自耗炉真空分压控制系统的制作方法

文档序号:12793676阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种自耗炉真空分压控制系统,包括主腔体,主腔体通过主管道依次连接初级真空阀、罗茨泵和机械泵,提升阀 、扩散泵 、前级真空阀串联后并联在初级真空阀两端,其特征是在主腔体后的主管道上设有真空规,并在初级真空阀两端并联真空分压支路。

2.根据权利要求1所述的自耗炉真空分压控制系统,其特征是所述的真空分压支路由旁通阀和调节真空阀串联而成。

3.根据权利要求1所述的自耗炉真空分压控制系统,其特征是在扩散泵和前级真空阀之间通过管路接维持泵。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1