形成导电粉末的方法与流程

技术特征：

技术总结
形成导电粉末的方法，包含通过还原反应来使用等离子还原导电粉末前驱物气体。还原导电粉末前驱物气体来形成导电粉末。方法进一步包含基于粒度过滤导电粉末。方法进一步包含在流体中分散具有低于阀值的粒度的导电粉末的一部分。

技术研发人员：周友华;庄国胜
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：2017.06.30
技术公布日：2018.11.02