一种蒸发器用可旋转的水冷式电极装置的制作方法

文档序号:13335732阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种蒸发器用可旋转的水冷式电极装置,主要由电极杆(1),与电极杆(1)相连接的支持筒(9),设置在电极杆(1)上的接电装置,以及设置在支持筒(9)上并与电极杆(1)相连接的安装组件组成。本实用新型的电极杆设置为空心电极杆,有效的提高电极杆的散热效果,并且本实用新型在电极杆内还设置了水冷装置,该水冷装置能很好的对电极杆进行冷却,从而本实用新型的电极杆实现了在工作中的自动冷却,很好的确保了电极装置内的绝缘和密封部件易不被高温损坏,从而极大的延长了电极装置的使用寿命。

技术研发人员:杨小军;向勇;孙力
受保护的技术使用者:成都西沃克真空科技有限公司
文档号码:201720523393
技术研发日:2017.05.11
技术公布日:2017.12.29

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