技术总结
本实用新型涉及薄膜材料制备技术领域，更具体而言，涉及一种薄膜材料制备装置，该装置包括上容器、下容器和衬底支架，所述上容器通过转移装置与下容器连通，所述上容器与下容器之间存在高度差，所述转移装置包括转移管道和流量控制装置，所述流量控制装置设置在转移管道上，所述衬底支架放置在上容器内，所述转移管道上设有抽取装置，所述抽取装置包括带有活塞杆的抽筒，抽筒上设有进口和出口。本实用新型基于溶胶‑凝胶制备薄膜材料的简易成膜装置搭建原理和方法，借助重力作用和液面下降，通过上容器、转移装置和下容器三部分组成成膜装置，来实现溶胶‑凝胶制备薄膜材料，并且通过模块化组合与装配可以实现不同尺寸规格的薄膜材料制备。
技术研发人员：李克训;马江将;张晗;赵亚丽;谷建宇;贾琨
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第三十三研究所
技术研发日：2017.11.14
技术公布日：2018.06.05