1.一种碳化硅管沉积装置,其特征在于,包括石英管层、碳化硅层和第一保温层,其中所述石英管层、所述碳化硅层和所述第一保温层均为管状结构,所述第一保温层套设在所述碳化硅层的表面,所述碳化硅层套设在所述石英管层的表面,所述石英管层内部形成沉积区。
2.根据权利要求1所述的碳化硅管沉积装置,其特征在于,所述碳化硅层的内径为2~20cm。
3.根据权利要求1所述的碳化硅管沉积装置,其特征在于,所述碳化硅层的厚度为5~15mm。
4.根据权利要求1所述的碳化硅管沉积装置,其特征在于,所述第一保温层的材料为普通石棉、高铝石棉、含锆石棉、莫来石纤维毯中的一种。
5.根据权利要求1所述的碳化硅管沉积装置,其特征在于,所述第一保温层的厚度为3~8cm。
6.根据权利要求1至5任一项所述的碳化硅管沉积装置,其特征在于,还包括第二保温层,所述第二保温层设置在所述第一保温层的端部,其中所述石英管层延伸至所述第二保温层内,以形成连通所述沉积区的气体通道。
7.根据权利要求6所述的碳化硅管沉积装置,其特征在于,所述第二保温层的材料为普通石棉、高铝石棉、含锆石棉、莫来石纤维毯中的一种。