张网结构、张网装置及张网方法与流程

本发明涉及显示面板制造领域，特别涉及一种张网结构、张网装置及张网方法。

背景技术

有机发光二极管(英文：organiclightemittingdiode，简称：oled)显示面板以其全固态、主动发光、高对比度、超薄、低功耗、响应速度快等诸多优点，逐渐成为目前显示领域极具前景的显示产品。在oled显示面板的生产中，用于将有机发光材料蒸镀到显示基板上的精细金属掩模板(英文：finemetalmask，简称：fmm)是oled显示面板生产过程中的重要器件。

通常情况下，一套fmm包括：框架、支撑掩膜版和多条fmm条，fmm一般采用张网技术制作，张网过程就是将支撑掩膜版和fmm条焊接到框架上的过程，由于每焊接一条fmm条时，该fmm条会对框架产生一定的拉伸力(英文：stretchforce，简称：sf)，该拉伸力会造成框架发生形变从而导致最终形成的整个fmm的变形。为了平衡这一拉伸力，通常在焊接过程中会对框架施加一定的对抗力(英文：counterforce，简称：cf)。目前，采用张网装置来对焊接过程中的框架施加cf，该张网装置包括多个卡接件，该多个卡接件用于夹持框架，并在夹持的位置为框架施加cf。

但是，由于在张网过程中，每焊接一个fmm条，框架受到的拉伸力就产生变化，而多个卡接件为框架施加的cf的位置是固定的，只能通过调节cf来平衡sf，无法有效平衡sf，导致最终形成的fmm精度较低。

技术实现要素：

为了实现，本发明实施例提供了一种张网结构、张网装置及张网方法，能够解决张网过程中张网装置的卡接件为框架施加的对抗力的位置是固定的，无法有效平衡焊接fmm条对框架产生的拉伸力，导致最终形成的fmm精度较低的问题，所述技术方案如下：

根据本发明实施例的第一方面，提供一种张网装置，包括：

相对设置有两组张网结构组，每组所述张网结构组包括至少一个张网结构，每个所述张网结构包括固定架，以及设置在所述固定架上可转动的滚轴，所述两组张网结构组的滚轴的侧面被配置为卡接形成有精细金属掩模板fmm条的框架的目标侧面，所述目标侧面为布置有fmm条的侧面；

与所述两组张网结构组中的每个张网结构的固定架对应连接的滑动结构，每个所述滑动结构被配置为带动对应的滚轴在所述目标侧面滑动；

所述两组张网结构组的滚轴的侧面相对于所述目标侧面滑动时，所述两组张网结构组的滚轴的侧面为所述目标侧面的不同位置施加对抗力。

可选的，所述固定架包括u形结构，所述u形结构包括第一条形结构，和位于所述第一条形结构两端且平行布置的两个第二条形结构，所述滚轴的两端与所述两个第二条形结构的内侧分别活动连接。

可选的，所述固定架包括u形结构，所述u形结构包括第一条形结构，和位于所述第一条形结构两端且平行布置的两个第二条形结构，所述滚轴包括定轴和动环，所述定轴的两端与所述两个第二条形结构的内侧分别固定连接，所述动环套接在所述定轴外，能够相对于所述定轴转动。

可选的，在每个所述张网结构中，所述固定架还包括支撑架，所述支撑架与所述u形结构的至少一个条形结构的外侧固定连接，每个所述固定架通过所述支撑架与对应的所述滑动结构连接。

可选的，每组所述张网结构组包括沿所述目标侧面的长度方向阵列排布的至少两个张网结构。

可选的，每个所述滑动结构与对应的固定架为一体结构，或者，每个所述滑动结构与对应的固定架可拆卸连接。

可选的，所述张网装置还包括：

与所述两组张网结构组中的每个张网结构的固定架对应连接的移动组件，每个所述移动组件被配置为带动所述滚轴在垂直所述目标侧面的方向上移动。

根据本发明实施例的第二方面，提供一种张网结构，包括：

固定架，以及设置在所述固定架上可转动的滚轴，所述滚轴的侧面被配置为卡接形成有fmm条的框架的目标侧面，所述目标侧面为布置有fmm条的侧面。

可选的，所述张网结构还包括：

与所述固定架连接的滑动结构，所述滑动结构被配置为带动对应的滚轴在所述目标侧面滑动。

根据本发明实施例的第三方面，提供一种张网方法，所述方法应用于第一方面任一所述的张网装置，所述方法包括：

将形成有支撑掩膜版的框架卡接在张网装置的相对设置的两组张网结构组中，使得所述两组张网结构组的滚轴的侧面为待形成fmm条的框架的目标侧面施加对抗力，所述目标侧面为待布置fmm条的侧面；

