4、连杆5、导向套6、第二电机7、主动带轮8、传动带9、从动带轮10、抛光轮11、立柱12、导向杆13。
具体实施方式
实施例1、一种往复式硅块抛光机,包括底座1、电机座2、第一电机3、曲柄4、连杆5、导向套6、第二电机7、主动带轮8、传动带9、从动带轮10、抛光轮11、立柱12、导向杆13;其中:电机座2、立柱12均与底座1固定连接,导向杆13固定于电机座2与立柱12之间,电机座2与第一电机3固定连接,第一电机3与曲柄4固定连接,曲柄4通过连杆5与导向套6活动连接,导向套6内壁与导向杆13连接,导向套6外壁与第二电机7固定连接,第二电机7与主动带轮8同轴连接,主动带轮8通过传动带9与从动带轮10连接,从动带轮10与抛光轮11连接。
实施例2、一种往复式硅块抛光机,其中:曲柄4与连杆5的长度之比为9:4,有利于提高进给效率。其余同实施例1。
实施例3、一种往复式硅块抛光机,其中:导向套6的长度为300mm,有利于提高导向精度,提高硅片的加工质量与精度。其余同实施例1。
工作原理:
将硅块放置于底座1之上,启动第一电机3,第一电机3带动曲柄4转动,曲柄4通过连杆5推动导向套6沿着导向杆13往复运动,同时,第二电机7带动主动带轮8旋转,主动带轮8通过传动带9带动从动带轮10旋转,从动带轮10带动抛光轮11旋转,抛光轮11同时做自身转动与往复运动,进而对硅块进行抛光,通过往复运动实现对硅块的抛光,可以大幅度提高硅块表面的光洁度,动作结束。