技术特征：
技术总结
本发明提供了一种蓝宝石衬底片的单面抛光方法，所述方法包括以下步骤：(1)在蓝宝石衬底片不进行抛光的一面涂覆液态蜡并进行烘烤，得到单面涂覆有液态蜡的蓝宝石衬底片；(2)将单面涂覆有液态蜡的蓝宝石衬底片的涂覆液态蜡的一面与另一片蓝宝石衬底片不进行抛光的一面贴合并进行挤压，冷却，然后进行双面化学机械抛光，得到具有单面抛光的蓝宝石衬底片。本发明所述方法不仅缩短了贴蜡时间，减少了蜡量的消耗，还增加了一次性抛光的蓝宝石衬底片数量，提高生产效率。
技术研发人员：向齐涛;沈思情;刘浦锋;宋洪伟;陈猛
受保护的技术使用者：上海超硅半导体有限公司
技术研发日：2017.08.02
技术公布日：2017.10.13