在每次焊接一个fmm条之后，控制目标张网结构的滑动结构带动对应的滚轴在所述目标侧面滑动至指定位置，以使所述对应的滚轴的侧面为所述指定位置施加对抗力。

本发明的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：

本发明实施例提供的张网结构、张网装置及张网方法，可以控制张网装置的移动组件在张网之前带动滚轴在框架垂直目标侧面的方向上移动为该框架施加一定的对抗力，保证框架在张网之前不发生形变，同时，在张网过程中，可以控制张网结构中的滑动结构通过与其相连的固定架带动滚轴在焊接了fmm条的目标侧面移动，在目标侧面的不同位置对框架施加对抗力，有效平衡了焊接fmm条时该fmm条对框架产生的拉伸力，提高了最终形成的fmm精度。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本发明。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的实施例，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据相关技术示出的一种传统的张网装置的结构示意图；

图2是根据一示例性实施例示出的一种张网装置的结构示意图；

图3是根据一示例性实施例示出的一种张网结构的结构示意图；

图4是根据一示例性实施例示出的一种张网装置的部分结构示意图；

图5是根据一示例性实施例示出的又一种张网装置的部分结构示意图；

图6是根据一示例性实施例示出的又一种张网装置的结构示意图；

图7是根据一示例性实施例示出的又一种张网结构的结构示意图；

图8是根据一示例性实施例示出的一种张网方法的流程图；

图9是根据一示例性实施例示出的又一种张网方法的流程图；

图10是根据一示例性实施例示出的一种框架的部分俯视结构示意图；

图11是根据一示例性实施例示出的一种框架的形变热图；

图12是根据一示例性实施例示出的又一种框架的部分俯视结构示意图；

图13是根据一示例性实施例示出的又一种框架的形变热图；

图14是根据一示例性实施例示出的一种框架的形变曲线图；

图15是根据一示例性实施例示出的一种框架的形变曲线的差异图；

图16是根据一示例性实施例示出的另一种框架的部分俯视结构示意图；

图17是根据一示例性实施例示出的另一种框架的形变热图；

图18是根据一示例性实施例示出的又一种框架的形变曲线图；

图19是根据一示例性实施例示出的一种框架的形变曲线的差异图。

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部份实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，图1是传统的张网装置0的结构示意图，该张网装置0包括多个卡接件01，在fmm张网过程中，多个卡接件为框架2施加的cf的位置是固定的，而每焊接一个fmm条，框架2受到的拉伸力就产生变化，因此，该张网装置无法有效平衡焊接fmm条对框架产生的拉伸力，导致最终形成的fmm精度较低。

本发明实施例提供一种张网装置1，如图2所示，该张网装置1包括：

相对设置有两组张网结构组11，每组张网结构组11包括至少一个张网结构111。例如，每组张网结构组可以包括沿目标侧面w的长度方向l1阵列排布的至少两个张网结构。图2以每组张网结构组包括3个张网结构为例进行说明。如图3所示，每个张网结构111包括固定架111a，以及设置在固定架111a上可转动的滚轴111b，两组张网结构组11的滚轴111b的侧面被配置为卡接形成有fmm条的框架2的目标侧面w，如图2所示，目标侧面w为布置有fmm条的侧面。

与两组张网结构组11中的每个张网结构111的固定架111a对应连接的滑动结构12，每个滑动结构12被配置为带动对应的滚轴111b在目标侧面w滑动。可选的，每个滑动结构可以与对应的固定架为一体结构，也即是二者在制备生产过程中是以整体的形式进行生产；每个滑动结构也可以与对应的固定架可拆卸连接，也即是二者在制备生产过程中是各自进行生产，通过可拆卸结构连接。当滑动结构与对应的固定架可拆卸连接时，可以提高张网装置器件使用的灵活性。可选的，每个滑动结构上还设置有制动结构，用于在该滑动结构滑动至目标位置时，控制该滑动结构停止滑动。

