一种薄膜材料制备装置的制作方法

文档序号:14615121发布日期:2018-06-05 22:03阅读:来源:国知局
一种薄膜材料制备装置的制作方法

技术特征:

1.一种薄膜材料制备装置,其特征在于:包括上容器(1)、下容器(2)和衬底支架(3),所述上容器(1)通过转移装置(4)与下容器(2)连通,所述上容器(1)与下容器(2)之间存在高度差,所述转移装置(4)包括转移管道(5)和流量控制装置(6),所述流量控制装置(6)设置在转移管道(5)上,所述衬底支架(3)放置在上容器(1)内。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜材料制备装置,其特征在于:所述衬底支架(3)的形状为L字型或凹字型。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜材料制备装置,其特征在于:所述上容器(1)设置为多个,可以实现相同类型薄膜材料批量制备或不同类型薄膜材料同时制备。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜材料制备装置,其特征在于:所述转移管道(5)上设有抽取装置(7),通过抽取装置(7)便于空气的排空。

5.根据权利要求4所述的一种薄膜材料制备装置,其特征在于:所述抽取装置(7)包括带有活塞杆(8)的抽筒(9),所述抽筒(9)上设有进口(10)和出口(11),通过活塞杆(8)的移动实现空气的排空。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1