一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机的制作方法

文档序号:12753653阅读:242来源:国知局

本实用新型涉及硅片抛光设备技术领域,尤其是一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机。



背景技术:

当前,企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机没有防止抛光液飞溅的功能,这就容易导致抛光液四处飞溅,不仅容易溅入操作人员的眼睛,影响视力,而且影响车间的环境质量,存在不足。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机,为克服上述的不足,采用卧式的结构,阻止抛光液飞溅,不仅确保人身安全,同时有利于提高车间环境质量。

本实用新型的技术方案:

一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机,包括机体、第一电机、第一主动带轮、第一传动带、第一从动带轮、抛光轮、抛光齿、第二电机、第二主动带轮、第二传动带、第二从动带轮、抛光液箱、液管、弹簧罩、弹簧、固定块、喷头;其中:机体与第一电机固定连接,第一电机与第一主动带轮固定连接,第一主动带轮通过第一传动带与第一从动带轮连接,第一从动带轮与抛光轮固定连接,抛光轮设有抛光齿,第二电机与第二主动带轮固定连接,第二主动带轮通过第二传动带与第二从动带轮连接,第二从动带轮与弹簧罩固定连接,弹簧罩内部设有弹簧,弹簧与固定块连接,抛光液箱通过液管与喷头连接。

一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机,其中:机体中部设有护罩。

本实用新型的优点在于:本装置采用卧式的结构,阻止抛光液飞溅,不仅确保人身安全,同时有利于提高车间环境质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意简图。

附图标记:机体1、第一电机2、第一主动带轮3、第一传动带4、第一从动带轮5、抛光轮6、抛光齿7、第二电机8、第二主动带轮9、第二传动带10、第二从动带轮11、抛光液箱12、液管13、弹簧罩14、弹簧15、固定块16、喷头17、护罩18。

具体实施方式

实施例1、一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机,包括机体1、第一电机2、第一主动带轮3、第一传动带4、第一从动带轮5、抛光轮6、抛光齿7、第二电机8、第二主动带轮9、第二传动带10、第二从动带轮11、抛光液箱12、液管13、弹簧罩14、弹簧15、固定块16、喷头17;其中:机体1与第一电机2固定连接,第一电机2与第一主动带轮3固定连接,第一主动带轮3通过第一传动带4与第一从动带轮5连接,第一从动带轮5与抛光轮6固定连接,抛光轮6设有抛光齿7,第二电机8与第二主动带轮9固定连接,第二主动带轮9通过第二传动带10与第二从动带轮11连接,第二从动带轮11与弹簧罩14固定连接,弹簧罩14内部设有弹簧15,弹簧15与固定块16连接,抛光液箱12通过液管13与喷头17连接。

实施例2、一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机,其中:机体1中部设有护罩18,阻止抛光液飞溅,不仅确保人身安全,同时有利于提高车间环境质量。其余同实施例1。

工作原理:

第二电机8带动第二主动带轮9旋转,第二主动带轮9通过第二传动带10带动第二从动带轮11旋转,第二从动带轮11带动弹簧罩14旋转,弹簧罩14带动固定块16旋转,同时,弹簧15通过弹力将固定块16顶出,进而将硅料推向抛光轮6,此时,第一电机2带动第一主动带轮3旋转,第一主动带轮3通过第一传动带4带动第一从动带轮5旋转,第一从动带轮5带动抛光轮6旋转,抛光轮6带动抛光齿7转动,同时,抛光液由抛光液箱12流出,并从液管13与喷头17流向硅料表面,最终对硅料进行抛光加工,抛光过程中,由于部件高速旋转,容易导致抛光液飞溅,因此,护罩18起到阻挡抛光液四处飞溅的作用,动作结束。

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