两组张网结构组11的滚轴111b的侧面相对于目标侧面w滑动时，两组张网结构组11的滚轴111b的侧面为目标侧面w的不同位置施加对抗力。

综上所述，本发明提供的张网装置，在张网过程中，由于该装置包括相对设置的两组张网结构组，每个张网结构的滑动结构可以通过与其相连的固定架带动滚轴在框架的目标侧面滑动，从而在目标侧面的不同位置对框架施加对抗力，由于施加对抗力的位置灵活可变，因此，有效平衡了焊接fmm条时该fmm条对框架产生的拉伸力，提高了最终形成的fmm的精度。

在本发明实施例中，固定架的主体的形状可以有多种，例如，该固定架的主体可以为l形结构，u形结构或者环形结构，只要保证滚轴的侧面可以凸出于该固定架的主体，以与目标侧面接触，并相对于目标侧面滑动即可。

示例的，本发明实施例以固定架的主体为u形结构为例，其他形状的结构的连接方式可以参考该u形结构，本发明实施例对此不做赘述。在固定架的主体为u形结构时，请参考图4，固定架包括该u形结构x，u形结构x包括第一条形结构x1，和位于第一条形结构x1两端且平行布置的两个第二条形结构x2。此时，滚轴与u形结构的连接方式可以有多种，本发明实施例以以下两种连接方式为例进行说明：

第一种连接方式，请参考图4，图4为本发明实施例提供的张网装置的部分结构示意图，滚轴111b的两端与两个第二条形结构x2的内侧分别活动连接。在张网过程中，当张网结构中的滚轴111b在框架的目标侧面w上滑动时，第二条形结构x2和滚轴111b的两端发生相对运动，表现为滚轴111b的侧面沿框架的目标侧面w滑动。

第一种连接方式，请参考图5，图5为本发明实施例提供的张网装置的部分结构示意图，滚轴111b包括定轴y1和动环y2，定轴y1的两端与两个第二条形结构x2的内侧分别固定连接，动环y2套接在定轴y1外，能够相对于定轴y1转动。在张网过程中，当张网结构中的滚轴111b在框架的目标侧面w上滑动时，定轴y1和动环y2发生相对运动，表现为滚轴111b的侧面也就是动环y2的侧面沿框架的目标侧面w滑动

可选的，请参考图4和图5，在每个张网结构中，固定架111a还包括支撑架z，支撑架z与u形结构x的至少一个条形结构的外侧固定连接，每个固定架111a通过支撑架z与对应的滑动结构12连接。需要说明的是，本发明实施例以支撑架z与u形结构x的第一条形结构x1的外侧固定连接为例进行说明，支撑架z也可以与第二条形结构x2的外侧固定连接，本发明对此不做限定。

进一步的，如图6，张网装置1还可以包括：

与两组张网结构组11中的每个张网结构111的固定架111a对应连接的移动组件13，每个移动组件13被配置为带动对应的滚轴111b在垂直目标侧面w的方向l2上移动。移动组件13通过带动对应的滚轴111b在垂直目标侧面w的方向l2上移动，可以改变滚轴的侧面对目标侧面施加的对抗力。可选的，每个移动组件上还设置有制动结构，用于在该移动组件移动至目标位置时，控制该移动组件停止滑动。

需要说明的是，每个张网结构111对应的滑动结构12和移动组件13可以为一体结构，示例的两者可以由万向轮实现。进一步的，当两者为万向轮时，万向轮上可以设置制动结构，在万向轮移动至目标位置时，制动结构工作，控制该万向轮停止运动，以使得万向轮准确地固定在目标位置，避免其上连接的张网结构移动。

综上所述，本发明提供的张网装置，在张网过程中，由于该装置包括相对设置的两组张网结构组，每个张网结构的滑动结构可以通过与其相连的固定架带动滚轴在框架的目标侧面滑动，从而在目标侧面的不同位置对框架施加对抗力，由于施加对抗力的位置灵活可变，因此，有效平衡了焊接fmm条时该fmm条对框架产生的拉伸力，提高了最终形成的fmm的精度。

