技术总结
本实用新型公开了一种磁偏转电子束蒸发源，包括：电子束发生机构、磁偏转组件、水冷坩埚机构、直线换位机构和工作电路；电子束发生机构为本发明核心机构，主要包括灯丝、灯丝座、陶瓷片、陶瓷座、支撑块、陶瓷柱、阴极屏蔽罩等；采用灯丝加热的方式发射热电子，热电子经阴极和阳极之间的电场加速后飞往阳极，为了提高蒸发的速率，采用了一种阴极屏蔽罩，此阴极屏蔽罩不仅可以屏蔽下方永久磁铁产生的磁场对灯丝发射电子的干扰，而且还能作为控制极来调整束斑的大小；冷却构造是双层水冷，冷却外筒内的冷却内筒将冷却水直接送至无氧铜坩埚；待蒸发膜材位于无氧铜坩埚内衬内，采用的坩埚内衬可以使整个熔池的温度分布趋于均匀。
技术研发人员：郭方准;陈欣
受保护的技术使用者：大连交通大学
文档号码：201720144590
技术研发日：2017.02.17
技术公布日：2017.10.13