一种行星式中空硅棒抛光机的制作方法

文档序号:12753664阅读:225来源:国知局

本实用新型涉及硅棒抛光设备技术领域,尤其是一种行星式中空硅棒抛光机。



背景技术:

当前,企业在对硅料进行抛光时没有针对中空硅棒的抛光设备,因此在中空硅棒的抛光时不能有效的抛光,降低了生产效率,同时限制了企业的经营产品的范围,存在不足。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种行星式中空硅棒抛光机,为克服上述的不足,采用行星式的抛光结构,可以对中空的硅棒进行内壁抛光,扩展了企业的经营范围,同时也提高了效率,为企业带来更大的经济效益。

本实用新型的技术方案:

一种行星式中空硅棒抛光机,包括机体、第一电机、主动齿轮、从动齿轮、曲柄、第二电机仓、第二电机、联轴器、抛光轮、抛光液箱、液管;其中:机体与第一电机固定连接,第一电机与主动齿轮同轴连接,主动齿轮与从动齿轮啮合连接,从动齿轮与曲柄固定连接,曲柄第二电机仓固定连接,第二电机仓与第二电机固定连接,第二电机通过联轴器与抛光轮固定连接,抛光液箱与液管连通。

一种行星式中空硅棒抛光机,其中:曲柄的旋转半径为80mm。

本实用新型的优点在于:本装置采用行星式的抛光结构,可以对中空的硅棒进行内壁抛光,扩展了企业的经营范围,同时也提高了效率,为企业带来更大的经济效益。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意简图。

附图标记:机体1、第一电机2、主动齿轮3、从动齿轮4、曲柄5、第二电机仓6、第二电机7、联轴器8、抛光轮9、抛光液箱10、液管11。

具体实施方式

实施例1、一种行星式中空硅棒抛光机,包括机体1、第一电机2、主动齿轮3、从动齿轮4、曲柄5、第二电机仓6、第二电机7、联轴器8、抛光轮9、抛光液箱10、液管11;其中:机体1与第一电机2固定连接,第一电机2与主动齿轮3同轴连接,主动齿轮3与从动齿轮4啮合连接,从动齿轮4与曲柄5固定连接,曲柄5第二电机仓6固定连接,第二电机仓6与第二电机7固定连接,第二电机7通过联轴器8与抛光轮9固定连接,抛光液箱10与液管11连通。

实施例2、一种行星式中空硅棒抛光机,其中:曲柄5的旋转半径为80mm,可以实现对中空的硅棒进行内壁抛光,同时也提高了效率,为企业带来更大的经济效益。其余同实施例1。

工作原理:

第一电机2带动主动齿轮3转动,主动齿轮3带动从动齿轮4旋转,从动齿轮4旋转,从动齿轮4带动曲柄5旋转,曲柄5带动第二电机仓6转动,第二电机仓6带动第二电机7转动,第二电机7通过联轴器8带动抛光轮9转动,同时,抛光液从抛光液箱10中流出,经过液管11流向硅棒,最终实现抛光,动作结束。

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