本发明实施例提供一种张网结构111，如图3所示，该张网结构111包括：

固定架111a，以及设置在固定架111a上可转动的滚轴111b，滚轴111b的侧面被配置为卡接形成有fmm条的框架的目标侧面，目标侧面为布置有fmm条的侧面。每个滑动结构与对应的固定架为一体结构，或者，每个滑动结构与对应的固定架可拆卸连接。

其中，固定架的结构可以参考上述张网装置中固定架的结构，本发明实施例对此不做赘述。

进一步的，如图7所示，该张网结构111还可以包括：

与固定架111a连接的滑动结构111c，滑动结构111c被配置为滚轴111b在目标侧面滑动。

可选的，如图7所示，张网装置还包括：

与固定架111a连接的移动组件111d，该移动组件111d被配置为带动滚轴111b在垂直目标侧面的方向上移动。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的张网结构的各个部件的具体工作过程，可以参考前述张网装置实施例中的对应过程，在此不再赘述。

综上所述，本发明提供的张网结构，在张网过程中，由于每个张网结构的滑动结构可以通过与其相连的固定架带动滚轴在框架的目标侧面滑动，从而在目标侧面的不同位置对框架施加对抗力，由于施加对抗力的位置灵活可变，因此有效平衡了焊接fmm条时该fmm条对框架产生的拉伸力，提高了最终形成的fmm的精度。

本发明实施例提供一种张网方法，该方法可以应用于上述实施例提供的张网装置，如图8所示，该方法包括：

步骤301、将形成有支撑掩膜版的框架卡接在张网装置的相对设置的两组张网结构组中，使得两组张网结构组的滚轴的侧面为待形成fmm条的框架的目标侧面施加对抗力，目标侧面为待布置fmm条的侧面。

步骤302、在每次焊接一个fmm条之后，控制目标张网结构的滑动结构带动对应的滚轴在目标侧面滑动至指定位置，以使对应的滚轴的侧面为指定位置施加对抗力。

综上所述，本发明提供的张网方法，在张网过程中，每个张网结构的滑动结构可以通过与其相连的固定架带动滚轴在框架的目标侧面滑动，从而在目标侧面的不同位置对框架施加对抗力，由于施加对抗力的位置灵活可变，因此有效平衡了焊接fmm条时该fmm条对框架产生的拉伸力，提高了最终形成的fmm的精度。

本发明实施例提供一种张网方法，该方法可以应用于上述实施例提供的张网装置，如图9所示，该方法包括：

步骤401、进行张网过程模拟，以得到模拟结果。

在执行张网过程之前，一般通过控制装置对张网过程进行模拟，得到模拟结果，以基于该模拟结果对后续的张网过程进行指导。由于张网过程是对多个fmm条的焊接过程，则其模拟过程也即是对多个fmm条的焊接过程的模拟，示例的，该模拟结果可以包括：在每焊接一条fmm条后，该张网装置中需要移动的目标张网结构的数量n、每个目标张网结构需要移动至的指定位置t，和每个目标张网结构在其指定位置对目标侧面施加的目标对抗力f。可选的，该控制装置可以为计算机等数据处理装置。不同fmm条可以通过其焊接位置来区分，在该模拟结果中，每个fmm条可以采用表征其焊接位置的坐标值标识，该坐标值可以是在框架所在平面中所建立的平面坐标系中的坐标值。

基于该模拟结果进行张网可以在每焊接一条fmm条后，直接将目标张网结构移动至指定位置并控制其向目标侧面施加目标对抗力，无需人工多次调试，在有效的平衡由于焊接fmm条对框架产生的拉伸力的基础上，提高张网效率。

步骤402、将形成有支撑掩膜版的框架卡接在张网装置的相对设置的两组张网结构组中，使得两组张网结构组的滚轴的侧面为待形成fmm条的框架的目标侧面施加对抗力，目标侧面为待布置fmm条的侧面。

