一种双面抛光硅片抛光机的制作方法

文档序号:12753656阅读:177来源:国知局

本实用新型涉及硅片抛光设备技术领域,尤其是一种双面抛光硅片抛光机。



背景技术:

当前,企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机不具备双面抛光功能,对一块硅片抛光时需要进行两次,这就导致抛光效率降低,降低整体生产进度,存在不足。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种双面抛光硅片抛光机,为克服上述的不足,采用双面抛光的方式,一次加工可以同时对硅片的两面进行抛光,大大提高了抛光效率,降低生产成本。

本实用新型的技术方案:

一种双面抛光硅片抛光机,包括机体、第一电机、第一主动带轮、第一传动带、第一从动带轮、第一抛光轮、第一抛光齿、抛光液箱、液管、喷头、第二电机、第二主动带轮、第二传动带、第二从动带轮、第二抛光轮、第二抛光齿、支架、固定块;其中:机体与第一电机固定连接,第一电机与第一主动带轮同轴连接,第一主动带轮通过第一传动带与第一从动带轮连接,第一从动带轮与第一抛光轮固定连接,第一抛光轮设有第一抛光齿,第二电机与第二主动带轮同轴连接,第二主动带轮通过第二传动带与第二从动带轮连接,第二从动带轮与第二抛光轮固定连接,第二抛光轮设有第二抛光齿,机体与支架固定连接,支架与固定块固定连接,抛光液箱通过液管与喷头连通。

一种双面抛光硅片抛光机,其中:第一抛光轮与第二抛光轮之间采用上下对称的结构。

本实用新型的优点在于:本装置采用双面抛光的方式,一次加工可以同时对硅片的两面进行抛光,大大提高了抛光效率,降低生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意简图。

附图标记:机体1、第一电机2、第一主动带轮3、第一传动带4、第一从动带轮5、第一抛光轮6、第一抛光齿7、抛光液箱8、液管9、喷头10、第二电机11、第二主动带轮12、第二传动带13、第二从动带轮14、第二抛光轮15、第二抛光齿16、支架17、固定块18。

具体实施方式

实施例1、一种双面抛光硅片抛光机,包括机体1、第一电机2、第一主动带轮3、第一传动带4、第一从动带轮5、第一抛光轮6、第一抛光齿7、抛光液箱8、液管9、喷头10、第二电机11、第二主动带轮12、第二传动带13、第二从动带轮14、第二抛光轮15、第二抛光齿16、支架17、固定块18;其中:机体1与第一电机2固定连接,第一电机2与第一主动带轮3同轴连接,第一主动带轮3通过第一传动带4与第一从动带轮5连接,第一从动带轮5与第一抛光轮6固定连接,第一抛光轮6设有第一抛光齿7,第二电机11与第二主动带轮12同轴连接,第二主动带轮12通过第二传动带13与第二从动带轮14连接,第二从动带轮14与第二抛光轮15固定连接,第二抛光轮15设有第二抛光齿16,机体1与支架17固定连接,支架17与固定块18固定连接,抛光液箱8通过液管9与喷头10连通。

实施例2、一种双面抛光硅片抛光机,其中:第一抛光轮6与第二抛光轮15之间采用上下对称的结构,一次加工可以同时对硅片的两面进行抛光,大大提高了抛光效率,降低生产成本。其余同实施例1。

工作原理:

将硅片固定于固定块18之上,同时启动第一电机2与第二电机11,第一电机2与第二电机11分别带动第一主动带轮3与第二主动带轮12旋转,第一主动带轮3通过第一传动带4带动第一从动带轮5旋转,第二主动带轮12通过第二传动带13带动第二从动带轮14旋转,第一从动带轮5与第二从动带轮14分别同时带动第一抛光轮6与第二抛光轮15旋转,进而分别带动第一抛光齿7与第二抛光齿16转动,同时,抛光液由抛光液箱8流出,经过通过液管9与喷头10流向硅片表面,最终实现对硅片的双面抛光,双面抛光相对传统的单面抛光具有更高的抛光效率,大大提高企业的生产效率,动作结束。

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