技术特征：
技术总结
一种纳米材料制作设备，包括设备主体及泵，所述设备主体包括基座、位于基座中的油箱及沉淀箱、位于基座及沉淀箱上方的基材台、位于基材台顶部的出油口、位于基材台外部的靶座，以及设置于靶座上的磁控靶，所述油箱中盛有硅油，所述泵通过泵管与油箱及出油口连通。通过硅油带动纳米材料沿基材台的表面淌下，在沉淀箱中实现纳米材料的沉淀，可高效分离出纳米材料、扩展了用途。本发明还提供一种纳米材料制作方法。
技术研发人员：毕凯
受保护的技术使用者：嘉兴岱源真空科技有限公司
技术研发日：2017.11.30
技术公布日：2018.04.06