在将支撑掩膜版焊接在框架上之后，可以将形成有支撑掩膜版的框架卡接在张网装置的相对设置的两组张网结构组中，此时，可参考图6，两组张网结构组11中的移动组件13可以带动滚轴在垂直目标侧面的方向l2上移动，以使滚轴的侧面为框架施加一定的对抗力，其中，该目标侧面为待布置fmm条的侧面。

在本发明实施例中，张网装置具有两种状态，一种是初始状态，另一种是移动状态，处于初始状态的张网装置，其每个张网结构位于预先指定的初始位置，此时，每组张网结构组的多个张网结构等间距设置；处于移动状态的张网装置，其至少一个张网结构的位置不再是初始位置，而是根据具体情况移动至目标侧面的指定位置。

在将支撑掩膜版焊接在框架上至第一个fmm条焊接完成的时间段内，张网装置可以处于初始状态，可以保证形成有支撑掩膜版的框架在焊接第一个fmm条之前不发生形变；在第一个fmm条焊接之后，张网装置处于移动状态，以针对不同时段的框架提供不同的对抗力。

步骤403、基于模拟结果，在每次焊接一个fmm条之后，控制目标张网结构的滑动结构带动对应的滚轴在目标侧面滑动至指定位置，以使对应的滚轴的侧面为指定位置施加对抗力。

将形成有支撑掩膜版的框架在张网装置中卡接好后，就可以开始进行fmm条的焊接。如步骤401所述，不同fmm条可以通过其焊接位置来区分，则在每焊接一条焊接fmm条之后，控制装置可以通过检测装置检测该fmm条在框架上的焊接位置(例如，获取焊接位置在框架所在平面中所建立的平面坐标系中的坐标值)，基于该焊接位置查询预先获取的模拟结果，得到查询结果，该查询结果包括：焊接该次fmm条后，该张网装置中需要移动的目标张网结构的数量n、每个目标张网结构需要移动至的指定位置t，和每个目标张网结构在其指定位置对目标侧面施加的目标对抗力f。控制装置可以控制张网装置中的目标张网结构按照查询结果调整其滑动结构移动，使其带动对应的滚轴在目标侧面滑动至指定位置，以使对应的滚轴的侧面为指定位置施加对抗力。

步骤404、调整对应的滚轴的侧面对指定位置施加的对抗力。

在目标张网结构的滑动至指定位置后，控制装置根据查询结果调整指定位置的目标张网结构对框架的目标侧面施加的对抗力，使调整后的对抗力为目标对抗力f，这样可以保证焊接该fmm条后，fmm条对框架产生的拉伸力与张网结构对框架的目标侧面施加的对抗力相等，有效减小框架的形变，保证最终形成的fmm的精度。

可选的，控制装置可以通过控制目标张网结构的移动组件的移动，以调整该目标张网结构对框架的目标侧面施加的对抗力，例如，控制移动组件靠近目标侧面移动(即沿垂直目标侧面，且朝向目标侧面的方向移动)，目标张网结构的滚轴压紧目标侧面，可以增大目标张网结构对框架的目标侧面施加的对抗力；控制移动组件远离目标侧面移动(即沿垂直目标侧面，且远离目标侧面的方向移动)，目标张网结构的滚轴与目标侧面的接触减少，可以减小目标张网结构对框架的目标侧面施加的对抗力。

步骤405、当所有fmm条焊接完成后，撤除张网装置。

示例的，如图10所示，图10为一框架的部分俯视结构示意图，假设在框架的位置j和位置k焊接了两条fmm条，此时，这两条fmm条对框架产生了非对称分布的sf造成了框架的形变，框架的形变热图如图11所示，形变热图用于通过热效应反映焊接了fmm条后，框架受到的sf造成的框架形变量。在该形变热图中，框架的形变量越大，热效应所对应的颜色越深；框架的形变量越小，热效应所对应的颜色越浅。由图11可知，框架上的颜色呈非对称分布，因此，由sf引起的框架形变呈非对称分布，此时框架受到的sf也呈非对称分布。图10和图11采用相同的平面坐标系，其中，x表示该平面坐标系的横轴方向，y表示该平面坐标系的纵轴方向。

