一种行星式中空硅棒抛光机的制作方法

文档序号:12753664阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种行星式中空硅棒抛光机。当前,企业在对硅料进行抛光是没有针对中空硅棒的抛光设备,因此在中空硅棒的抛光时不能有效的抛光,降低了生产效率,同时限制了企业的经营产品的范围,存在不足。本实用新型涉及一种行星式中空硅棒抛光机,其中:第一电机与主动齿轮同轴连接,主动齿轮与从动齿轮啮合连接,从动齿轮与曲柄固定连接,曲柄第二电机仓固定连接,第二电机仓与第二电机固定连接,第二电机通过联轴器与抛光轮固定连接,抛光液箱与液管连通。本装置采用行星式的抛光结构,可以对中空的硅棒进行内壁抛光,扩展了企业的经营范围,同时也提高了效率,为企业带来更大的经济效益。

技术研发人员:支秉旭
受保护的技术使用者:江西大杰新能源技术有限公司
文档号码:201620669439
技术研发日:2016.06.30
技术公布日:2017.01.25

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