若采用现有的张网装置对sf进行平衡，如图12所示，图12为一框架的部分俯视结构示意图，现有的张网装置的卡接件对框架的施力位置固定不变，只能在框架目标侧面的1/4、2/4和3/4位置施加cf，也即在如图12中的m1、m2和m3处施加cf，请参考图13，图13为反映该cf造成的框架形变的形变热图。由图13可知，框架上的颜色呈对称分布，则此时由cf引起的框架形变呈对称分布，所以框架受到的cf也呈对称分布。图12和图13采用相同的平面坐标系，其中，x表示该平面坐标系的横轴方向，y表示该平面坐标系的纵轴方向。

图14示出了与图12所对应的形变曲线，该形变曲线反映sf与cf对框架造成的形变。其中，横轴表示框架的形变位置，纵轴表示框架的对应位置的形变量，由图14可知，采用现有的张网装置，sf与cf对框架造成形变的形变曲线不完全重合。图15示出了图14中sf的形变曲线与cf的形变曲线的差异图，其中，横轴表示框架的形变位置，纵轴表示框架的对应位置cf与sf对框架造成的形变量差值，图15中最高波峰位置代表了现有的张网装置施加的cf与fmm条对框架的目标位置产生的sf造成框架形变的最大差值，由此可以看出，采用现有的张网装置仍能对框架造成8.00×10^-4mm的形变。

继续以图10中示出的在框架的j和k位置焊接了两条fmm条为例，若此时采用本发明实施例提供的张网装置对sf进行平衡，该张网装置的控制装置会根据焊接的两条fmm条的位置j和位置k，控制目标张网结构进行位置以及施加的cf的调整，如图16所示，控制装置基于模拟结果将一组张网结构组确定为目标张网结构，同时对多个目标张网结构进行移动，移动到的指定位置分别为n1、n2和n3，而不是在框架目标侧面的1/4、2/4、3/4。相应的形变热图请参考图17，由图17可知，框架的颜色呈非对称分布，因此，由cf引起的框架形变呈非对称分布，此时框架受到的cf呈非对称分布。图16和图17采用相同的平面坐标系，其中，x表示该平面坐标系的横轴方向，y表示该平面坐标系的纵轴方向。

图18示出了与图16所对应的形变曲线，该形变曲线反映sf与cf对框架造成的形变，其中，横轴表示框架的形变位置，纵轴表示框架的对应位置的形变量，由图18可知，采用本发明实施例提供的张网装置，sf与cf对框架造成形变的形变曲线几乎完全重合。图19示出了图18中sf的形变曲线与cf的形变曲线的差异图，其中，横轴表示框架的形变位置，纵轴表示框架的对应位置cf与sf对框架造成的形变差值，图19中最高波峰位置代表了本发明实施例提供的张网装置施加的cf与fmm条对框架的目标位置产生的sf造成框架形变的最大差值，此时，由此可以看出，本发明实施例提供的形变装置仅对框架造成2.00×10^-4mm的形变。

由图10至图19可知，在对框架焊接同样个数的fmm条后，本发明实施例提供的张网装置施加的cf与fmm条对框架的目标位置产生的sf抵消(也称等效)后，造成的框架形变为2.00×10^-4mm，现有的张网装置施加的cf与fmm条对框架的目标位置产生的sf抵消后，造成的框架形变为8.00×10^-4mm，框架形变2.00×10^-4mm明显小于8.00×10^-4mm，可见，本发明实施例提供的张网装置的cf施加方式对框架造成的形变几乎可完全的地等效fmm条产生的sf引起的框架的形变，提高了最终形成的fmm精度。

综上所述，本发明实施例提供的张网方法，可以控制移动组件在张网之前带动滚轴在框架垂直目标侧面的方向上移动为该框架施加一定的对抗力，保证框架在张网之前不发生形变，同时，在张网过程中，可以控制张网结构中的滑动结构通过与其相连的固定架带动滚轴在焊接了fmm条的目标侧面移动，在目标侧面的不同位置对框架施加对抗力，有效平衡了焊接fmm条时该fmm条对框架产生的拉伸力，提高了最终形成的fmm精度。

需要说明的是，本发明实施例中图1、图2和图6中的框架均至少设置有支撑掩膜版，也可以设置有至少一个fmm条，但是并未绘出，并不表示该框架中没有掩膜版。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本申请旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。